一种结构改进的晶棒转运小车制造技术

技术编号:42537644 阅读:15 留言:0更新日期:2024-08-27 19:43
本技术涉及单晶硅生产技术领域,公开一种结构改进的晶棒转运小车,包括小车机架,所述小车机架上设有升降机构,所述升降机构包括滑动连接在小车机架上的升降座,升降座上设有上下设置的晶托夹持组件和接水组件;所述接水组件包括设置在晶托夹持组件下方的可旋转的接水盒。通过接水组件可随升降座移动,可保证接水盒与晶棒保持较短的距离,解决接液时易飞溅的问题;通过接水盒可旋转,解决了晶棒下料时易磕碰的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅生产,特别涉及一种结构改进的晶棒转运小车


技术介绍

1、多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割,成为硅片切割加工的主要方式。授权公告号cn215282766 u公开了一种多线切割机用硅棒上下料小车,包括下表面供硅棒粘附的沾棒台,还包括底座,底座上设置有沿竖直方向延伸的连接管,连接管上设置有升降座,升降座上设置有供沾棒台滑移连接 的支撑台,连接管上设置有用于驱动升降座上下移动的驱动件。所述底座上且位于沾棒台的下方设置有接料盘,接料盘用于接水。但接料盘设置在底部,与沾棒台距离较远,沾棒台上的晶棒切割产生的水滴落到接料盘上时由于距离较远,容易飞溅;同时晶棒下料过程中晶棒容易发生磕碰。


技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种结构改进的晶棒转运小车,通过接水组件可随升降座移动,可保证接水盒与晶棒保持较短的距离,解决接液时易飞溅的问题;

2、通过接水盒可旋转,解决了晶棒下料时易磕碰的问题。

3、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:

4、一种结构改进的晶棒转运小车,包括小车机架,所述小车机架上设有升降机构,所述升降机构包括滑动连接在小车机架上的升降座,升降座上设有上下设置的晶托夹持组件和接水组件;

5、所述接水组件包括设置在晶托夹持组件下方的可旋转的接水盒。

6、通过上述技术方案,转移晶棒时,晶棒固定在晶托上,晶托插套在晶托夹持组件上,接水盒则靠近晶棒底部,晶棒切割产生的水滴落到接水盒上,由于距离较短,不会产生飞溅;

7、同时晶棒随升降座上下移动时 ,接水盒也随之移动,不仅缩短接液距离,上升后接液排液也更方便有效;

8、接水盒可旋转设置,可方便晶棒下料时避免碰撞。

9、本技术进一步设置为:所述接水组件还包括固定在接水盒内端的连接板,连接板上固定有轴承座,轴承座通过轴承转动连接在基轴上,基轴固定在轴座上,轴座与升降座固定连接;所述轴座上螺接有轴承座锁销。

10、通过上述技术方案,轴承座可套基轴转动从而使轴承座通过连接板带动接水盒套基轴转动,从而实现接水盒的旋转工作;

11、轴承座锁销可对轴承座进行锁定,防止轴承座自由转动。

12、本技术进一步设置为:所述轴承座呈“t”字型;

13、所述轴座包括固定连接的上底板、下底板和侧板,所述轴承座置于上底板和下底板之间,轴承座的一端肩部压靠在侧板上;

14、所述轴承座面向侧板的一侧壁上成型有销孔,轴承座锁销螺接在侧板上。

15、通过上述技术方案,轴承座的一端肩部压靠在侧板上可对轴承座的内旋转幅度进行限制,轴承座锁销插入到销孔内可对轴承座进行限制,需要解除限制时只需转动轴承座锁销,旋出即可。

16、本技术进一步设置为:所述接水盒呈上侧开口的矩形长盒状;

17、接水盒的内壁上固定有一对对称设置的u型滑道,两个u型滑道之间滑动连接有伸缩水盒,伸缩水盒靠近升降座的一端成型有落水槽;

18、所述u型滑道的中部固定有限位销钉,限位销钉插套在伸缩水盒内。

19、通过上述技术方案,伸缩水盒可在u型滑道内移动,从而可增加接水的面积;限位销钉可限制伸缩水盒外移的幅度,防止其从接水盒上移出掉落。

20、本技术进一步设置为:所述升降座上设有晶托牵引机构;

21、所述晶托牵引机构包括插接在晶托上的挂钩部,挂钩部连接在钢丝绳的一端,钢丝绳的另一端缠绕在钢丝绳盘上,钢丝绳盘同轴心固定有大齿轮,大齿轮啮合有小齿轮,小齿轮通过第一轴固定连接有棘轮,棘轮设有棘爪,棘爪转动连接在基架上,基架固定在升降座上;所述第一轴上连接有手柄,大齿轮和钢丝绳盘固定在第二轴上,第二轴和第一轴转动连接在基架上。

22、通过上述技术方案,通过手柄转动第一轴,第一轴带动小齿轮转动,小齿轮通过大齿轮带动钢丝绳盘转动,钢丝绳盘江钢丝绳收拢,钢丝绳带动挂钩部移动,挂钩部带动晶托移动从而将晶托及晶棒拉入至晶托夹持组件内。

23、本技术的突出效果是:

24、与现有技术相比,通过接水组件可随升降座移动,可保证接水盒与晶棒保持较短的距离,解决接液时易飞溅的问题;

25、通过接水盒可旋转,解决了晶棒下料时易磕碰的问题。

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【技术保护点】

1.一种结构改进的晶棒转运小车,包括小车机架(10),所述小车机架(10)上设有升降机构(20),其特征在于:所述升降机构(20)包括滑动连接在小车机架(10)上的升降座(201),升降座(201)上设有上下设置的晶托夹持组件(202)和接水组件(203);

2.根据权利要求1所述的一种结构改进的晶棒转运小车,其特征在于:所述接水组件(203)还包括固定在接水盒(2031)内端的连接板(2032),连接板(2032)上固定有轴承座(2033),轴承座(2033)通过轴承(2034)转动连接在基轴(2035)上,基轴(2035)固定在轴座(2036)上,轴座(2036)与升降座(201)固定连接;所述轴座(2036)上螺接有轴承座锁销(2037)。

3.根据权利要求2所述的一种结构改进的晶棒转运小车,其特征在于:所述轴承座(2033)呈“T”字型;

4.根据权利要求2所述的一种结构改进的晶棒转运小车,其特征在于:所述接水盒(2031)呈上侧开口的矩形长盒状;

5.根据权利要求1所述的一种结构改进的晶棒转运小车,其特征在于:所述升降座(201)上设有晶托牵引机构(30);

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【技术特征摘要】

1.一种结构改进的晶棒转运小车,包括小车机架(10),所述小车机架(10)上设有升降机构(20),其特征在于:所述升降机构(20)包括滑动连接在小车机架(10)上的升降座(201),升降座(201)上设有上下设置的晶托夹持组件(202)和接水组件(203);

2.根据权利要求1所述的一种结构改进的晶棒转运小车,其特征在于:所述接水组件(203)还包括固定在接水盒(2031)内端的连接板(2032),连接板(2032)上固定有轴承座(2033),轴承座(2033)通过轴承(2034)转动连接在基轴(2...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙明吴杰
申请(专利权)人:绍兴赛致捷机电设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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