【技术实现步骤摘要】
本技术属于太阳能电池，具体涉及一种防翘曲式硅片的整形辅助机构。
技术介绍
1、目前，topcon工艺涉及的lpcvd沉积，其在特殊性背面生长氧化层和镀上poly硅层，导致电池片正背面应力不同，而在不同膜层厚度的情况下，应力不同，所形成的翘曲量也不一致，因此，硅片的间隔定位就显得十分重要，而常规石英舟因尺寸限定，存在以下技术缺陷：
2、1.一旦硅片自石英舟外延的距离过长，当硅片制程后由于应力作用产生翘曲，两片间开口过大，且无法有效形成纠正齐整贴合，导致吸盘下落瞬间，出现硅片和/或吸盘的破碎及损坏率高；
3、2.随矩形硅片长边变化，尤其是长边越长，双插翘曲量越大，更难有效解决硅片翘曲问题，无法兼容研发试验及量产。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种全新的防翘曲式硅片的整形辅助机构。
2、为解决上述技术问题，本技术采取的技术方案如下：
3、一种防翘曲式硅片的整形辅助机构，其位于石英舟的相对两侧，且包括对称设置的两个辅助夹，其中各辅助夹包括具有与石英舟的齿槽对齐梳齿且对齐设置的两个或多个整形模块、用于将两个或多个整形模块之间相串接的连接杆，其中各整形模块能够沿着连接杆长度方向活动调节设置，且各整形模块上的梳齿能够将并排设置的多个硅片等间距间隔。
4、优选地，各整形模块包括长条形本体、沿着长条形本体长度方向并排设置在长条形本体内侧的梳齿。
5、在一些具体实施方式中，各梳齿包括齿本体、
6、根据本技术的一个具体实施和优选方面，间隔部呈锥形或锥台形，且自锥形或锥台形的锥面的相对两侧分别抵触在间隔分布的两片硅片上。此锥面的设计，能够满足一定区间范围内，不同厚度硅片的间隔隔开，同时，进一步减小接触面，有利于硅片表面膜层的沉积。
7、优选地，齿本体呈圆柱形，且外径与锥形或锥台形的最大外径相等。这样有利于加工成型。
8、根据本技术的一个具体实施和优选方面，在长条形本体上设有沿自身长度方向延伸的腰孔，连接杆穿过腰孔并通过外接件相固定；或者在长条形本体上设有与连接杆匹配的穿插孔，连接杆与穿插孔匹配穿接。通过腰孔或穿插孔的设置，方便连接杆与长条形本体的装配，同时一旦需要调节对齐齿位也十分方便。
9、优选地，在长条形本体的上部或/和下部还设有加强长条，其中加强长条上设有与腰孔或穿插孔对应的避让孔，连接杆穿过避让孔和腰孔并通过外接件相固定；或者连接杆穿过避让孔和穿插孔相匹配固定。增加整体刚性，使其具有较高的稳定性，同时有效增加使用寿命。
10、在一些具体实施方式中，各梳齿能够拆装在长条形本体上。以方便各梳齿的更换。
11、此外，辅助夹还包括与整形模块平行设置的辅助架条，连接杆固定在辅助架条上，各整形模块相对连接杆固定。通过辅助架条有效的将多根连接杆相对固定，以增加辅助夹的强度。
12、优选地，辅助架条与对应侧硅片隔开设置。避免辅助架条造成硅片表面沉积干扰。
13、由于以上技术方案的实施，本技术与现有技术相比具有如下优点：
14、现有硅片的间隔定位，一旦硅片自石英舟外延的距离过长，当硅片制程后由于应力作用产生翘曲，两片间开口过大，且无法有效形成纠正齐整贴合，导致吸盘下落瞬间，出现硅片和/或吸盘的破碎及损坏率高；同时，随矩形硅片长边变化，尤其是长边越长，双插翘曲量越大，更难有效解决硅片翘曲问题，无法兼容研发试验及量产等等不足，而本技术对整形辅助机构进行整体设计巧妙地解决了现有结构的各种不足。采取该整形辅助机构后，由梳齿将冒出石英舟的硅片部分进行等间距隔开，同时在冒出部分长度方向通过多组进行分段布局，使其在发生翘曲时形成整形，因此，本技术一方面通过分段且对齐的整形辅助装夹，以降低硅片在加工中的翘曲率，避免吸盘卸载硅片所造成的硅片或吸盘损伤；另一方面不管硅片冒出长度多少，采用不同数量的整形模块进行连接杆的装配，即可实施装夹整形，实用性强，可以兼容研发实验及量产。
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1.一种防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于，其位于石英舟的相对两侧，且包括对称设置的两个辅助夹，其中各所述辅助夹包括具有与所述石英舟的齿槽对齐梳齿且对齐设置的两个或多个整形模块、用于将所述两个或多个整形模块之间相串接的连接杆，其中各所述整形模块能够沿着所述连接杆长度方向活动调节设置，且各所述整形模块上的梳齿能够将并排设置的多个硅片等间距间隔。
2.根据权利要求1所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,各所述整形模块包括长条形本体、沿着所述长条形本体长度方向并排设置在所述长条形本体内侧的梳齿。
3.根据权利要求1或2所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,各所述的梳齿包括齿本体、位于所述齿本体端部的间隔部。
4.根据权利要求3所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,所述的间隔部呈锥形或锥台形，且自锥形或锥台形的锥面的相对两侧分别抵触在间隔分布的两片所述硅片上。
5.根据权利要求4所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,所述齿本体呈圆柱形，且外径与所述锥形或锥台形的最大外径相等。
6.根据权利要求
7.根据权利要求6所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,在所述长条形本体的上部或/和下部还设有加强长条，其中所述加强长条上设有与所述腰孔或所述穿插孔对应的避让孔，所述的连接杆穿过所述避让孔和腰孔并通过外接件相固定；或者所述的连接杆穿过所述避让孔和穿插孔相匹配固定。
8.根据权利要求2所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,各所述梳齿能够拆装在所述长条形本体上。
9.根据权利要求1所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,所述辅助夹还包括与所述整形模块平行设置的辅助架条，所述的连接杆固定在所述辅助架条上，各所述整形模块相对所述连接杆固定。
10.根据权利要求9所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,所述的辅助架条与对应侧所述硅片隔开设置。
...【技术特征摘要】
1.一种防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于，其位于石英舟的相对两侧，且包括对称设置的两个辅助夹，其中各所述辅助夹包括具有与所述石英舟的齿槽对齐梳齿且对齐设置的两个或多个整形模块、用于将所述两个或多个整形模块之间相串接的连接杆，其中各所述整形模块能够沿着所述连接杆长度方向活动调节设置，且各所述整形模块上的梳齿能够将并排设置的多个硅片等间距间隔。
2.根据权利要求1所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,各所述整形模块包括长条形本体、沿着所述长条形本体长度方向并排设置在所述长条形本体内侧的梳齿。
3.根据权利要求1或2所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,各所述的梳齿包括齿本体、位于所述齿本体端部的间隔部。
4.根据权利要求3所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,所述的间隔部呈锥形或锥台形，且自锥形或锥台形的锥面的相对两侧分别抵触在间隔分布的两片所述硅片上。
5.根据权利要求4所述的防翘曲式硅片的整形辅助机构，其特征在于,所述齿本体呈圆柱形，且外径与所述锥形或锥台形的最大外径相等。
【专利技术属性】
技术研发人员：沈东东，肖赟，黄沈虎，李彦潼，包俊杰，齐琦，
申请(专利权)人：江苏林洋太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：
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