【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆浸泡设备，具体为一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构。
技术介绍
1、晶圆指的是制作硅半导体电路所用的硅晶片；晶圆在生产过程中需要对表面的金属离子进行去除处理，其中化学浸泡金属剥离方式使用最为广泛；晶圆浸泡方式，一般是采用整盒晶圆同时放入化学液槽中浸泡，到达预定时间后再整盒取出进行下一步的工艺处理。
2、专利(cn116631900a)公开了一种晶圆浸泡片盒装置；包括挡板、箱体、抖动驱动机构和晶圆固定组件；箱设置有箱体开口，挡板可开合地设置于箱体开口处；抖动驱动机构与箱体相连接，并能够驱动箱体往复移动；箱体内的晶圆固定组件包括两个相对设置的定位主体，定位主体上设置定位凹槽，定位凹槽形成有第一槽底和第二槽底，并贯通定位主体面向挡板的端部，两个定位主体上的定位凹槽一一对应地成组设置，当晶圆插接于定位凹槽内，成组设置的定位凹槽的第一槽底抵持晶圆的外沿，定位凹槽的第二槽底与挡板在预定误差内限位晶圆。该晶圆浸泡片盒装置，沿直线进出浸泡槽和抖动，提高生产效率，实现高精度取放晶圆。
3、上述专利文献中的晶圆浸泡片盒装置；在金属剥离机中从浸泡槽取片时晶圆底部会存留过多药液，真空式牙叉在取片时可能会有药液被吸入真空管路导致真空建立时间变慢，真空数值降低，时间长会堵塞管路导致作业异常，如今有在浸泡槽箱体上安装风刀通过吹气来除理底部药液，这种方式无法将底部药液去除干净。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问
2、为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，包括旋转卡匣模组，所述旋转卡匣模组包括卡匣柱、端盖连接座和齿条连接板，所述卡匣柱外壁两侧通过连接轴与端盖连接座转动连接，所述连接轴外壁于端盖连接座外侧套设有齿轮，所述齿条连接板底部两端竖直设有与齿轮相啮合的齿条，所述卡匣柱外壁两侧对称设有导向轴，所述端盖连接座外壁开设有与导向轴相匹配的导向槽，所述端盖连接座顶部中心竖直设有转动连接的丝杆，所述齿条连接板通过丝杆螺母与丝杆匹配活动连接。
3、进一步的，所述旋转卡匣模组活动设于浸泡槽箱体内部，所述浸泡槽箱体顶部竖直设有滑台，所述滑台输出端设有滑轨连接座，所述滑轨连接座底部通过若干个支撑柱与端盖连接座顶部固定连接。
4、进一步的，所述滑轨连接座顶部设有伺服电机，所述伺服电机输出端与丝杆顶部固定连接，所述丝杆底部和顶部分别通过丝杆端盖与端盖连接座和滑轨连接座转动连接。
5、进一步的，所述浸泡槽箱体底部设有浸泡槽桶体，所述浸泡槽箱体顶部两侧对称设有气管接头，所述气管接头于浸泡槽箱体内壁顶部设有风刀。
6、进一步的，所述端盖连接座外壁竖直设有与齿条相匹配的齿条滑轨，所述卡匣柱顶部设有上法兰，所述卡匣柱底部设有下法兰，所述上法兰和下法兰外壁一端设有若干个晶圆限位柱。
7、进一步的，所述连接轴与导向轴的间距大于齿轮的半径，所述端盖连接座为倒置u型结构。
8、与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
9、1、本技术通过设置端盖连接座、齿条连接板、连接轴、齿轮、齿条、导向轴、导向槽和丝杆，端盖连接座在卡匣柱外侧进行运动支撑，齿条连接板对齿条进行运动支撑，伺服电机带动丝杆进行正反方向旋转运动，丝杆的正反方向旋转运动通过丝杆螺母带动齿条连接板进行升降运动，齿条连接板带动齿条进行升降运动，齿条和齿轮啮合连接，齿条的升降运动可带动齿轮进行正反方向的旋转运动，齿轮带动连接轴进行正反方向的旋转运动，卡匣柱随着连接轴进行正反方向的旋转运动，导向轴随着卡匣柱进行运动，导向槽对导向轴进行导向和限位处理，进而实现对卡匣柱的旋转角度进行限定，使得卡匣柱只能在一定角度内进行旋转运动，可将卡匣柱的倾斜角度进行调整处理，使得卡匣柱夹持的晶圆以一定倾斜角度进行排液和吹风除液处理，可让晶圆尾部排液效果更佳。
10、2、本技术中，滑轨连接座在滑台的驱动下进行升降运动，进而通过支撑柱带动旋转卡匣模组进行整体升降运动，使得旋转卡匣模组可在浸泡槽箱体和浸泡槽桶体之间进行升降运动，旋转卡匣模组夹持晶圆下降进入到浸泡槽桶体内部进行浸泡除金属处理，旋转卡匣模组夹持晶圆上升回到浸泡槽箱体内部，晶圆与化学药液分离，然后调节旋转卡匣模组进行倾斜处理，使得晶圆呈倾斜状态进行排水处理，可有效提高排水处理效果；气管接头外接充气吹风设备，气管接头通过风刀对旋转卡匣模组夹持的晶圆进行吹风除药液处理，进一步提高对晶圆表面和旋转卡匣模组的药液清除效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，包括旋转卡匣模组(1)，其特征在于：所述旋转卡匣模组(1)包括卡匣柱(6)、端盖连接座(7)和齿条连接板(8)，所述卡匣柱(6)外壁两侧通过连接轴(9)与端盖连接座(7)转动连接，所述连接轴(9)外壁于端盖连接座(7)外侧套设有齿轮(10)，所述齿条连接板(8)底部两端竖直设有与齿轮(10)相啮合的齿条(11)，所述卡匣柱(6)外壁两侧对称设有导向轴(12)，所述端盖连接座(7)外壁开设有与导向轴(12)相匹配的导向槽(13)，所述端盖连接座(7)顶部中心竖直设有转动连接的丝杆(14)，所述齿条连接板(8)通过丝杆螺母与丝杆(14)匹配活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，其特征在于：所述旋转卡匣模组(1)活动设于浸泡槽箱体(2)内部，所述浸泡槽箱体(2)顶部竖直设有滑台(3)，所述滑台(3)输出端设有滑轨连接座(4)，所述滑轨连接座(4)底部通过若干个支撑柱(5)与端盖连接座(7)顶部固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，其特征在于：所述滑轨连接座(4)
4.根据权利要求2所述的一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，其特征在于：所述浸泡槽箱体(2)底部设有浸泡槽桶体(17)，所述浸泡槽箱体(2)顶部两侧对称设有气管接头(18)，所述气管接头(18)于浸泡槽箱体(2)内壁顶部设有风刀。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，其特征在于：所述端盖连接座(7)外壁竖直设有与齿条(11)相匹配的齿条滑轨，所述卡匣柱(6)顶部设有上法兰(19)，所述卡匣柱(6)底部设有下法兰(20)，所述上法兰(19)和下法兰(20)外壁一端设有若干个晶圆限位柱(21)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，其特征在于：所述连接轴(9)与导向轴(12)的间距大于齿轮(10)的半径，所述端盖连接座(7)为倒置U型结构。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，包括旋转卡匣模组(1)，其特征在于：所述旋转卡匣模组(1)包括卡匣柱(6)、端盖连接座(7)和齿条连接板(8)，所述卡匣柱(6)外壁两侧通过连接轴(9)与端盖连接座(7)转动连接，所述连接轴(9)外壁于端盖连接座(7)外侧套设有齿轮(10)，所述齿条连接板(8)底部两端竖直设有与齿轮(10)相啮合的齿条(11)，所述卡匣柱(6)外壁两侧对称设有导向轴(12)，所述端盖连接座(7)外壁开设有与导向轴(12)相匹配的导向槽(13)，所述端盖连接座(7)顶部中心竖直设有转动连接的丝杆(14)，所述齿条连接板(8)通过丝杆螺母与丝杆(14)匹配活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆浸泡单元卡匣倾斜调节结构，其特征在于：所述旋转卡匣模组(1)活动设于浸泡槽箱体(2)内部，所述浸泡槽箱体(2)顶部竖直设有滑台(3)，所述滑台(3)输出端设有滑轨连接座(4)，所述滑轨连接座(4)底部通过若干个支撑柱(5)与端盖连接座(7)顶部固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆浸泡单元卡匣...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴铭钦，刘峰，
申请(专利权)人：苏州雨竹机电有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。