【技术实现步骤摘要】
本申请属于太阳能电池，涉及真空镀膜技术，具体涉及一种双面开槽的载板及太阳能电池的制备设备。
技术介绍
1、在太阳能硅片的生产加工过程中，一般会将多个待加工的硅片放置在载板上进行传送以及工艺处理，例如真空镀膜。而pecvd真空镀膜载板结构主要是由单面承载盘即托盘与框架组成，所述托盘固设在所述框架上，所述框架包括若干纵横交错设置的筋条，相邻筋条之间的区域为镂空设置，托盘通过固定件固定在框架上，图1为现有pecvd真空镀膜载板的结构示意图，载板包括第一托盘10和第一框架20，图2为第一托盘10放置在第一框架20上后，沿a-a’的截面示意图，其中第一框架20为相应筋条的截面区域，可以看出，第一托盘10设置在第一框架20上，第一托盘10为上表面开设有硅片盛放槽位的托盘，下表面为平面，若干硅片槽呈阵列排布。但随着载板在真空镀膜设备中反复承载不同的硅片、反复用于放取硅片，会逐渐导致载板的单面承载盘使用过度而出现不同程度的磨损以及翘起现象，从而对镀膜均匀性产生影响甚至于无法再使用，影响生产效率。
技术实现思路
1、本申请旨在至少在一定程度上解决上述相关技术中的技术问题之一。
2、为此，本申请的目的在于提供一种双面开槽的载板及太阳能电池的制备设备，能够缓解或解决pecvd真空镀膜载板由于反复放取硅片出现单面托盘磨损以及由此所导致的一系列其他问题。
3、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
4、本申请实施例提供了一种双面开槽的载板，用于太阳能电池的制备设备，所
5、另外，根据本申请的双面开槽的载板，还可以具有如下附加的技术特征：
6、在其中的一些实施方式中，所述托盘的数量为两个，分别作为上托盘和下托盘分设在所述框架的上下两面。
7、在其中的一些实施方式中，所述托盘的数量为1个，所述托盘设置在所述框架的上表面。
8、在其中的一些实施方式中，所述框架的若干纵横交错的筋条上开设有组装槽位，所述组装槽位与开设在所述托盘上的硅片盛放槽位匹配，所述硅片盛放槽位的边沿嵌设在对应的组装槽位中。
9、在其中的一些实施方式中，所述硅片盛放槽位内壁上设有凹槽台；设置在所述托盘正反两面的所述凹槽台的高度相同或不同。
10、在其中的一些实施方式中，所述框架的筋条上下两面均设有支撑凹台，所述支撑凹台与设于所述托盘四边的凸台边沿匹配；所述托盘的凸台边沿与所述支撑凹台接触连接。
11、在其中的一些实施方式中，所述托盘的硅片盛放槽位所在区域与所述框架的筋条表面部分接触，部分形成缝隙。
12、在其中的一些实施方式中，所述上托盘和/或所述下托盘通过固定件固定在所述框架上。
13、本申请实施例还提供了一种双面开槽的载板，用于太阳能电池的制备设备，所述载板包括上托盘、下托盘和框架，所述上托盘、所述框架和所述下托盘依次叠置设置，所述框架包括若干纵横交错设置的筋条，相邻筋条之间的区域为镂空设置，所述上托盘的上表面和所述下托盘的下表面均开设有若干硅片盛放槽位；开设在所述上托盘和所述下托盘上的硅片盛放槽位的形状、长宽以及排布方式均相同，深度相同或不同。
14、本申请实施例还提供了一种太阳能电池的制备设备，其包括如前所述的双面开槽的载板。
15、与现有技术相比，本技术的至少具有以下有益效果：
16、本申请实施例中，所提供的双面开槽的载板，能够一板双用，提高pecvd真空镀膜载板材料利用率，降低生产成本；
17、本申请实施例中，所提供的双面开槽的载板，可以在一面出现磨损现象后直接翻转继续使用，从而极大地保证了生产效率及镀膜均匀性；
18、本申请实施例中，所提供的双面开槽的载板，托盘两面均能与框架匹配，同时提高了框架的利用率，降低了生产成本。
19、本申请的太阳能电池的制备设备包括所述的双面开槽的载板，因而至少具有所述的双面开槽的载板的所有特征及优势，在此不再赘述。本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种双面开槽的载板，用于太阳能电池的制备设备，所述载板包括托盘和框架，所述托盘叠置式设置在所述框架上，所述框架包括若干纵横交错设置的筋条，相邻筋条之间的区域为镂空设置，其特征在于，所述托盘的正反两面均开设有若干硅片盛放槽位；开设在所述托盘正反两面的硅片盛放槽位的形状、长宽以及排布方式均相同，深度相同或不同。
2.根据权利要求1所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述托盘的数量为两个，分别作为上托盘和下托盘分设在所述框架的上下两面。
3.根据权利要求1所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述托盘的数量为1个，所述托盘设置在所述框架的上表面。
4.根据权利要求1-3任一项所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述框架的若干纵横交错的筋条上开设有组装槽位，所述组装槽位与开设在所述托盘上的硅片盛放槽位匹配，所述硅片盛放槽位的边沿嵌设在对应的组装槽位中。
5.根据权利要求1所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述硅片盛放槽位内壁上设有凹槽台；设置在所述托盘正反两面的所述凹槽台的高度相同或不同。
6.根据权利要求2所述的双面开槽的载板，其
7.根据权利要求1所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述托盘的硅片盛放槽位所在区域与所述框架的筋条表面部分接触，部分形成缝隙。
8.根据权利要求2所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述上托盘和/或所述下托盘通过固定件固定在所述框架上。
9.一种双面开槽的载板，用于太阳能电池的制备设备，其特征在于，所述载板包括上托盘、下托盘和框架，所述上托盘、所述框架和所述下托盘依次叠置设置，所述框架包括若干纵横交错设置的筋条，相邻筋条之间的区域为镂空设置，所述上托盘的上表面和所述下托盘的下表面均开设有若干硅片盛放槽位；开设在所述上托盘和所述下托盘上的硅片盛放槽位的形状、长宽以及排布方式均相同，深度相同或不同。
10.一种太阳能电池的制备设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任意一项所述的双面开槽的载板。
...【技术特征摘要】
1.一种双面开槽的载板，用于太阳能电池的制备设备，所述载板包括托盘和框架，所述托盘叠置式设置在所述框架上，所述框架包括若干纵横交错设置的筋条，相邻筋条之间的区域为镂空设置，其特征在于，所述托盘的正反两面均开设有若干硅片盛放槽位；开设在所述托盘正反两面的硅片盛放槽位的形状、长宽以及排布方式均相同，深度相同或不同。
2.根据权利要求1所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述托盘的数量为两个，分别作为上托盘和下托盘分设在所述框架的上下两面。
3.根据权利要求1所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述托盘的数量为1个，所述托盘设置在所述框架的上表面。
4.根据权利要求1-3任一项所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述框架的若干纵横交错的筋条上开设有组装槽位，所述组装槽位与开设在所述托盘上的硅片盛放槽位匹配，所述硅片盛放槽位的边沿嵌设在对应的组装槽位中。
5.根据权利要求1所述的双面开槽的载板，其特征在于，所述硅片盛放槽位内壁上设有凹槽台；设置在所述托盘正反两面的所述凹槽台的高度相同或不同。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙健，刘亚南，陈晨，刘欢，周剑，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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