【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式涉及显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。
技术介绍
1、近年来，作为显示元件适用了有机发光二极管(oled)的显示装置得以实用化。该显示元件具备包括薄膜晶体管的像素电路、与像素电路连接的下电极、覆盖下电极的有机层和覆盖有机层的上电极。有机层包括发光层、以及空穴传输层、电子传输层等功能层。
2、在制造用于形成这样的显示元件的制造装置中，要求抑制生产效率的降低。
技术实现思路
1、实施方式的目的在于，提供能够抑制生产效率的降低的显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。
2、根据一实施方式，显示装置的制造方法中：准备处理基板，其中，所述处理基板中，在基板的上方形成有下电极，形成有具有与所述下电极重叠的开口的肋部，且形成有包括位于所述肋部之上的下部及位于所述下部之上并从所述下部的侧面突出的上部的隔壁；在所述开口中，在所述下电极之上形成有机层；在所述有机层之上形成上电极；在所述上电极之上形成第一透明层；和在所述第一透明层之上形成具有比所述第一透明层的折射率低的折射率的第二透明层，形成所述有机层、所述上电极、所述第一透明层及所述第二透明层的工序是将所述隔壁作为掩模的蒸镀工序，在形成所述有机层、所述上电极、所述第一透明层及所述第二透明层中的至少一者的所述蒸镀工序中：蒸镀源朝向所述处理基板及膜厚测定器放射材料；所述膜厚测定器根据水晶振子的频率来适用不同的声阻抗修正值，并基于所述水晶振子的频率的变化量来测定蒸镀速率；并且控制部以使所述蒸镀速率成为恒定的
3、根据一实施方式，显示装置的制造装置具备：第一蒸镀部，其中，一边搬运处理基板，一边在开口中于下电极之上形成有机层，该处理基板具备位于基板的上方的所述下电极、具有与所述下电极重叠的所述开口的肋部、和包括位于所述肋部之上的下部及位于所述下部之上并从所述下部的侧面突出的上部的隔壁；第二蒸镀部，其在所述有机层之上形成上电极；第三蒸镀部，其在所述上电极之上形成第一透明层，和第四蒸镀部，其在所述第一透明层之上形成具有比所述第一透明层的折射率低的折射率的第二透明层，所述第一蒸镀部、所述第二蒸镀部、所述第三蒸镀部及所述第四蒸镀部中的至少一者具备：蒸镀源，其具备与所述处理基板的搬运路径相对的第一喷嘴和设置在与所述第一喷嘴为相反侧的第二喷嘴；膜厚测定器，其构成为具备与所述第二喷嘴相对的水晶振子、保存根据所述水晶振子的频率而不同的声阻抗修正值的表格、并基于所述水晶振子的频率的变化量来测定蒸镀速率；和控制部，其以使所述蒸镀速率成为恒定的方式控制所述蒸镀源。
4、根据实施方式，能够提供能抑制生产效率的降低的显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。
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1.显示装置的制造方法，其中：
2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，
3.根据权利要求2所述的显示装置的制造方法，其中，
4.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，
5.根据权利要求4所述的显示装置的制造方法，其中，
6.根据权利要求5所述的显示装置的制造方法，其中，
7.显示装置的制造装置，其具备：
8.根据权利要求7所述的显示装置的制造装置，其中，
【技术特征摘要】
1.显示装置的制造方法，其中：
2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，
3.根据权利要求2所述的显示装置的制造方法，其中，
4.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，
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