【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶炉自动炉压紧急报警，更具体地说，本专利技术涉及一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法。
技术介绍
1、直拉法生长单晶硅的硅料是高纯度多晶硅，现在常用的制备方法将多晶硅原料装于石英坩埚内并在1420℃以上的温度下熔融，温度稳定到目标温度后将确定晶向的单晶硅籽晶与熔体熔接后引晶，再经过放肩、转肩等径、收尾、冷却等工序完成单晶硅的生长制备，这个过程中，熔体不断被加热、融化、晶化，最终得到一条长达数米的单晶硅棒。
2、单晶炉拉制单晶硅区域，有热场系统、电控系统、冷却系统、氩气系统、炉体等部分组成单晶拉制设备，在拉晶过程中为了满足氧原子蒸发及保持炉内真空状态，必须保持炉压在一定合理范围内，如果炉压超过一定范围没有提示报警，就会出现事故造成产能损失，因此提出一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷，本专利技术提供一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，包括信息采集模块、控制系统、设备组件控制系统，所述信息采集模块包括坩埚温度检测模块和炉压监测模块，所述设备组件控制系统包括坩埚温度控制模块、坩埚转动控制模块、晶体提升控制模块、坩埚下降控制模块；
3、所述控制系统包括信息分析处理模块、炉压升降速率检测单元、炉压限制值输入模块、选择按钮模块、报警提示模块、显
4、在一个优选地实施方式中，所述坩埚温度检测模块用于检测坩埚温度，所述炉压监测模块用于检测炉压数值，并输入控制系统的内部。
5、在一个优选地实施方式中，所述信息分析处理模块用于对输入的温度数值和炉压数值信息进行分析处理，所述炉压升降速率检测单元用于对炉压数值变化速率进行检测。
6、在一个优选地实施方式中，所述炉压限制值输入模块用于输入炉压报警线数值，炉压报警线数值设置为两个，其中一个报警线数值为4kpa，另一个报警线数值为6kpa。
7、在一个优选地实施方式中，所述报警提示模块用于发出警报声和警报信息，所述紧急报警按钮用于发出急促警报声和控制警报灯闪烁以及发出紧急警报信息。
8、在一个优选地实施方式中，所述选择按钮模块设置为弹出型子窗口，设置弹出条件为炉压数值大于4kpa小于6kpa时自动弹出。
9、在一个优选地实施方式中，所述显示模块的显示面板包括用于显示炉压监测数值的参数框和用于显示坩埚温度数值的参数框，以及用于弹出紧急报警按钮和确认按钮的选择按钮模块。
10、在一个优选地实施方式中，所述信息采集模块的输出端与控制系统的输入端电连接，所述控制系统的输出端与设备组件控制系统的输入端电连接。
11、在一个优选地实施方式中，所述坩埚温度控制模块与坩埚的加热器电连接，所述坩埚转动控制模块与坩埚的转动控制组件电连接。
12、在一个优选地实施方式中，所述晶体提升控制模块与晶体提升机电连接，所述坩埚下降控制模块与坩埚高度控制机构电连接。
13、本专利技术的技术效果和优点：
14、1、本专利技术首先通过设置的炉压监测模块对炉内压力检测，并通过炉压升降速率检测单元检测炉内压力升降速率，并通过炉压限制值输入模块可以输入炉内压力的最高警报数值线，当炉内压力瞬间上升并大于6kpa时，控制系统通过设备组件控制系统自动控制坩埚温度停止加热，控制坩埚停止转动，控制晶体向上提升，控制坩埚向下移动，实现自动保护的作用，且进行自动报警提示，及时提醒人员撤离，降低事故率，自动识别报警保护比较及时，人员撤离快，对单晶炉热场损失降到最低，减小人员的干预；
15、2、本专利技术还通过设置的选择按钮模块可以在炉内压力大于4kpa小于6kpa时通过报警提示模块提醒工作人员及时处理，并提供紧急报警按钮和确认按钮选项，使工作人员人工观察判断炉内是否异常从而进行相对应的操作，并通过紧急报警按钮被按动，可以自动触发控制设备组件控制系统启动，从而依次控制坩埚温度停止加热，控制坩埚停止转动，控制晶体向上提升，控制坩埚向下移动，实现自动保护的作用，且进行自动报警提示，及时提醒人员撤离，降低事故率；
16、综上，通过上述多个作用的相互影响，可以实现对炉压监测并自动实现保护的作用，并自动报警提示，及时提醒人员撤离，降低事故率，自动识别报警保护比较及时，人员撤离快，对单晶炉热场损失降到最低，减小人员的干预。
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1.一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：包括信息采集模块（1）、控制系统（2）、设备组件控制系统（3），所述信息采集模块（1）包括坩埚温度检测模块（4）和炉压监测模块（5），所述设备组件控制系统（3）包括坩埚温度控制模块（12）、坩埚转动控制模块（13）、晶体提升控制模块（14）、坩埚下降控制模块（15）；
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述坩埚温度检测模块（4）用于检测坩埚温度，所述炉压监测模块（5）用于检测炉压数值，并输入控制系统（2）的内部。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述信息分析处理模块（6）用于对输入的温度数值和炉压数值信息进行分析处理，所述炉压升降速率检测单元（7）用于对炉压数值变化速率进行检测。
4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述炉压限制值输入模块（8）用于输入炉压报警线数值，炉压报警线数值设置为两个，其中一个报警线数值为4kpa，另一个报警线数值为6
5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述报警提示模块（10）用于发出警报声和警报信息，所述紧急报警按钮（16）用于发出急促警报声和控制警报灯闪烁以及发出紧急警报信息。
6.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述选择按钮模块（9）设置为弹出型子窗口，设置弹出条件为炉压数值大于4kpa小于6kpa时自动弹出。
7.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述显示模块（11）的显示面板包括用于显示炉压监测数值的参数框和用于显示坩埚温度数值的参数框，以及用于弹出紧急报警按钮（16）和确认按钮（17）的选择按钮模块（9）。
8.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述信息采集模块（1）的输出端与控制系统（2）的输入端电连接，所述控制系统（2）的输出端与设备组件控制系统（3）的输入端电连接。
9.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述坩埚温度控制模块（12）与坩埚的加热器电连接，所述坩埚转动控制模块（13）与坩埚的转动控制组件电连接。
10.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述晶体提升控制模块（14）与晶体提升机电连接，所述坩埚下降控制模块（15）与坩埚高度控制机构电连接。
...【技术特征摘要】
1.一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：包括信息采集模块（1）、控制系统（2）、设备组件控制系统（3），所述信息采集模块（1）包括坩埚温度检测模块（4）和炉压监测模块（5），所述设备组件控制系统（3）包括坩埚温度控制模块（12）、坩埚转动控制模块（13）、晶体提升控制模块（14）、坩埚下降控制模块（15）；
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述坩埚温度检测模块（4）用于检测坩埚温度，所述炉压监测模块（5）用于检测炉压数值，并输入控制系统（2）的内部。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述信息分析处理模块（6）用于对输入的温度数值和炉压数值信息进行分析处理，所述炉压升降速率检测单元（7）用于对炉压数值变化速率进行检测。
4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述炉压限制值输入模块（8）用于输入炉压报警线数值，炉压报警线数值设置为两个，其中一个报警线数值为4kpa，另一个报警线数值为6kpa。
5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉自动炉压紧急报警系统识别的方法，其特征在于：所述报警提示模块（10）用于发出警报声和警报信息，所述紧急...
【专利技术属性】
技术研发人员：李小龙，
申请(专利权)人：乌海市京运通新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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