【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械结构领域，特别涉及一种定制气浮轴承结构。
技术介绍
1、传统的固晶机是晶片生产的重要设备，固晶机在工作过程中需要可旋转的轴承来支持固晶时的旋转对位。
2、目前的转动轴承在转动的过程中，由于轴承的结构比较紧密，容易造成磨损轴承的结果，耐久度不足，并且传统的轴承需要庞大的结构来实现，增大机构旋转的阻力，导致旋转中心容易导致偏心，旋转的精度很差，为此，需要设计新的技术方案给予解决。
技术实现思路
1、为克服目前的气浮轴承结构耐久度不足，旋转精度差的技术问题，本技术提供了一种定制气浮轴承结构。
2、本技术提供了一种定制气浮轴承结构，所述定制气浮轴承结构包括轴承壳体、安装于所述轴承壳体内部的轴承阀体、插接于所述轴承阀体内的转轴以及可装卸于所述轴承壳体与所述轴承阀体之间的锁紧件，所述轴承阀体包括阀体主体以及开设于所述阀体主体上的气腔槽，所述气腔槽与所述轴承阀体之间形成多个气腔室。
3、优选地，所述轴承阀体还包括外设于所述气腔室上的密封圈。
4、优选地，所述气腔室包括由所述轴承壳体长度方向依次形成的第一气腔、第二气腔、第三气腔、第四气腔以及第五气腔。
5、优选地，所述轴承壳体包括对应所述第一气腔和所述第五气腔设置的第一气路、第二气腔和所述第四气腔之间设置的第二气路以及对应所述第三气腔设置的第三气路。
6、优选地，所述转轴包括转轴杆、开设于所述转轴杆上的第一气孔和第二气孔。
7、优选地，所述第一气孔对
8、与现有技术相比，本技术提供的一种定制气浮轴承结构，具有以下优点：
9、一种定制气浮轴承结构，所述定制气浮轴承结构包括轴承壳体、安装于所述轴承壳体内部的轴承阀体、插接于所述轴承阀体内的转轴以及可装卸于所述轴承壳体与所述轴承阀体之间的锁紧件，所述轴承阀体包括阀体主体以及开设于所述阀体主体上的气腔槽，所述气腔槽与所述轴承阀体之间形成多个气腔室，所述气腔室共有5个，所述气腔室有四个室相互连通的，还有一个气腔室为独立存在的，所述气浮轴承结构通过气腔室进入的气体来使转轴转动，通过气浮转动转轴，旋转偏心小，减小摩擦程度，提高气浮轴承机构的耐久性。
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1.一种定制气浮轴承结构，其特征在于：所述定制气浮轴承结构包括轴承壳体、安装于所述轴承壳体内部的轴承阀体、插接于所述轴承阀体内的转轴以及可装卸于所述轴承壳体与所述轴承阀体之间的锁紧件，所述轴承阀体包括阀体主体以及开设于所述阀体主体上的气腔槽，所述气腔槽与所述轴承阀体之间形成多个气腔室。
2.如权利要求1所述定制气浮轴承结构，其特征在于，所述轴承阀体还包括外设于所述气腔室上的密封圈。
3.如权利要求1所述定制气浮轴承结构，其特征在于，所述气腔室包括由所述轴承壳体长度方向依次形成的第一气腔、第二气腔、第三气腔、第四气腔以及第五气腔。
4.如权利要求3所述定制气浮轴承结构，其特征在于，所述轴承壳体包括对应所述第一气腔和所述第五气腔设置的第一气路、第二气腔和所述第四气腔之间设置的第二气路以及对应所述第三气腔设置的第三气路。
5.如权利要求3所述定制气浮轴承结构，其特征在于，所述转轴包括转轴杆、开设于所述转轴杆上的第一气孔和第二气孔。
6.如权利要求5所述定制气浮轴承结构，其特征在于，所述第一气孔对应所述第三气腔，所述第二气孔对应
...【技术特征摘要】
1.一种定制气浮轴承结构，其特征在于：所述定制气浮轴承结构包括轴承壳体、安装于所述轴承壳体内部的轴承阀体、插接于所述轴承阀体内的转轴以及可装卸于所述轴承壳体与所述轴承阀体之间的锁紧件，所述轴承阀体包括阀体主体以及开设于所述阀体主体上的气腔槽，所述气腔槽与所述轴承阀体之间形成多个气腔室。
2.如权利要求1所述定制气浮轴承结构，其特征在于，所述轴承阀体还包括外设于所述气腔室上的密封圈。
3.如权利要求1所述定制气浮轴承结构，其特征在于，所述气腔室包括由所述轴承壳体长度方向依次形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：田旭杰，张正辉，肖刚，程国栋，关巍，
申请(专利权)人：深圳市智立方自动化设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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