【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材制造，具体为一种平面度的矫正设备及其矫正方法。
技术介绍
1、平面靶材通过磁控溅射等手段将材料均匀的镀在待镀基底上，对靶材背板复合体的平整度有较高要求，靶材绑定完后的平整度直接关系到磁控溅射成膜的质量。
2、经检索，授权公开号为cn113996673a的专利，公开了一种结构件平面度自动矫正装置，包括底座，所述底座两侧设有竖梁，两个所述竖梁之间固定有横梁；本专利技术通过设置的测距仪用于对结构件底面进行平面度检测，根据检测结果，利用液压矫正机构和热矫正模块对结构件进行矫正，其中液压矫正机构用于对结构件底面两侧进行矫正，热矫正模块用于对结构件底面中部进行矫正，达到结构件平面度自动矫正的目的，矫正效果好，精确度高，一致性、稳定性好，能够有效提高生产效率；但是，平面靶材加工的过程中，由于铜背板两面收缩程度不一致，会出现为背板变弯、向靶材一面上鼓等问题，尤其是随靶材长度变长问题愈加明显，导致加工后的平面靶材无法使用，因此，现提出一种靶材平面度的矫正设备。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种平面度的矫正设备及其矫正方法，主要为解决平面靶材加工的过程中铜背板两面收缩程度不一致背板变弯、向靶材一面上鼓等问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
5、一种平面度的矫正设备，包括架体，所述架体的两侧内壁之间通过螺栓固定有两个对称分布的导向杆，两
6、进一步的，所述动力机构包括导轨，导轨通过螺栓固定在架体的顶部内壁上，所述导轨上设有直线电机，且直线电机与滑板相固定。
7、进一步的，所述阻挡机构包括多个卡架，多个卡架均通过螺栓固定在架体的一侧外壁，两个相对称的所述卡架内卡接有挡架，所述架体的两侧内壁均开设有多个卡槽，且挡架与卡槽可插接。
8、进一步的，所述定位机构包括多个滑孔，多个滑孔对称设置在架体的两侧内壁上，多个所述滑孔内均滑动有卡块，且卡块的一端为斜面，多个所述卡块的一侧焊接有第二弹簧，且第二弹簧与滑孔相固定，所述撑板的两侧开设有贯穿撑板的滑槽，且卡块可插入滑槽内，所述滑槽内设有推动卡块移动的推动组件。
9、在前述方案的基础上，所述推动组件包括转盘，转盘转动连接在滑槽的底部内壁上，所述转盘的顶部通过螺栓固定有两个中心对称的固定柱，所述滑槽内滑动连接有两个对称的滑架，滑架的一侧一体成型有两个凸块，且凸块与卡块可接触，两个所述滑架的一端均焊接有t型架，t型架的顶部开设有导向槽，且固定柱在导向槽内活动连接，所述转盘的底部键连接有连接轴，连接轴的一端穿过撑板键连接有齿轮，所述连接轴的圆周外壁焊接有扭簧，且扭簧与撑板相固定，所述架体的一侧设有带动齿轮转动的连接组件。
10、在前述方案的基础上，所述连接组件包括滑口，滑口开设在架体的一侧，滑口内滑动连接有滑杆组，滑杆组由粗滑杆和细滑杆构成，其中粗滑杆的一侧通过螺栓固定有齿条，且齿条与齿轮可啮合，并且粗滑杆与滑口相滑动，所述架体的底部内壁焊接有固定板，且细滑杆的一端穿过固定板，并与固定板滑动连接，所述固定板的一侧焊接有第三弹簧，且第三弹簧套在细滑杆的外侧并与粗滑杆的一端相固定，所述粗滑杆的一端通过螺栓固定有挡环。
11、作为本专利技术再进一步的方案，所述撑板的上表面通过螺栓固定有至少一个定位块，所述放置板的底部开设有与定位块相同数量的定位孔，且定位块插入定位孔内。
12、在前述方案的基础上，所述撑板的两侧均开设有至少一个凹槽。
13、本专利技术还提出了一种平面度的矫正方法，包括以下步骤：
14、s1：位置固定，将需要矫正的铜背板放置在放置板上，摁压放置板向下移动，使卡块卡入滑槽内，对撑板的位置进行固定；
15、s2：位置限制，将挡架卡在卡槽内，并使铜背板的一端与距离抚平板远的挡架接触，对铜背板的位置进行限制；
16、s3：加热，启动加热丝与热风机，达到预定温度后，启动油缸，油缸带动安装架向下移动，使抚平板和矫正辊与铜背板接触，加热丝对矫正辊加热，热风机对铜背板加热，使铜背板变热；
17、s4：矫正，启动直线电机，直线电机带动滑板移动，滑板带动抚平板与矫正辊移动，从而完成对铜背板的矫正工作；
18、s5：取出铜背板，将挡架从卡槽内取出，并摁压挡环挡环带动滑杆组移动，从而使齿条带动齿轮转动，齿轮带动转盘转动，使固定柱在导向槽内滑动，从而使两个滑架同时向两侧移动，进而使滑架推动卡块向滑孔内滑动，使卡块与滑槽脱离接触，在第一弹簧与伸缩杆的作用下，撑板与放置板向上移动，使铜背板从架体内露出，将矫正后的铜背板取出。
19、(三)有益效果
20、与现有技术相比，本专利技术提供了一种平面度的矫正设备及其矫正方法，具备以下有益效果：
21、1、本专利技术通过抚平板和矫正辊的设置，抚平板和矫正辊与铜背板接触，加热丝对矫正辊加热，热风机对铜背板加热，使铜背板变热，使用动力机构带动抚平板与矫正辊移动，从而对铜背板进行矫正，以此确保铜背板的平整度符合使用标准，提高了平面靶材加工的质量。
22、2、本专利技术通过阻挡机构的设置，将挡架卡在卡槽内，并使铜背板的一端与挡架接触，从而避免矫正过程中铜背板跟随移动而产生摩擦，对铜背板造成二次损伤，提高了装置的防护效果。
23、3、本专利技术通过定位机构的设置，撑板向下移动，撑板会与卡块的斜面接触，撑板继续向下移动，会挤压卡块相滑孔内滑动，当卡块位于滑槽位置时，被挤压的第二弹簧会使卡块向滑槽内移动，从而完成对撑板的固定，使铜背板矫正时运行的更加平稳，提高了装置的稳定性。
24、4、本专利技术通过推动组件的设置，转动齿轮，齿轮带动转盘转动，使固定柱在导向槽内滑动，从而使两个滑架同时向两侧移动，进而使滑架推动卡块向滑孔内滑动，使卡块与滑槽脱离接触，在第一弹簧与伸缩杆的作用下，撑板与放置板向上移动，使铜背板从架体内露出，便于对铜背板进行拿取。
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1.一种平面度的矫正设备，包括架体(1)，其特征在于，所述架体(1)的两侧内壁之间固定连接有两个对称分布的导向杆(5)，两个导向杆(5)的圆周外壁均滑动连接有滑板(8)，滑板(8)的底部固定连接有油缸(38)，油缸(38)的伸缩端固定连接有安装架(7)，安装架(7)的两侧内壁之间转动连接有矫正辊(13)，所述安装架(7)两侧均延伸出凸起，同一侧的凸起之间通过螺栓固有热风机(14)，凸起的下方固定连接有抚平板(15)，所述安装架(7)的两侧内壁之间转动连接有两个辅助辊(12)，且辅助辊(12)与矫正辊(13)相接触，两个所述辅助辊(12)的圆周外壁均设有多个均匀分布的加热丝，所述架体(1)的顶部内壁设有带动滑板(8)左右移动的动力机构，所述架体(1)的底部内壁固定连接多个伸缩杆(19)，多个伸缩杆(19)的顶端固定连接有撑板(10)，撑板(10)的上表面设有放置板(4)，所述撑板(10)的下表面固定连接有多个第一弹簧(21)，且第一弹簧(21)与架体(1)相固定，所述架体(1)的两侧内壁均设有对下压后的撑板(10)固定的定位机构，所述架体(1)的两侧内壁均设有对铜背板进行限位的阻挡
2.根据权利要求1所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述动力机构包括导轨(6)，导轨(6)固定连接在架体(1)的顶部内壁上，所述导轨(6)上设有直线电机(9)，且直线电机(9)与滑板(8)相固定。
3.根据权利要求1所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述阻挡机构包括多个卡架(3)，多个卡架(3)均固定连接在架体(1)的一侧外壁，两个相对称的所述卡架(3)内卡接有挡架(2)，所述架体(1)的两侧内壁均开设有多个卡槽(18)，且挡架(2)与卡槽(18)可插接。
4.根据权利要求1所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述定位机构包括多个滑孔(20)，多个滑孔(20)对称设置在架体(1)的两侧内壁上，多个所述滑孔(20)内均滑动有卡块(34)，且卡块(34)的一端为斜面，多个所述卡块(34)的一侧固定连接有第二弹簧(33)，且第二弹簧(33)与滑孔(20)相固定，所述撑板(10)的两侧开设有贯穿撑板(10)的滑槽(24)，且卡块(34)可插入滑槽(24)内，所述滑槽(24)内设有推动卡块(34)移动的推动组件。
5.根据权利要求4所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述推动组件包括转盘(27)，转盘(27)转动连接在滑槽(24)的底部内壁上，所述转盘(27)的顶部固定连接有两个中心对称的固定柱(30)，所述滑槽(24)内滑动连接有两个对称的滑架(26)，滑架(26)的一侧一体成型有两个凸块，且凸块与卡块(34)可接触，两个所述滑架(26)的一端均固定连接有T型架(32)，T型架(32)的顶部开设有导向槽(31)，且固定柱(30)在导向槽(31)内活动连接，所述转盘(27)的底部固定连接有连接轴(28)，连接轴(28)的一端穿过撑板(10)固定连接有齿轮(25)，所述连接轴(28)的圆周外壁固定连接有扭簧(29)，且扭簧(29)与撑板(10)相固定，所述架体(1)的一侧设有带动齿轮(25)转动的连接组件。
6.根据权利要求5所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述连接组件包括滑口，滑口开设在架体(1)的一侧，滑口内滑动连接有滑杆组(22)，滑杆组(22)由粗滑杆和细滑杆构成，其中粗滑杆的一侧固定连接有齿条(36)，且齿条(36)与齿轮(25)可啮合，并且粗滑杆与滑口相滑动，所述架体(1)的底部内壁固定连接有固定板(37)，且细滑杆的一端穿过固定板(37)，并与固定板(37)滑动连接，所述固定板(37)的一侧固定连接有第三弹簧(35)，且第三弹簧(35)套在细滑杆的外侧并与粗滑杆的一端相固定，所述粗滑杆的一端固定连接有挡环(11)。
7.根据权利要求1所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述撑板(10)的上表面固定连接有至少一个定位块(16)，所述放置板(4)的底部开设有与定位块(16)相同数量的定位孔(23)，且定位块(16)插入定位孔(23)内。
8.根据权利要求7所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述撑板(10)的两侧均开设有至少一个凹槽(17)。
9.一种平面度的矫正方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种平面度的矫正设备，包括架体(1)，其特征在于，所述架体(1)的两侧内壁之间固定连接有两个对称分布的导向杆(5)，两个导向杆(5)的圆周外壁均滑动连接有滑板(8)，滑板(8)的底部固定连接有油缸(38)，油缸(38)的伸缩端固定连接有安装架(7)，安装架(7)的两侧内壁之间转动连接有矫正辊(13)，所述安装架(7)两侧均延伸出凸起，同一侧的凸起之间通过螺栓固有热风机(14)，凸起的下方固定连接有抚平板(15)，所述安装架(7)的两侧内壁之间转动连接有两个辅助辊(12)，且辅助辊(12)与矫正辊(13)相接触，两个所述辅助辊(12)的圆周外壁均设有多个均匀分布的加热丝，所述架体(1)的顶部内壁设有带动滑板(8)左右移动的动力机构，所述架体(1)的底部内壁固定连接多个伸缩杆(19)，多个伸缩杆(19)的顶端固定连接有撑板(10)，撑板(10)的上表面设有放置板(4)，所述撑板(10)的下表面固定连接有多个第一弹簧(21)，且第一弹簧(21)与架体(1)相固定，所述架体(1)的两侧内壁均设有对下压后的撑板(10)固定的定位机构，所述架体(1)的两侧内壁均设有对铜背板进行限位的阻挡机构。
2.根据权利要求1所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述动力机构包括导轨(6)，导轨(6)固定连接在架体(1)的顶部内壁上，所述导轨(6)上设有直线电机(9)，且直线电机(9)与滑板(8)相固定。
3.根据权利要求1所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述阻挡机构包括多个卡架(3)，多个卡架(3)均固定连接在架体(1)的一侧外壁，两个相对称的所述卡架(3)内卡接有挡架(2)，所述架体(1)的两侧内壁均开设有多个卡槽(18)，且挡架(2)与卡槽(18)可插接。
4.根据权利要求1所述的一种平面度的矫正设备，其特征在于，所述定位机构包括多个滑孔(20)，多个滑孔(20)对称设置在架体(1)的两侧内壁上，多个所述滑孔(20)内均滑动有卡块(34)，且卡块(34)的一端为斜面，多个所述卡块(34)的一侧固定连接有第二弹簧(33)，且第二弹簧(33)与滑孔(20)相固定，所述撑板(10)...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙永康，方安琪，
申请(专利权)人：东莞安力五金塑胶制品有限公司，
类型：发明
国别省市：
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