【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及mems发声芯片，尤其是一种mems发声芯片吸附电压的检测设备及方法。
技术介绍
1、mems发声芯片技术是让扬声器的发声方式突破传统的电-声转换技术，通过mems+dsr技术，声波将被像素化，最终实现在发声端的数字化。mems发声芯片具有全频谱、高保真、低功耗、高效率等功能，可以用更小的尺寸从整体到细节实现声音的完美播放，改变传统扬声器的发声原理。
2、mems发声芯片的吸附电压是静电式mems发声芯片的一个重要指标，其表示电容电压达到多少就进行吸合动作的意思，在mems发声芯片正常工作时，要求吸附电压在一定的范围内，从而保证mems发声芯片的可靠性，因此非常必要对静电式mems发声芯片的吸附电压进行有效测量。现有技术中，对于静电式mems吸附电压测试判断的技术方案均是采用光学测试设备进行测试，例如采用激光测振仪测试mems发声芯片通电过程中像素单元的位移深度，或者采用光学显微镜来进行检测位移深度；此类光学方案采用的测试设备不但成本高（通常需要数万到数十万元），而且需要采用具有一定运算能力的图像识别设备进行图像识别，从而进行位移深度判断；其数据分析过程复杂，效率低；制约了mems数字发声芯片的快速发展。
3、鉴于此，需要设计一种全新的测试方法，以解决现有技术中测试mems发声芯片吸附电压时效率低及成本高的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种mems发声芯片吸附电压的检测设备及方法，用于解决现有技术中测试mems发声芯片吸附电
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、第一方面，本专利技术提供一种mems发声芯片吸附电压的检测设备，设备至少包括：
4、探针台、电源、声学检测模块以及控制模块；
5、所述控制模块分别与所述探针台、声学检测模块以及电源连接；
6、所述探针台至少包括托盘和探针卡，所述探针卡用于连接mems发声芯片，所述托盘用于放置mems发声芯片；所述控制模块控制所述探针台加载放置有mems发声芯片的所述托盘移动，使得所述探针卡从所述mems发声芯片的目标位置接入；
7、所述声学检测模块用于对所述mems发声芯片进行声学检测，得到声学检测数据，并对所述声学检测数据进行数据分析，得到数据分析结果；
8、所述声学检测模块将所述数据分析结果发送至控制模块，使得所述控制模块根据所述数据分析结果确定所述mems发声芯片的吸附电压。
9、第二方面，本专利技术提供一种mems发声芯片吸附电压的检测方法，所述方法应用与一种mems发声芯片吸附电压的检测设备，所述设备至少包括探针台、电源、声学检测模块以及控制模块；所述探针台至少包括托盘和探针卡，方法包括：
10、利用所述声学检测模块采集mems发声芯片测试过程中的音频数据，得到声学检测数据；所述声学检测数据为所述控制模块控制所述探针台加载放置有所述mems发声芯片的所述托盘移动，将所述探针卡从所述mems发声芯片的目标位置接入，以及控制所述电源为所述探针台提供工作电压后，所述声学检测模块采集到的音频数据；
11、对所述声学检测数据进行数据分析，得到数据分析结果；
12、向所述控制模块发送所述数据分析结果，所述控制模块基于所述数据分析结果，确定所述mems发声芯片的吸附电压。
13、与现有技术相比，本专利技术提供的一种mems发声芯片吸附电压的检测设备，通过设置探针台、电源、声学检测模块以及控制模块；将控制模块分别与所述探针台、声学检测模块以及电源连接；并且探针台至少包括托盘和探针卡，其中探针卡用于连接mems发声芯片，托盘用于放置mems发声芯片；控制模块控制探针台加载放置有mems发声芯片的托盘移动，使得探针卡从所述mems发声芯片的目标位置接入；再利用声学检测模块对所述mems发声芯片进行声学检测，得到声学检测数据，并对所述声学检测数据进行数据分析，得到数据分析结果，并将该数据分析结果发送至控制模块；最后控制模块根据数据分析结果确定所述mems发声芯片的吸附电压；从而实现了利用声学检测的方法确定mems发声芯片的吸附电压，降低了检测成本，提升了检测效率。
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1.一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，至少包括：
2.如权利要求1所述的一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，所述电源为可编程电源；
3.如权利要求1所述的一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，声学检测模块包括声学检测卡以及数据分析单元；所述声学检测卡与所述数据分析单元连接；
4.如权利要求3所述的一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，所述声学检测卡上设置有贯通于所述声学检测卡的检测孔，以及所述检测孔上周向设置的多个麦克风；多个所述麦克风距离所述检测孔中心距离为预设距离；
5.如权利要求3所述的一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，
6.如权利要求3所述的一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，所述声学检测卡还包括数据采集单元；
7.一种MEMS发声芯片吸附电压的检测方法，其特征在于，所述方法应用与一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备，所述设备至少包括探针台、电源、声学检测模块以及控制模块；所述探针台至少包括托盘和探针卡，
8.如权利要求7所述的一种MEMS发声芯片吸附电压的检测方法，所述利用所述声学检测模块采集MEMS发声芯片测试过程中的音频数据，之前包括：
9.如权利要求8所述的一种MEMS发声芯片吸附电压的检测方法，其特征在于，所述控制所述电源为所述探针台提供工作电压，包括：
10.如权利要求7所述的一种MEMS发声芯片吸附电压的检测方法，其特征在于，所述对所述声学检测数据进行数据分析，得到数据分析结果，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种mems发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，至少包括：
2.如权利要求1所述的一种mems发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，所述电源为可编程电源；
3.如权利要求1所述的一种mems发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，声学检测模块包括声学检测卡以及数据分析单元；所述声学检测卡与所述数据分析单元连接；
4.如权利要求3所述的一种mems发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，所述声学检测卡上设置有贯通于所述声学检测卡的检测孔，以及所述检测孔上周向设置的多个麦克风；多个所述麦克风距离所述检测孔中心距离为预设距离；
5.如权利要求3所述的一种mems发声芯片吸附电压的检测设备，其特征在于，
6.如权利要求3所述的一种mems发声芯片吸附电...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘长华，王颢，
申请(专利权)人：地球山苏州微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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