【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微观检测，具体为一种芯片微观缺陷亮点检测设备。
技术介绍
1、随着科技的不断发展，芯片作为现代电子设备中不可或缺的核心组件，其质量和性能对于整个设备的影响愈发显著。而芯片表面的微小缺陷，即使是肉眼难以察觉的微小瑕疵，也可能对芯片的工作性能和稳定性产生重大影响。因此，对芯片表面微小缺陷进行高效、准确的视觉检测，成为了芯片制造过程中的重要环节。芯片表面微小缺陷的视觉检测，主要依赖于先进的机器视觉技术和图像处理算法。这些技术可以对芯片表面进行高精度、高速度的扫描和分析，从而发现那些肉眼难以察觉的微小缺陷。机器视觉系统首先通过高分辨率的摄像头捕捉芯片表面的图像，然后利用图像处理算法对这些图像进行预处理、特征提取和缺陷识别。
2、中国专利公开号cn 108872240 a公开了“一种微观缺陷检测装置及检测方法、显微镜”，包括：检测组件、标记组件、转换组件；其中，所述检测组件和所述标记组件均设置在所述转换组件上；所述转换组件与显微镜连接；所述检测组件，具有第一视区，用于检测显示面板上存在微观缺陷的位置；所述转换组件，用于在所述检测组件检测出存在微观缺陷的位置，将所述标记组件旋转至存在微观缺陷的第一视区；所述标记组件，具有第二视区，用于在所述存在微观缺陷的位置的第一视区中确定出存在所述微观缺陷的位置，并对该位置进行标记；所述第二视区的面积小于所述第一视区的面积，其可解决现有的微观缺陷件标记不精准的问题。
3、申请人在构思的过程中在专利网检索了大量的专利文件，例如中国专利公开号cn108872240 a公开
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种芯片微观缺陷亮点检测设备，解决了在使用过程中，由于每次检测都需要人工放置待检测的芯片，并且一次检测的芯片数量较少，当需要检测较多芯片时，需要花费的时间较长，导致工作效率较低，并且由于检测装置不便于移动，导致在对芯片进行检测时，装置的灵活性较差，从而影响检测效率的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种芯片微观缺陷亮点检测设备，包括：
5、操作台；
6、检测组件，用于对芯片进行微观缺陷检测；
7、输送装置，用于输送待检测的芯片；
8、居中装置，用于居中摆正待检测的芯片；
9、所述操作台上安装有显示器，所述检测组件设置在操作台上，所述输送装置设置在操作台上，所述居中装置设置在操作台上。
10、优选的，所述检测组件包括安装架，所述安装架滑动安装在操作台上，所述安装架上安装有挡光板，所述安装架上滑动安装有滚珠滑块，所述滚珠滑块上安装有显微镜，所述安装架上转动安装有小丝杆，所述小丝杆的前端连接有手轮，所述操作台上转动安装有大丝杆，所述大丝杆的左端连接有转轮。
11、优选的，所述滚珠滑块通过滚珠与小丝杆表面的螺纹槽滑动连接，所述安装架通过滚珠与大丝杆表面的螺纹槽滑动连接，所述显微镜上设置有一个信号线，且信号线与显示器连接。
12、优选的，所述安装架上滑动安装有滑动架，所述滑动架的两端分别安装有两个万向接头，两个所述万向接头分别连接有两个射灯。
13、优选的，所述输送装置包括转轴，所述转轴转动安装在操作台的内壁，所述操作台的内壁还安装有从动轴，所述转轴和从动轴上套接有输送带，所述转轴的两端分别连接有两个棘轮，所述棘轮上连接有滚珠丝杆，所述操作台的内壁滑动安装有两个滚珠筒，所述安装架的底部连接有两个抵触杆，所述操作台的内壁安装有两个斜面架，两个所述斜面架上分别滑动连接有两个斜面块，所述斜面块的底部连接有配重块。
14、优选的，两个所述滚珠丝杆分别位于两个滚珠筒的运动轨迹上，两个所述斜面块分别位于两个抵触杆的运动轨迹上，所述操作台的内壁安装有四个回弹器，四个所述回弹器远离输送带的一端分别与两个滚珠筒连接，所述输送带上放置有多个托盘，所述操作台的左侧安装有导向板。
15、优选的，所述操作台的内壁安装有刮板，所述刮板的两端分别连接有两个连接块，所述连接块上安装有多个弹片，两个所述配重块上分别安装有两个拨片，多个所述弹片位于拨片的运动轨迹上。
16、优选的，所述居中装置包括两个推杆，两个推杆均滑动安装在操作台的内壁，所述推杆上连接有滑杆，所述滑杆滑动安装在操作台的内壁，所述滑杆远离推杆的一端铰接有连杆，所述连杆远离滑杆的一端铰接有叉形架，所述叉形架上通过扭簧安装有两个夹轮。
17、优选的，所述夹轮上设置有两个导轮，所述滑杆位于安装架的运动轨迹上，两个所述叉形架均滑动安装在操作台的内壁，两个所述叉形架均通过弹簧与操作台连接，两个所述叉形架为镜像设置。
18、(三)有益效果
19、与现有技术相比，本专利技术提供了一种芯片微观缺陷亮点检测设备，具备以下有益效果：
20、1、该芯片微观缺陷亮点检测设备，通过检测组件的设置，使得工作人员可以通过转动手轮和转轮对显微镜进行水平方向上的四向调节，使显微镜可以从不同角度对托盘上的多个芯片进行检测，提高了显微镜的灵活性，并且一次可以对多个芯片进行检测，提高了检测效率；通过滑动架、万向接头、射灯的配合，使得射灯可以随着显微镜的运动而同步运动，避免显微镜在运动时，托盘上的芯片出现光照不均匀的情况出现，从而影响检测，并且万向接头的设置，使工作人员可以根据不同的芯片规格对射灯进行角度调节，增强射灯光照的适配性。
21、2、该芯片微观缺陷亮点检测设备，通过输送装置的设置，使得输送带能够将检测好的托盘输送至导向板处，并将待检测的托盘依次输送至显微镜的下方，减少了工作人员手动摆放待检测芯片的操作，简化了工作人员的操作流程，从而提高了工作效率；通过刮板、连接块，弹片，拨片的配合，使得刮板能够持续对输送带进行清理，并且刮板能够通过震动将附着在自身表面的灰尘震落，保证其自身的清洁度，避免输送带在长时间使用后，表面附着较多的灰尘而污染到其上方的托盘及芯片。
22、3、该芯片微观缺陷亮点检测设备，通过居中装置的设置，使得两个叉形架带动四个夹轮将待检测的托盘居中摆正，避免托盘在放置时发生歪斜，从而导致影响后续检测。
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1.一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述检测组件(4)包括安装架(41)，所述安装架(41)滑动安装在操作台(1)上，所述安装架(41)上安装有挡光板(42)，所述安装架(41)上滑动安装有滚珠滑块(44)，所述滚珠滑块(44)上安装有显微镜(43)，所述安装架(41)上转动安装有小丝杆(45)，所述小丝杆(45)的前端连接有手轮(46)，所述操作台(1)上转动安装有大丝杆(47)，所述大丝杆(47)的左端连接有转轮(48)。
3.根据权利要求2所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述滚珠滑块(44)通过滚珠与小丝杆(45)表面的螺纹槽滑动连接，所述安装架(41)通过滚珠与大丝杆(47)表面的螺纹槽滑动连接，所述显微镜(43)上设置有一个信号线，且信号线与显示器(2)连接。
4.根据权利要求3所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述安装架(41)上滑动安装有滑动架(49)，所述滑动架(49)的两端分别安装有两个万向接头(410)，两个所述
5.根据权利要求4所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述输送装置(5)包括转轴(51)，所述转轴(51)转动安装在操作台(1)的内壁，所述操作台(1)的内壁还安装有从动轴(52)，所述转轴(51)和从动轴(52)上套接有输送带(53)，所述转轴(51)的两端分别连接有两个棘轮(54)，所述棘轮(54)上连接有滚珠丝杆(55)，所述操作台(1)的内壁滑动安装有两个滚珠筒(56)，所述安装架(41)的底部连接有两个抵触杆(58)，所述操作台(1)的内壁安装有两个斜面架(59)，两个所述斜面架(59)上分别滑动连接有两个斜面块(57)，所述斜面块(57)的底部连接有配重块(510)。
6.根据权利要求5所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：两个所述滚珠丝杆(55)分别位于两个滚珠筒(56)的运动轨迹上，两个所述斜面块(57)分别位于两个抵触杆(58)的运动轨迹上，所述操作台(1)的内壁安装有四个回弹器(511)，四个所述回弹器(511)远离输送带(53)的一端分别与两个滚珠筒(56)连接，所述输送带(53)上放置有多个托盘(3)，所述操作台(1)的左侧安装有导向板(516)。
7.根据权利要求6所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述操作台(1)的内壁安装有刮板(512)，所述刮板(512)的两端分别连接有两个连接块(513)，所述连接块(513)上安装有多个弹片514(514)，两个所述配重块(510)上分别安装有两个拨片(515)，多个所述弹片(514)位于拨片(515)的运动轨迹上。
8.根据权利要求7所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述居中装置(6)包括两个推杆(61)，两个推杆(61)均滑动安装在操作台(1)的内壁，所述推杆(61)上连接有滑杆(62)，所述滑杆(62)滑动安装在操作台(1)的内壁，所述滑杆(62)远离推杆(61)的一端铰接有连杆(63)，所述连杆(63)远离滑杆(62)的一端铰接有叉形架(64)，所述叉形架(64)上通过扭簧安装有两个夹轮(65)。
9.根据权利要求8所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述夹轮(65)上设置有两个导轮，所述滑杆(62)位于安装架(41)的运动轨迹上，两个所述叉形架(64)均滑动安装在操作台(1)的内壁，两个所述叉形架(64)均通过弹簧与操作台(1)连接，两个所述叉形架(64)为镜像设置。
...【技术特征摘要】
1.一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述检测组件(4)包括安装架(41)，所述安装架(41)滑动安装在操作台(1)上，所述安装架(41)上安装有挡光板(42)，所述安装架(41)上滑动安装有滚珠滑块(44)，所述滚珠滑块(44)上安装有显微镜(43)，所述安装架(41)上转动安装有小丝杆(45)，所述小丝杆(45)的前端连接有手轮(46)，所述操作台(1)上转动安装有大丝杆(47)，所述大丝杆(47)的左端连接有转轮(48)。
3.根据权利要求2所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述滚珠滑块(44)通过滚珠与小丝杆(45)表面的螺纹槽滑动连接，所述安装架(41)通过滚珠与大丝杆(47)表面的螺纹槽滑动连接，所述显微镜(43)上设置有一个信号线，且信号线与显示器(2)连接。
4.根据权利要求3所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述安装架(41)上滑动安装有滑动架(49)，所述滑动架(49)的两端分别安装有两个万向接头(410)，两个所述万向接头(410)分别连接有两个射灯(411)。
5.根据权利要求4所述的一种芯片微观缺陷亮点检测设备，其特征在于：所述输送装置(5)包括转轴(51)，所述转轴(51)转动安装在操作台(1)的内壁，所述操作台(1)的内壁还安装有从动轴(52)，所述转轴(51)和从动轴(52)上套接有输送带(53)，所述转轴(51)的两端分别连接有两个棘轮(54)，所述棘轮(54)上连接有滚珠丝杆(55)，所述操作台(1)的内壁滑动安装有两个滚珠筒(56)，所述安装架(41)的底部连接有两个抵触杆(58)，所述操作台(1)的内壁安装有两个斜面架(59)，两个所述斜面架(59)上...
【专利技术属性】
技术研发人员：方方，林凯旋，
申请(专利权)人：广东金鉴实验室科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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