【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体芯片生产,尤其涉及一种r轴电机及zr轴模组。
技术介绍
1、在自动化生产中,机械手的应用已经越来越广泛。在一些细小工件(如小型ic等,尤其是一些长宽在微米级的半导体芯片)的抓取过程中,对机械手的zr轴方向的精度、力度、稳定性等控制有很高的要求。
2、由于是用于抓取细小工件,所以对r轴的直径有限制,导致现有的zr轴模组的r轴都是细长的轴。细长的r轴在取放物料时,难以保证r轴在运行过程中的刚性。目前很多zr轴模组的r轴刚性不足,导致运行时偏心严重,难以满足用户的细小工件的精准取放料需求。
技术实现思路
1、本技术实施例所要解决的技术问题在于,提供一种r轴电机及zr轴模组,以提升取放料的稳定性。
2、为了解决上述技术问题,本技术实施例提出了一种r轴电机,包括本体、r轴、导电环组件,本体内上下两端处各设有一个轴承,r轴对应连接所述轴承,r轴上下两端对应伸出至本体外,r轴下端伸出本体外的长度小于上下两个轴承之间的距离,本体顶部设有固定端盖,导电环组件设于固定端盖顶部,导电环组件与r轴上端电连接,固定端盖侧面设有加强筋部。
3、进一步地,导电环组件底部凸设有定位部,固定端盖上设有与定位部对应的定位槽。
4、进一步地,所述本体为圆筒状。
5、相应地,本技术实施例还提供了一种zr轴模组,包括z轴电机、压力传感器、滑台、基座,z轴电机设于基座上,滑台连接z轴电机的动子,压力传感器连接滑台,所述zr轴模组还包括如上述的r轴电机
6、进一步地,基座底部设有限位片,限位片上开设有限位孔,r轴电机的本体前端对应穿过限位孔。
7、本技术的有益效果为:本技术缩短r轴前端,延长r轴的两个轴承之间的长度,将本体上的连接位置设在顶部,从而将r轴电机的本体作为伸出取放料的一部分,极大地减小了r轴伸出本体外部分的长度,提升了r轴刚性,降低了运行时偏心度,提升了zr轴模组运行精度,提升了取放料的稳定性,满足了用户的细小工件的精准取放料需求。
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1.一种R轴电机,包括本体、R轴、导电环组件,本体内上下两端处各设有一个轴承,R轴对应连接所述轴承,其特征在于,R轴上下两端对应伸出至本体外,R轴下端伸出本体外的长度小于上下两个轴承之间的距离,本体顶部设有固定端盖,导电环组件设于固定端盖顶部,导电环组件与R轴上端电连接,固定端盖侧面设有加强筋部。
2.如权利要求1所述的R轴电机,其特征在于,导电环组件底部凸设有定位部,固定端盖上设有与定位部对应的定位槽。
3.如权利要求1所述的R轴电机,其特征在于,所述本体为圆筒状。
4.一种ZR轴模组,包括Z轴电机、压力传感器、滑台、基座,Z轴电机设于基座上,滑台连接Z轴电机的动子,压力传感器连接滑台,其特征在于,所述ZR轴模组还包括如利要求1-3中任一项所述的R轴电机,R轴电机的加强筋部与压力传感器连接。
5.如权利要求4所述的ZR轴模组,其特征在于,基座底部设有限位片,限位片上开设有限位孔,R轴电机的本体前端对应穿过限位孔。
【技术特征摘要】
1.一种r轴电机,包括本体、r轴、导电环组件,本体内上下两端处各设有一个轴承,r轴对应连接所述轴承,其特征在于,r轴上下两端对应伸出至本体外,r轴下端伸出本体外的长度小于上下两个轴承之间的距离,本体顶部设有固定端盖,导电环组件设于固定端盖顶部,导电环组件与r轴上端电连接,固定端盖侧面设有加强筋部。
2.如权利要求1所述的r轴电机,其特征在于,导电环组件底部凸设有定位部,固定端盖上设有与定位部对应的定位槽。
3....
【专利技术属性】
技术研发人员:陈秋龙,刘东成,龚勋,黄朝敏,阳香仁,谢镐泽,
申请(专利权)人:德瑞精工深圳有限公司,
类型:新型
国别省市:
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