顶杆装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种顶杆装置，包括垂直升降装置、支撑板及至少三组顶杆组件，垂直升降装置与支撑板连接，顶杆组件的一端呈对称的连接于支撑板上，另一端密封伸入真空腔体内，顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，轴套具有呈中空结构的行程腔，行程腔贯穿轴套，轴套的上端伸入真空腔体内且与真空腔体密封地枢接，固定轴的上端伸入轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，固定轴的下端与支撑板固定连接，顶杆套于行程腔内且伸出轴套的上端并与行程腔卡接，弹性元件呈压缩状的抵触于固定轴与顶杆之间并收容于行程腔内；本实用新型专利技术用于ＯＬＥＤ生产时对真空腔体内物件进行升降，其具有缓冲减震功能，能保证蒸镀设备高清洁度，且结构简单、维护方便。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种顶杆机构，尤其涉及一种适用于对真空腔体内物件进行升降并具有缓冲功能的组合式的顶杆装置。 有机发光二极管(OLED，Organic Light-Emitting Diode)是一种新的极具潜力的 显示器技术，因其简单的纯固态器件结构及其出色的图像质量，加上自发光、无视角障碍、 低温特性好等优点，OLED显示器已被认为继液晶显示、等离子显示器之后最具市场价值的 新一代平板显示器。OLED的制作过程大都采用以ITO(indium tin oxide)玻璃为基板，利 用蒸镀设备将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上，其工艺一般为在玻璃基板上形成一透明阳 极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是 金属阴极层，其中发光层依次为红、绿、蓝三种颜色，各层膜的厚度范围为纳米(nm)级别， 所以它的总厚度在所有显示器件之中是最薄的。OLED显示器利用从不同的片断发出的红 光、绿光、蓝光来显示图像，因而在OLED显示器上三个发光层必须沉积在不同的地方，而其 它有机层和无机层则沉积在整个区域；将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上时，为了实现不 同区域图案化的镀膜效果，掩膜板被应用在蒸镀制成中。如图l所示，为最常见的掩膜板设计，将掩膜板i(T贴合在基板上，蒸镀时蒸镀材料通过所述掩膜板i(T上的窗口 ior沉积 在基板上，使基板上形成与所述掩膜板i(T的窗口 ior相同的图案，实现不同区域图案化的镀膜效果。 在OLED的蒸镀过程中，制造OLED所用的基板和掩膜板需要固定粘合在一起并进 行传送，蒸镀制程结束后，需要将基板和掩膜板分离；因此，在蒸镀过程中，利用一个装载架 将基板和掩膜板固定在一起，装载架具有夹持基板及掩膜板的夹子，利用装载架的夹子对 基板及掩膜板进行夹持并将两者固定在装载架上，为了保证蒸镀效果，掩膜板与基板必须 准确对位，并且掩膜板与基板在整个蒸镀过程中始终紧密接触，为达到此目的，装载架上还 设置有磁力板，掩膜板被设计为具有磁性，利用两者之间的磁力使掩膜板与基板准确对位 并紧密接触。在蒸镀制程结束后，基板和掩膜需要分离，就需打开夹子并克服磁力板与掩膜 板之间的磁力，才能使基板与掩膜板分离，因此，常用技术为借助一个顶杆装置打夹子并克 服磁力板与掩膜板之间的磁力进而使基板和掩膜板分开。现有的顶杆装置在使用时，气缸 或电机等动力源会被引入真空蒸镀设备内，这样不可避免的给真空环境带来来自设备本身 的污染，影响蒸镀效果；另外，现有的顶杆装置少有缓冲减振功能，直接硬性机械接触容易 导致被支撑和/或被分离物件破损，降低产品的良品率；同时这类顶杆装置的维护和检修 相当不便。 因此，急需一种具有缓冲减震功能、保证蒸镀设备高清洁度，且维护方便的顶杆装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有缓冲减震功能、保证蒸镀设备高清洁度，且
技术介绍
维护方便的顶杆装置。 为实现上述目的，本技术的技术方案为提供一种顶杆装置，其包括垂直升降 装置、支撑板及至少三组顶杆组件，所述垂直升降装置与所述支撑板连接，所述顶杆组件的 一端呈对称的连接于所述支撑板上，所述顶杆组件的另一端密封伸入所述真空腔体内，其 中，所述顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，所述轴套具有呈中空结构的行程腔， 所述行程腔贯穿所述轴套，所述轴套的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地 枢接，所述固定轴的上端伸入位于所述轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，所述固定轴的 下端与所述支撑板固定连接，所述顶杆套于所述轴套的行程腔内且伸出所述轴套的上端并 与所述行程腔卡接，所述弹性元件呈压縮状的抵触于所述固定轴与所述顶杆之间并收容于 所述行程腔内。 较佳地，所述顶杆的中部向外凸出形成凸起，所述凸起与所述顶杆的上端形成第 一台阶，所述凸起与所述顶杆的下端形成第二台阶，所述第一台阶与所述行程腔卡接，所述 第二台阶与所述弹性元件相抵触；弹性元件稳定的抵触于顶杆的第二台阶上，不易滑动，当 顶杆抵触物件时，弹性元件被进一步压縮，弹性元件产生的弹力对施加在被抵触物件上的 力起到缓冲作用，防止顶杆抵触物件时产生较大的振动，进而避免顶杆与被抵触物件之间 的硬性接触使被抵触物件受到损坏；且顶杆及行程腔的结构简单，顶杆、行程腔及弹性元件 组装时方便快捷，需要维护时便于拆装，易于维护。 较佳地，所述轴套的下端的行程腔的腔壁上开设有内螺纹，所述固定轴的上端开 设有与所述内螺纹相啮合的外螺纹；固定轴与轴套之间通过螺纹啮合，通过旋转所述轴套 即可使弹性元件沿所述行程腔伸縮，进而调节弹性元件的预压力和所述顶杆的安装高度。 较佳地，所述顶杆装置还包括波纹管，所述波纹管的上端与所述真空腔体的底部 密封连接，与所述波纹管密封连接的真空腔体处开设有通道孔，所述轴套的上端自由的穿 过所述通道孔，所述轴套的下端及所述固定轴的上端套于所述波纹管内，所述波纹管的下 端与所述固定轴的下端密封连接；更具体地，所述固定轴的下端向外延伸形成轴肩，所述轴 肩与所述波纹管的下端密封连接；轴套的下端及固定轴位于真空腔体外，使垂直升降装置 安装于真空腔体外，因而，避免动力源给真空环境造成污染，影响产品工艺效果，提高真空 环境的清洁度，保证产品的良品率；同时，波纹管的上端与真空腔体的底部密封连接，下端 与固定轴的轴肩密封连接，波纹管将垂直升降装置与真空腔体密封隔离，实现真空腔体的 静密封，保证其高清洁度。 较佳地，所述固定轴的上端还啮合有螺母，当轴套旋转到预设位置后，旋转该螺母 使其与所述轴套抵触，锁紧轴套，保证顶柱组件的稳定性。 较佳地，伸出所述轴套的上端的所述顶杆的顶面呈弧形，保证顶杆接触被抵触物 件时不会刮伤物件。 与现有技术相比，由于本技术顶杆装置包括垂直升降装置、支撑板及至少三 组顶杆组件，垂直升降装置与支撑板连接，顶杆组件的一端呈对称的连接于支撑板上，另一 端密封伸入真空腔体内，其顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，所述轴套具有呈 中空结构的行程腔，所述行程腔贯穿所述轴套，所述轴套的上端伸入所述真空腔体内且与 所述真空腔体密封地枢接，所述固定轴的上端伸入位于所述轴套的下端的行程腔内并螺纹 连接，所述固定轴的下端与所述支撑板固定连接，所述顶杆套于所述轴套的行程腔内且伸出所述轴套的上端并与所述行程腔卡接，所述弹性元件呈压縮状的抵触于所述固定轴与所 述顶杆之间并收容于所述行程腔内；对真空腔体内物件进行升降时，在真空腔体外的垂直 升降装置的作用下，顶杆组件上升，使顶杆抵触真空腔体内的物件，继续施加力的作用，固 定轴与顶杆之间的弹性元件进一步受到压縮，弹性元件沿行程腔收縮，弹性元件所产生的 弹力对施加在被抵触物件上的力起到缓冲作用，有效减振，防止顶杆与被抵触物件之间的 硬性接触使被抵触物件损坏；同时，轴套的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密 封地枢接，固定轴的下端与所述支撑板固定连接，使垂直升降装置位于真空腔体外，使用时 不把动力源引入真空腔体内部，且轴套与真空腔体密封连接，使真空腔体保持高清洁度；顶 杆套于轴套的行程腔内并与所述行程腔卡接，固定轴伸入轴套的行程腔内并与轴套螺纹连 接，使本技术顶杆装置结构简单，组合方便且易于维护。附图说明图1是现有掩膜板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种顶杆装置，固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述顶杆装置包括垂直升降装置、支撑板及至少三组顶杆组件，所述垂直升降装置与所述支撑板连接，所述顶杆组件的一端呈对称的连接于所述支撑板上，所述顶杆组件的另一端密封伸入所述真空腔体内，其特征在于：所述顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，所述轴套具有呈中空结构的行程腔，所述行程腔贯穿所述轴套，所述轴套的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，所述固定轴的上端伸入位于所述轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，所述固定轴的下端与所述支撑板固定连接，所述顶杆套于所述轴套的行程腔内且伸出所述轴套的上端并与所述行程腔卡接，所述弹性元件呈压缩状的抵触于所述固定轴与所述顶杆之间并收容于所述行程腔内。

【技术特征摘要】
一种顶杆装置，固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述顶杆装置包括垂直升降装置、支撑板及至少三组顶杆组件，所述垂直升降装置与所述支撑板连接，所述顶杆组件的一端呈对称的连接于所述支撑板上，所述顶杆组件的另一端密封伸入所述真空腔体内，其特征在于所述顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，所述轴套具有呈中空结构的行程腔，所述行程腔贯穿所述轴套，所述轴套的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，所述固定轴的上端伸入位于所述轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，所述固定轴的下端与所述支撑板固定连接，所述顶杆套于所述轴套的行程腔内且伸出所述轴套的上端并与所述行程腔卡接，所述弹性元件呈压缩状的抵触于所述固定轴与所述顶杆之间并收容于所述行程腔内。2. 如权利要求l所述的顶杆装置，其特征在于所述顶杆的中部向外凸出形成凸起，所 述凸起与所述顶杆的上端形成第一台阶，所述凸起与所述顶杆的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，范继良，刘惠森，王曼媛，王勇，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]