一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装制造技术

本文提出了一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装，斜窗片为外轮廓倾斜的立式厚片，所述的溅射工装包括工装座和平面座，所述的工装座形状为四面的立四等面四棱锥，工装座的底面设有平面座，工装座的四棱面与底面之间的倾斜夹角与斜窗片外轮廓与底面之间的倾斜夹角相同，所述的斜窗片的底面沾黏式的与工装座的四棱面外表面相连，斜窗片的外侧表面垂直于平面座的上表面，工装设计呈金字塔状区域分为四块，有效利用了可用空间，工装的角度正好可以和斜窗片的角度互补，斜窗片装上工装后呈竖直状，这样斜窗片在镀金时侧面也可以镀的很均匀平整。

【技术实现步骤摘要】

本文属于斜窗片溅射工装的，具体涉及一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装。

技术介绍

1、窗口片是光学中的基础光学元件之一，是一种在光路中起到保护电子元件、传感器或半导体元件作用的光学平板，窗口片不会改变光学的放大倍率，在光路中仅影响光程，透光率、面型精度、厚度、平行度、基底材质等机械属性是窗口片重要的参数指标，可根据具体应用选择参数指标适合的窗口片。

2、光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。焦平面探测技术的发展对器件封装与薄膜滤光片提出了更高的要求。光学薄膜技术的普遍方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀薄膜，一般用来控制基板对入射光束的反射率和透过率，以满足不同的需要。

3、然而斜窗片由于外侧的角度是处于倾斜状的，因此传统的平面工装在使用的过程中就会由于角度的限制导致锐角一侧与工装平面的连接处在通过溅射镀金的过程中产生死角，从而导致镀金不均匀，产生瑕疵，而装夹工装则最少需要两个接触面才能进行稳固的装夹，这样会降低有效镀金的面积。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本文提出了一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装，斜窗片为外轮廓倾斜的立式厚片，所述的溅射工装包括工装座和平面座，所述的工装座形状为四面的立四等面四棱锥，工装座的底面设有平面座，工装座的四棱面与底面之间的倾斜夹角与斜窗片外轮廓与底面之间的倾斜夹角相同，所述的斜窗片的底面沾黏式的与工装座的四棱面外表面相连，斜窗片的外侧表面垂直于平面座的上表面，工装设计呈金字塔状区域分为四块，有效利用了可用空间，工装的角度正好可以和斜窗片的角度互补，斜窗片装上工装后呈竖直状，这样斜窗片在镀金时侧面也可以镀的很均匀平整。

2、工装座工装座形状为金字塔形的立式四等面四棱锥，工装座的外侧表面正投影形状为等边三角形，通过四个斜面立式的工装座，不但能够保证在一个工装上能够有足够的斜面进行斜窗片的安装，而且四面的形式是在有限的面积下安装上最多斜窗片的形式，从而使生产效率最大化的效果。

3、斜窗片形状为圆柱型厚片状，斜窗片的外侧轮廓朝向一侧倾斜，斜窗片的上下两面相互平行，斜窗片通过直接沾黏的形式与工装座进行贴合装配，从而不使用夹爪等装置，就能最大程度的提高斜窗片镀金的完整性，提高镀金的结合率。

4、平面座形状为矩形平板座，平面座的上下两面相互平行，平面座的顶面与装配座相连，平面座的底面与镀金旋转台相连，通过平面座来与镀金用的旋转台进行有效的连接，从而保证工装台安装稳固的同时，还能带动工装台在镀金过程中横向水平的稳定旋转，从而保证。镀金质量。

5、有益效果：

6、工装设计呈金字塔状区域分为四块，有效利用了可用空间，工装的角度正好可以和斜窗片的角度互补，斜窗片装上工装后呈竖直状，这样斜窗片在镀金时侧面也可以镀的很均匀平整。

7、通过四个斜面立式的工装座，不但能够保证在一个工装上能够有足够的斜面进行斜窗片的安装，而且四面的形式是在有限的面积下安装上最多斜窗片的形式，从而使生产效率最大化的效果。

8、斜窗片通过直接沾黏的形式与工装座进行贴合装配，从而不使用夹爪等装置，就能最大程度的提高斜窗片镀金的完整性，提高镀金的结合率。

9、通过平面座来与镀金用的旋转台进行有效的连接，从而保证工装台安装稳固的同时，还能带动工装台在镀金过程中横向水平的稳定旋转，从而保证。镀金质量。

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【技术保护点】

1.一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装，斜窗片为外轮廓倾斜的立式厚片，其特征在于，所述的溅射工装包括工装座和平面座，所述的工装座形状为四面的立四等面四棱锥，工装座的底面设有平面座，工装座的四棱面与底面之间的倾斜夹角与斜窗片外轮廓与底面之间的倾斜夹角相同，所述的斜窗片的底面沾黏式的与工装座的四棱面外表面相连，斜窗片的外侧表面垂直于平面座的上表面。

2.根据权利要求1所述的一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装，其特征在于，所述的工装座工装座形状为金字塔形的立式四等面四棱锥，工装座的外侧表面正投影形状为等边三角形。

3.根据权利要求1所述的一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装，其特征在于，所述的斜窗片形状为圆柱型厚片状，斜窗片的外侧轮廓朝向一侧倾斜，斜窗片的上下两面相互平行。

4.根据权利要求1所述的一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装，其特征在于，所述的平面座形状为矩形平板座，平面座的上下两面相互平行，平面座的顶面与装配座相连，平面座的底面与镀金旋转台相连。

【技术特征摘要】

1.一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装，斜窗片为外轮廓倾斜的立式厚片，其特征在于，所述的溅射工装包括工装座和平面座，所述的工装座形状为四面的立四等面四棱锥，工装座的底面设有平面座，工装座的四棱面与底面之间的倾斜夹角与斜窗片外轮廓与底面之间的倾斜夹角相同，所述的斜窗片的底面沾黏式的与工装座的四棱面外表面相连，斜窗片的外侧表面垂直于平面座的上表面。

2.根据权利要求1所述的一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装，其特征在于，所述的工装座工装...

【专利技术属性】
技术研发人员：周东平，张鑫，
申请(专利权)人：镇江晶鼎光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：