【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及防护膜组件。
技术介绍
1、在光刻的领域中，除了对半导体的ic芯片之类的小面积的曝光之外，还开发了对液晶显示器等平板显示器之类的更大面积的一次性曝光技术。
2、在大规模集成电路(lsi)、超lsi等半导体设备、液晶显示板等的制造工序中，隔着掩模(也称为曝光原板、光罩)对感光层等照射光，由此进行图案化。此时，如果掩模上附着有异物，则光会被异物吸收，或者光被异物表面反射而发生弯曲。其结果是，所形成的图案发生变形，或者边缘变得粗糙，从而产生图案化后的尺寸、品质以及外观等受损之类的问题。为了消除这样的问题，采用了在掩模的表面上安装具备使光透过的防护膜的防护膜组件来抑制异物附着的方法(例如，专利文献1)。
3、在将这样的防护膜组件安装在掩模上的状态下，防护膜组件内部的气密性极高，薄膜的防护膜有时会因气压变化、温度变化而成为松弛或膨胀的状态。如此在防护膜失去平滑性的情况下，不仅会改变防护膜的光学特性，在凹凸的程度严重的情况下，防护膜还会与掩模接触或触碰到装置而导致防护膜损伤。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开2020-160466号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、特别是，在用于制造平板显示器那样的大型防护膜组件中，膜张力难以达到防护膜的中央部分。如果膜张力过小，则膜中央部分容易发生挠曲，如果膜张力过大，则框架受到的应力变大而难以确保结构稳定性。
3、本专
4、用于解决课题的手段
5、本专利技术如下。
6、[1]
7、一种防护膜组件，其特征在于，具备矩形状的框体、设于上述框体的一面侧的防护膜以及设于上述框体的另一面侧的掩模粘着剂，上述框体的长边的长度为600mm以上以及短边的长度为500mm以上，
8、进行具有以下步骤的送风颤动(ハタメキ)实验时，第一方向上的位移量(t1)与第二方向上的位移量(t2)之和(δ位移量＝t1+t2)为1.50mm～2.80mm，并且，
9、所述第一方向上的最大位移量(t1max)和所述第二方向上的最大位移量(t2max)中的较大一方、即颤动量为1.00mm～2.40mm，
10、所述步骤为：
11、(1)经由上述掩模粘着剂将上述防护膜组件贴附于平面板的步骤；
12、(2)在上述防护膜组件和另一平面板之间设置5.5mm、8.0mm、10.0mm或12.0mm的间隔的步骤；
13、(3)以静止时的包含上述框体的一面的假想面为基准，测定使用送风机沿着上述防护膜组件的长边方向在上述防护膜组件与上述另一平面板之间以1,000mm/秒进行送风时的、在整个预定的测定时间内的上述防护膜相对于上述假想面在厚度方向上的位移量的步骤；以及
14、(4)获得上述位移量中向上述平面板靠近的所述第一方向上的位移量和从上述平面板远离的所述第二方向上的位移量的步骤。
15、[2]
16、如[1]所述的防护膜组件，上述第一方向上的最大位移量(t1max)大于上述第二方向上的最大位移量(t2max)。
17、[3]
18、如[1]或[2]所述的防护膜组件，上述δ位移量和上述颤动量是基于上述送风颤动实验中沿着上述防护膜的多个测定点处的测定结果而获得的。
19、[4]
20、如[1]～[3]中任一项所述的防护膜组件，在上述送风颤动实验中，设置两处以上测定点的组合，该测定点的组合中，送风的上游侧的测定点处的上述第一方向上的最大位移量大于送风的下游侧的测定点处的上述第一方向上的最大位移量。
21、[5]
22、如[1]～[4]中任一项所述的防护膜组件，在上述送风颤动实验中，设置两处以上测定点的组合，该测定点的组合中，送风的上游侧的测定点处的上述第二方向上的最大位移量小于送风的下游侧的测定点处的上述第二方向上的最大位移量。
23、[6]
24、如[1]～[5]中任一项所述的防护膜组件，上述框体的长边的长度为600mm以上4000mm以下，以及短边的长度为500mm以上3000mm以下。
25、专利技术效果
26、根据本专利技术，能够提供防护膜的膜张力被调整得合适、由风压等引起的变形得到抑制且结构稳定性优异的防护膜组件。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种防护膜组件，其特征在于，具备矩形状的框体、设于所述框体的一面侧的防护膜以及设于所述框体的另一面侧的掩模粘着剂，所述框体的长边的长度为600mm以上，以及短边的长度为500mm以上，
2.根据权利要求1所述的防护膜组件，所述第一方向上的最大位移量T1max大于所述第二方向上的最大位移量T2max。
3.根据权利要求1所述的防护膜组件，所述Δ位移量和所述颤动量是基于所述送风颤动实验中沿着所述防护膜的多个测定点处的测定结果而获得的。
4.根据权利要求1所述的防护膜组件，在所述送风颤动实验中，设置两处以上测定点的组合，该测定点的组合中，送风的上游侧的测定点处的所述第一方向上的最大位移量大于送风的下游侧的测定点处的所述第一方向上的最大位移量。
5.根据权利要求1所述的防护膜组件，在所述送风颤动实验中，设置两处以上测定点的组合，该测定点的组合中，送风的上游侧的测定点处的所述第二方向上的最大位移量小于送风的下游侧的测定点处的所述第二方向上的最大位移量。
6.根据权利要求1所述的防护膜组件，所述框体的长边的长度为600mm以上4
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种防护膜组件，其特征在于，具备矩形状的框体、设于所述框体的一面侧的防护膜以及设于所述框体的另一面侧的掩模粘着剂，所述框体的长边的长度为600mm以上，以及短边的长度为500mm以上，
2.根据权利要求1所述的防护膜组件，所述第一方向上的最大位移量t1max大于所述第二方向上的最大位移量t2max。
3.根据权利要求1所述的防护膜组件，所述δ位移量和所述颤动量是基于所述送风颤动实验中沿着所述防护膜的多个测定点处的测定结果而获得的。
4.根据权利要求1所述的防护膜组件，在所述送风颤动实验...
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