一种自动测量TTV的装置制造方法及图纸

本技术涉及半导体材料测量技术领域，公开了一种自动测量TTV的装置，包括数字千分表、大理石基台和移动机构；所述数字千分表的测量端与大理石基台上表面的测量区域相对应，所述大理石基台安装于移动机构，以使大理石基台与数字千分表之间实现相对移动。其有益效果在于：采用数字千分表配合可移动的大理石基台，待测片状材料跟随大理石基台移动，测量过程中转换不同测量点，从而实现对片状材料的自动测量及计算，效率高且消除了人工测量误差。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体材料测量，具体涉及一种自动测量ttv的装置。

技术介绍

1、半导体行业中，片状材料(如硅晶片，基片等)的ttv值(厚度最大值与最小值的差值)是一个非常重要的品质数据。目前，针对于半导体材料ttv值的测量，主要是使用卡尺、千分尺测量厚度后再通过计算得出，现有测量手段效率低下且存在人工误差，因此，亟需设计一种自动测量ttv的装置。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了克服以上现有技术存在的不足，提供了一种测量效率高、避免人工误差的自动测量ttv的装置。

2、本技术的目的通过以下的技术方案实现：一种自动测量ttv的装置，包括数字千分表、大理石基台和移动机构；所述数字千分表的测量端与大理石基台上表面的测量区域相对应，所述大理石基台安装于移动机构，以使大理石基台与数字千分表之间实现相对移动。

3、进一步地，所述移动机构包括丝杆电机和导轨；所述丝杆电机的输出端与大理石基台连接，所述导轨与丝杆电机的输出端平行设置，所述大理石基台的下表面设置有滑座，所述大理石基台通过滑座与导轨连接。

4、进一步地，还包括提升机构；所述提升机构包括提升气缸和提升支架，所述数字千分表安装于提升支架，所述提升气缸的输出端与提升支架连接。

5、进一步地，所述提升支架包括提升杆、连接杆和固定杆；所述提升气缸的输出端与提升杆连接，所述提升杆的通过连接杆与固定杆连接，所述固定杆开有卡接孔，所述数字千分表的顶端安装于卡接孔。

6、进一步地，还包括真空吸附罩；所述大理石基台开设负压吸附孔，所述真空吸附罩安装于大理石基台的下表面，并与负压吸附孔相对应。

7、进一步地，所述数字千分表的数量为两个及以上。

8、进一步地，还包括固定台；所述丝杆电机和导轨均安装于固定台。

9、进一步地，还包括固定支架；所述固定支架安装于固定台的上方，所述提升气缸安装于固定支架。

10、进一步地，还包括固定座；所述固定座包括相连接的底座和支杆，所述底座安装于固定支架，所述支杆用于支撑数字千分表表座，所述支杆开设有与数字千分表测量杆相对应的插孔。

11、本技术相对于现有技术具有如下优点：

12、1、本技术的自动测量ttv的装置采用数字千分表配合可移动的大理石基台，待测片状材料跟随大理石基台移动，测量过程中转换不同测量点，从而实现对片状材料的自动测量及计算，效率高且消除了人工测量误差。

13、2、本技术的自动测量ttv的装置设置有提升机构，在拿取大理石基台上的片状材料时，能够自动提升数字千分表，减少测量过程中拆卸数字千分表的次数，提高测量效率。本技术中设置真空吸附罩，通过在大理石基台上开设负压吸附孔，使片状材料被吸附后随大理石基台移动。

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【技术保护点】

1.一种自动测量TTV的装置，其特征在于：包括数字千分表、大理石基台和移动机构；所述数字千分表的测量端与大理石基台上表面的测量区域相对应，所述大理石基台安装于移动机构，以使大理石基台与数字千分表之间实现相对移动。

2.根据权利要求1所述的自动测量TTV的装置，其特征在于：所述移动机构包括丝杆电机和导轨；所述丝杆电机的输出端与大理石基台连接，所述导轨与丝杆电机的输出端平行设置，所述大理石基台的下表面设置有滑座，所述大理石基台通过滑座与导轨连接。

3.根据权利要求1所述的自动测量TTV的装置，其特征在于：还包括提升机构；所述提升机构包括提升气缸和提升支架，所述数字千分表安装于提升支架，所述提升气缸的输出端与提升支架连接。

4.根据权利要求3所述的自动测量TTV的装置，其特征在于：所述提升支架包括提升杆、连接杆和固定杆；所述提升气缸的输出端与提升杆连接，所述提升杆的通过连接杆与固定杆连接，所述固定杆开有卡接孔，所述数字千分表的顶端安装于卡接孔。

5.根据权利要求1所述的自动测量TTV的装置，其特征在于：还包括真空吸附罩；所述大理石基台开设负压吸附孔，所述真空吸附罩安装于大理石基台的下表面，并与负压吸附孔相对应。

6.根据权利要求1所述的自动测量TTV的装置，其特征在于：所述数字千分表的数量为两个及以上。

7.根据权利要求2所述的自动测量TTV的装置，其特征在于：还包括固定台；所述丝杆电机和导轨均安装于固定台。

8.根据权利要求7所述的自动测量TTV的装置，其特征在于：还包括固定支架；所述固定支架安装于固定台的上方。

9.根据权利要求8所述的自动测量TTV的装置，其特征在于：还包括固定座；所述固定座包括相连接的底座和支杆，所述底座安装于固定支架，所述支杆用于支撑数字千分表表座，所述支杆开设有与数字千分表测量杆相对应的插孔。

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【技术特征摘要】

1.一种自动测量ttv的装置，其特征在于：包括数字千分表、大理石基台和移动机构；所述数字千分表的测量端与大理石基台上表面的测量区域相对应，所述大理石基台安装于移动机构，以使大理石基台与数字千分表之间实现相对移动。

2.根据权利要求1所述的自动测量ttv的装置，其特征在于：所述移动机构包括丝杆电机和导轨；所述丝杆电机的输出端与大理石基台连接，所述导轨与丝杆电机的输出端平行设置，所述大理石基台的下表面设置有滑座，所述大理石基台通过滑座与导轨连接。

3.根据权利要求1所述的自动测量ttv的装置，其特征在于：还包括提升机构；所述提升机构包括提升气缸和提升支架，所述数字千分表安装于提升支架，所述提升气缸的输出端与提升支架连接。

4.根据权利要求3所述的自动测量ttv的装置，其特征在于：所述提升支架包括提升杆、连接杆和固定杆；所述提升气缸的输出端与提升杆连接，所述提升杆的通过连接杆与...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘歆，
申请(专利权)人：广州钧天自动化科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：