【技术实现步骤摘要】
本申请涉及蒸镀设备，特别涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
1、现有oled(organic light-emitting diode，有机发光二极管)或者qled(quantumdot light emitting diode，量子点发光二极管)显示器在生产生时，需要采用真空蒸镀工艺其玻璃基板上形成功能膜层，并且在蒸镀的过程中，为了控制玻璃基板的温度和提高蒸镀质量，现有蒸镀装置内还会设置冷却机构。然而，现有蒸镀装置中的冷却机构长期使用后容易损坏，进而影响蒸镀腔的真空度和蒸镀质量。
技术实现思路
1、基于此，本申请实施例提供一种蒸镀装置。
2、本申请提出的蒸镀装置包括机体和冷却机构，所述机体内设有蒸镀腔，所述冷却机构包括液冷板、驱动组件和输水管。所述液冷板设于所述蒸镀腔内；所述输水管包括刚性管段和柔性管段；所述刚性管段的一端与所述液冷板连接，另一端位于所述蒸镀腔外；所述柔性管段位于所述蒸镀腔外，且所述柔性管段与所述刚性管段连接。所述驱动组件与所述液冷板连接，且所述驱动组件用于驱动所述液冷板和所述输水管运动。
3、可选的，在一实施例中，所述刚性管段的长度大于或等于所述刚性管段的最大运动行程。
4、可选的，在一实施例中，所述柔性管段在自然状态下的延伸长度大于或等于所述刚性管段的最大运动行程。
5、可选的，在一实施例中，所述机体的表面设有第一过管孔，所述第一过管孔与所述蒸镀腔连通，所述刚性管段通过所述第一过管孔伸至所述蒸镀腔外；所述蒸镀装置还包括
6、可选的，在一实施例中，所述波纹管的一端固定于所述机体上并环绕所述第一过管孔，另一端与所述刚性管段固定并密封连接；和/或，所述输水管设有多个，每个所述输水管的刚性管段外都对应套设有至少一个所述波纹管；或者，所述输水管设有多个，多个所述输水管的刚性管段均套设于同一所述波纹管内。
7、可选的，在一实施例中，所述机体的表面还设有第二过管孔，所述驱动组件包括伸缩杆和驱动件；所述伸缩杆的一端与所述液冷板连接，另一端通过所述第二过管孔伸至所述蒸镀腔外；所述驱动件位于所述蒸镀腔外并与所述伸缩杆连接；所述波纹管还套设于所述伸缩杆外，且所述波纹管的一端还环绕所述第二过管孔，另一端还与所述伸缩杆固定并密封连接；或者，所述伸缩杆外以及每个所述输水管的刚性管段外都分别套设有至少一个所述波纹管；或者，所述伸缩杆设有多个，多个所述伸缩杆均套设于同一所述波纹管内。
8、可选的，在一实施例中，所述输水管设有多个，部分所述输水管形成进水管，所述进水管的一端与所述液冷板连通，另一端与进水模块连通；另外部分所述输水管形成出水管，所述出水管的一端与所述液冷板连通，另一端与回水模块连通。
9、可选的，在一实施例中，多个所述输水管关于所述液冷板的中心轴线对称设置。
10、可选的，在一实施例中，所述蒸镀装置还包括承载机构和蒸发源，所述承载机构用于承载基板，所述基板位于所述液冷板远离所述输水管的一侧，所述蒸发源用于向所述基板提供蒸镀材料；和/或，所述蒸镀装置还包括温度检测器和水量控制模块，所述温度检测器安装于所述液冷板的表面上，且所述温度检测器与所述水量控制模块通讯连接，所述水量控制模块用于控制所述冷却机构内的冷却液流量。
11、可选的，在一实施例中，所述温度检测器设有多个，多个所述温度检测器均安装于所述液冷板的表面上，且多个所述温度检测器均与所述水量控制模块通讯连接。
12、本申请蒸镀装置中的冷却机构通过使其输水管包括刚性管段和柔性管段，使得输水管既不会阻碍液冷板运动，又不会在蒸镀腔内产生磨损和漏水，并且其柔性管段即便因为磨损而漏水，所漏出的水不会影响到蒸镀腔的真空度和玻璃基板的蒸镀质量。
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1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述刚性管段的长度大于或等于所述刚性管段的最大运动行程。
3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述柔性管段在自然状态下的延伸长度大于或等于所述刚性管段的最大运动行程。
4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述机体设有第一过管孔，所述第一过管孔与所述蒸镀腔连通，所述刚性管段通过所述第一过管孔伸至所述蒸镀腔外；
5.如权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述波纹管的一端固定于所述机体上并环绕所述第一过管孔，另一端与所述刚性管段固定并密封连接；和/或
6.如权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述机体的表面还设有第二过管孔，所述驱动组件包括伸缩杆和驱动件；
7.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述输水管设有多个，部分所述输水管形成进水管，所述进水管的一端与所述液冷板连通，另一端与进水模块连通；另外部分所述输水管形成出水管，所述出水管的一端与所述液冷板连通，另一端与回水模块连通。
8.如权利要求7
9.如权利要求1至8任意一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括承载机构和蒸发源，所述承载机构用于承载基板，所述基板位于所述液冷板远离所述输水管的一侧，所述蒸发源用于向所述基板提供蒸镀材料；
10.如权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述温度检测器设有多个，多个所述温度检测器均安装于所述液冷板的表面上，且多个所述温度检测器均与所述水量控制模块通讯连接。
...【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述刚性管段的长度大于或等于所述刚性管段的最大运动行程。
3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述柔性管段在自然状态下的延伸长度大于或等于所述刚性管段的最大运动行程。
4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述机体设有第一过管孔，所述第一过管孔与所述蒸镀腔连通，所述刚性管段通过所述第一过管孔伸至所述蒸镀腔外；
5.如权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述波纹管的一端固定于所述机体上并环绕所述第一过管孔，另一端与所述刚性管段固定并密封连接；和/或
6.如权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述机体的表面还设有第二过管孔，所述驱动组件包括伸缩杆和驱动件；
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【专利技术属性】
技术研发人员：柳开郎，孙贤文，付东，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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