【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工，特别涉及一种受台组件驱动结构、一种受台组件及一种加工装置。
技术介绍
1、裂片机是用来对晶圆进行劈裂分割的设备。晶圆是制作硅半导体电路所用的硅晶片。裂片机能自动对晶圆进行劈裂操作，相对于人工手动分离晶圆的操作，裂片机的分割效率高，自动化程度高。裂片机包括机台、受台组件、驱动组件和劈刀组件。所述受台组件设于所述机台上，用于对料片的劈裂位置进行支撑。所述受台组件能够在驱动组件的作用下运动，并且受台组件用于支撑料片。所述劈刀组件用于对所述受台组件上的料片进行劈裂。
2、现有技术中的驱动组件通常采用电机加丝杠的驱动方式，具体地，电机带动丝杠转动，丝杠通过丝母、以及与丝母固定的丝母座带动受台运动。这种结构设置，由于丝母座套设在丝杠上，在更换丝杠时，需要将丝杠两端的连接位置拆开才能将套设的丝母座取下，不方便丝杠的维修，费时费力。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种受台组件驱动结构，便于受台驱动结构与受台分离，丝母座方便拆卸，使得丝杠维修方便，省时省力。
2、本技术还提供了一种受台组件。
3、本技术还提供了一种加工装置。
4、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
5、一种受台组件驱动结构，包括：
6、电机；
7、丝杠，与所述电机传动连接；
8、丝母，螺纹连接在所述丝杠上；
9、丝母座，一端连接在所述丝母上，另一端与受台组件的受台固定连接；
10
11、可选地，所述丝母包括头部和颈部，所述颈部的外表面与所述槽结构的内表面对应设置，所述槽结构套设在所述颈部上，所述丝母座与所述头部固定连接。
12、可选地，所述丝母座靠近所述槽结构的一端设置有第一连接通孔，所述头部上设置有第二连接通孔，所述第二连接通孔与所述第一连接通孔对应设置。
13、可选地，所述第一连接通孔的轴线与所述槽结构的轴线平行设置。
14、可选地，所述丝母座远离所述槽结构的一端设置有多个第三连接通孔，所述丝母座通过连接在所述第三连接通孔内的第二连接件连接在所述受台上。
15、可选地，还包括与所述丝杠转动连接的第一轴承座和第二轴承座，所述第二轴承座靠近所述电机设置，所述丝母和丝母座位于所述第一轴承座和第二轴承座之间。
16、从上述技术方案可以看出，本技术提供的受台组件驱动结构，包括电机、丝杠、丝母和丝母座，丝母座一端连接在丝母上，另一端与受台固定连接。电机带动丝杠转动，丝杠带动与之螺纹连接的丝母移动，从而带动连接在丝母上的丝母座移动，由于丝母座与受台固定连接，从而带动受台移动，从而实现驱动受台移动的目的。本技术的受台组件驱动结构，通过丝母座与丝母连接的一端设置有槽结构，槽结构的开口的宽度大于所述丝杠的外径，从而便于丝母座跨接在丝母上，便于丝母座与丝母的连接和拆卸，在更换丝杠时，只需要松开丝母座和受台的连接，并且将丝母座槽结构从丝母上拆卸即可实现对丝杠的更换或维修，拆卸方便，省时省力。
17、本技术还提供了一种受台组件，包括受台和上述的受台组件驱动结构，所述受台组件驱动结构用于驱动受台运动。
18、可选地，所述受台包括第一分受台和第二分受台，所述第一分受台和第二分受台中的至少一者对应设置有所述受台组件驱动结构，所述受台组件驱动结构带动所述第一分受台和/或第二分受台运动，使所述第一分受台和第二分受台相互靠近或远离。
19、可选地，所述受台组件上还设置有用于防止所述第一分受台和所述第二分受台直接相撞的防撞部件。
20、本技术的受台组件包括上述的受台组件驱动结构，因此具有上述受台组件驱动结构的优点，此处不再赘述。
21、本技术还提供了一种加工装置，包括机台，所述机台上滑动设置有受台组件，所述受台组件为上述的受台组件。
22、本技术的加工装置包括上述的受台组件，因此具有上述受台组件的优点，此处不再赘述。
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1.一种受台组件驱动结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的受台组件驱动结构，其特征在于，所述丝母包括头部和颈部，所述颈部的外表面与所述槽结构的内表面对应设置，所述槽结构套设在所述颈部上，所述丝母座与所述头部固定连接。
3.根据权利要求2所述的受台组件驱动结构，其特征在于，所述丝母座靠近所述槽结构的一端设置有第一连接通孔，所述头部上设置有第二连接通孔，所述第二连接通孔与所述第一连接通孔对应设置。
4.根据权利要求3所述的受台组件驱动结构，其特征在于，所述第一连接通孔的轴线与所述槽结构的轴线平行设置。
5.根据权利要求1所述的受台组件驱动结构，其特征在于，所述丝母座远离所述槽结构的一端设置有多个第三连接通孔，所述丝母座通过连接在所述第三连接通孔内的第二连接件连接在所述受台上。
6.根据权利要求1所述的受台组件驱动结构，其特征在于，还包括与所述丝杠转动连接的第一轴承座和第二轴承座，所述第二轴承座靠近所述电机设置，所述丝母和丝母座位于所述第一轴承座和第二轴承座之间。
7.一种受台组件，其特征在于，包括受台
8.根据权利要求7所述的受台组件，其特征在于，所述受台包括第一分受台和第二分受台，所述第一分受台和第二分受台中的至少一者对应设置有所述受台组件驱动结构，所述受台组件驱动结构带动所述第一分受台和/或第二分受台运动，使所述第一分受台和第二分受台相互靠近或远离。
9.根据权利要求8所述的受台组件，其特征在于，所述受台组件上还设置有用于防止所述第一分受台和所述第二分受台直接相撞的防撞部件。
10.一种加工装置，包括机台，所述机台上滑动设置有受台组件，其特征在于，所述受台组件为权利要求7-9任一项所述的受台组件。
...【技术特征摘要】
1.一种受台组件驱动结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的受台组件驱动结构，其特征在于，所述丝母包括头部和颈部，所述颈部的外表面与所述槽结构的内表面对应设置，所述槽结构套设在所述颈部上，所述丝母座与所述头部固定连接。
3.根据权利要求2所述的受台组件驱动结构，其特征在于，所述丝母座靠近所述槽结构的一端设置有第一连接通孔，所述头部上设置有第二连接通孔，所述第二连接通孔与所述第一连接通孔对应设置。
4.根据权利要求3所述的受台组件驱动结构，其特征在于，所述第一连接通孔的轴线与所述槽结构的轴线平行设置。
5.根据权利要求1所述的受台组件驱动结构，其特征在于，所述丝母座远离所述槽结构的一端设置有多个第三连接通孔，所述丝母座通过连接在所述第三连接通孔内的第二连接件连接在所述受台上。
6.根据权利要求1所述的受台组件驱动结构，其特征在于，还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓长，刘伟雄，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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