【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，具体为一种双倍行程运舟装置。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。其在实际生产中，为了确保生产出的晶圆符合使用标准，还会对硅晶圆片进行性能检测、磨损检测等检测操作。这些操作的进行过程中，需要使用相应的装置对晶圆进行搬运。
2、在实际的搬运场景中，往往需要装置进行水平方向的旋转、竖直方向的升降以及水平方向的伸缩。其中，水平方向的伸缩运动，是指装置中的y轴滑组做水平方向的伸缩运动以实现对晶圆的夹取、防止等操作。这些操作就需要在具有一定宽度的空间内进行。若是在狭小的空间范围内，则水平方向的伸缩运动将受到限制，因此会实用双倍行程机构来解决空间宽度狭小的问题。
3、然而，现有的双倍行程机构通常需要两套驱动机构带动两套移动机构来进行增程，当其中一套行程机构的零件出现故障时，则两套部件需要一同更换，导致维护成本高。
4、所以有必要提供一种双倍行程运舟装置来解决上述问题。
5、需要说明的是，本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的
技术介绍
，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息。
技术实现思路
1、基于现有技术中存在的上述问题，本申请所要解决的问题是：提供一种双倍行程运舟装置，解决维护成本高效果。
2、本申请解决其技术问题所采用的技术方案是：一种双倍行程运舟装置，涉及到搬运机构，包括：
3、固定座；
4、驱动电机，固定在固定座上，且驱动电机的输出端伸入固定座内；<...
【技术保护点】
1.一种双倍行程运舟装置，涉及到搬运机构（1），其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述支撑部件包括第一转轴（4），所述第一转轴（4）设置在各所述第一同步轮（3）的两端，且所述第一转轴（4）远离所述第一同步轮（3）的一侧设置有第一支架（10），一组所述第一支架（10）与两组所述第一转轴（4）转动连接，所述第一支架（10）呈“一”字形结构；
3.根据权利要求2所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述固定座（15）远离所述驱动电机（14）的一侧设置有固定板（21），靠近所述固定板（21）的一组所述第二支架（12）上设置有连板（23），所述连板（23）相应所述固定板（21）的位置处设置有导向块（22），所述导向块（22）上开设有限位滑槽（24），所述固定板（21）相应所述限位滑槽（24）的位置处设置有限位滑块（25），所述限位滑块（25）滑动设置在所述限位滑槽（24）内，且所述限位滑槽（24）与所述限位滑块（25）均成“T”字形结构。
4.根据权利要求3所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述传动部件
5.根据权利要求4所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述调节部件包括升降部件和张力调节部件，升降部件设置在所述第一支架（10）和所述第二支架（12）之间，用于带动所述第一支架（10）及所述第一同步轮（3）升降，所述张力调节部件设置在所述第一支架（10）和所述第二支架（12）上，用于调节皮带（5）的张力。
6.根据权利要求5所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述升降部件包括电动伸缩杆（17），所述电动伸缩杆（17）的固定端设置在所述第二支架（12）的顶部，所述电动伸缩杆（17）的伸出端与所述第一支架（10）连接，所述第二支架（12）的顶部设置有导向套筒（18），所述第一支架（10）相应所述导向套筒（18）的位置处设置有导向杆（35），所述导向杆（35）滑动设置在所述导向套筒（18）内。
7.根据权利要求5所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述张力调节部件包括活动件和推动件，所述活动件上转动设置有调节轮（26），所述皮带（5）套设在所述调节轮（26）上，所述活动件用于带动所述调节轮（26）移动朝向第二转轴（8）移动，所述推动件用于推动所述调节轮（26）远离第二转轴（8）移动。
8.根据权利要求7所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述活动件包括固定架（11），所述固定架（11）固定在所述第二支架（12）上，所述固定架（11）靠近所述皮带（5）的一侧连接有固定块（30），所述固定块（30）上滑动设置有调节块（29），所述调节轮（26）转动设置在所述调节块（29）上；
9.根据权利要求8所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述推动件包括调节支架（27），所述调节支架（27）固定在所述第一支架（10）上，且呈“L”字形结构，所述调节支架（27）的底部设置有调节板（28），所述调节块（29）相应所述调节板（28）的位置处开设有调节槽（32），所述调节板（28）滑动设置在所述调节槽（32）内；
10.根据权利要求1所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述固定座（15）上设置有多个固定凸块（16），且所述固定凸块（16）上开设有螺纹孔。
...【技术特征摘要】
1.一种双倍行程运舟装置，涉及到搬运机构（1），其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述支撑部件包括第一转轴（4），所述第一转轴（4）设置在各所述第一同步轮（3）的两端，且所述第一转轴（4）远离所述第一同步轮（3）的一侧设置有第一支架（10），一组所述第一支架（10）与两组所述第一转轴（4）转动连接，所述第一支架（10）呈“一”字形结构；
3.根据权利要求2所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述固定座（15）远离所述驱动电机（14）的一侧设置有固定板（21），靠近所述固定板（21）的一组所述第二支架（12）上设置有连板（23），所述连板（23）相应所述固定板（21）的位置处设置有导向块（22），所述导向块（22）上开设有限位滑槽（24），所述固定板（21）相应所述限位滑槽（24）的位置处设置有限位滑块（25），所述限位滑块（25）滑动设置在所述限位滑槽（24）内，且所述限位滑槽（24）与所述限位滑块（25）均成“t”字形结构。
4.根据权利要求3所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述传动部件包括皮带（5），所述皮带（5）套设在一组所述第一转轴（4）和一组所述第二转轴（8）上。
5.根据权利要求4所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述调节部件包括升降部件和张力调节部件，升降部件设置在所述第一支架（10）和所述第二支架（12）之间，用于带动所述第一支架（10）及所述第一同步轮（3）升降，所述张力调节部件设置在所述第一支架（10）和所述第二支架（12）上，用于调节皮带（5）的张力。
6.根据权利要求5所述的一种双倍行程运舟装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：侍孝峰，黄永远，江琳霜，
申请(专利权)人：江苏橙伟通能智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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