【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶舟加工，尤其涉及一种晶舟夹取机构。
技术介绍
1、晶舟(wafer boat，或者wafer cassette box)就是晶圆的存储盒或者存储架，是用来储存、运送以及加工晶圆的装置。因为wafer越来越薄，属于易碎品，晶舟就是要起到保护wafer在运输转移过程中不受破坏的作用。通常，晶舟被设计成至少可以承装一片晶圆的结构，更明确地说，晶舟主要含有多个晶圆放置槽，而每一个晶圆放置槽可供放置一片晶圆。
2、在实际生产中，晶圆不能用手直接触碰，这会对晶圆内部造成静电损伤，无法弥补，直接报废掉，需要有防静电设备进行物料转移，尽量避免人工手动移料。
3、现有专利cn201920702566.7提供一种夹取晶圆盒的机械手装置，包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件，两夹持臂将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固，并由锁紧块将其与旋转杆固连，旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座，外壳内固定设置有顶伸气缸，其顶杆固连有倾斜块，倾斜块中部设置有u形孔，u形孔与旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动，传动位移组件包括z轴滑移组件和x轴传动组件，该夹取晶圆盒的机械手装置利用x轴传动组件和z轴滑移组件构成的双轴联动动作，由电机和气缸的动作控制夹持臂和旋转杆共同作用将晶圆盒抬升移送，自动化程度高，实用方便，适用性强。
4、当将上述专利集成到晶圆生产线上时，利用上述专利进行晶圆的整体化生产加工时，需要采用本结构进行将晶圆送至清洗、烘干池内，而本结构中夹
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是提供一种晶舟夹取机构，解决将现有技术集成到晶圆生产线上带来的人员无法直观巡视或进行其他处理的问题。
2、为解决上述技术问题，本技术的技术方案为：一种晶舟夹取机构，其创新点在于：包括一匚形支架、一驱动组件以及一夹持组件，所述驱动组件安装在所述匚形支架上，所述夹持组件设置在所述匚形支架的一侧下方，驱动组件与所述夹持组件通过一竖轴连接；
3、所述匚形支架包括上横板、竖板以及下横板；
4、所述驱动组件包括一升降驱动件以及一旋转驱动件，所述升降驱动件包括一电机、第一皮带轮、第二皮带轮、传动皮带、滚珠丝杠副、连接座，所述滚珠丝杠副竖直设置，其底部设置在所述下横板上，其顶部穿过所述上横板并连接有第一皮带轮，其中部具有一螺母，在该螺母远离所述竖板的一侧安装有所述连接座，所述电机安装在所述上横板底部上，其输出端穿过所述上横板设置并安装有第二皮带轮，且第一、二皮带轮上安装有所述传动皮带；
5、所述竖轴的顶部自下而上穿过所述下横板后延伸至所述连接座处，并与所述连接座连接；
6、所述旋转驱动件包括一伺服电机，所述伺服电机安装在所述连接座顶部，且伺服电机的输出端竖直向下设置并与所述竖轴的顶部连接，通过所述伺服电机驱动该竖轴在水平线上进行旋转操作，从而是实现晶舟在水平线上的旋转。
7、进一步的，所述螺母靠近所述竖板的一侧还安装有一滑动板，在竖板内侧安装有竖直滑轨，滑轨上设有滑块，且所述滑动板竖直安装在所述滑块上，通过滑动板与滑轨、滑块可以提升螺母在滚珠丝杠副上升降时的稳定性，进而提升连接座、竖轴以及夹持组件的升降平稳性，最终提升晶舟及其内部晶圆的升降平稳性。
8、进一步的，所述上横板上位于所述旋转驱动件的上方还开设有一通槽，利用所述通槽容纳所述伺服电机在竖直方向上进行上升或下降，为伺服电机跟随滚珠丝杠副上升的过程中提供足够的避让空间，避免二者之间发生磕碰，最终提升整体结构运行流畅度。
9、进一步的，所述匚形支架的顶部以及两侧处还设有一ω形防酸带，通过ω形防酸带对驱动组件进行防护，避免生产过程中发生清洗或其他液体溅在驱动组件上导致损坏的情况。
10、进一步的，夹持组件包括一壳体、两个夹爪转轴、两个晶舟框夹以及一旋转件；
11、所述壳体包括上壳体、下壳体、前边板、后边板，所述两个夹爪转轴均水平设置，且其一侧穿过所述前边板并延伸至所述后边板处，使得两个夹爪转轴均有一延伸段处于壳体外部前侧，所述两个晶舟框夹对称安装在两个夹爪转轴的延伸段上；
12、所述旋转件包括一气缸、两个摇臂、两个滚针轴承，所述气缸设置在所述壳体内位于两个夹爪转轴之间并与所述上壳体连接，所述气缸的底部上还安装有一与所述气缸输出端连接的移动块，该移动块上具有一倾斜设置的腰型通道，在腰型通道内的底侧设有一弹簧挡片，所述两个摇臂分别安装在两个夹爪转轴上，且两个摇臂的延伸端均设有一小圆柱孔，所述辊针轴承包括一大圆柱体与一小圆柱体，所述辊针轴承的小圆柱体设置在所述摇臂的小圆柱孔内，使得两个滚针轴承的大圆柱体的延伸侧均延伸至腰型通道内位于弹簧挡片的上方位置处。
13、进一步的，所述连接座为e形结构，包括一底板、一中板、一顶板以及一连接竖板，且该连接竖板与所述螺母固定连接，所述竖轴的顶部依次穿过所述底板与所述中部，所述伺服电机的输出端穿过所述顶板并与所述竖轴的顶端连接。可利用中板提升竖轴安装时与运行过程中的稳定性。
14、进一步的，所述连接座上位于所述底板的顶部还设有一基板，在该基板上位于所述竖轴的周部设有多个光电传感器，在所述竖轴上位于中板与底板之间设有一横杆，在横杆的端部设有一l形板，且该l形板的底部延伸侧延伸至所述光电传感器处，通过光电传感器提升竖轴旋转角度的精准监控，从而提升本结构的运行精度。
15、本技术的优点在于：
16、1）本技术中，通过将驱动组件安装在匚形支架上，将夹持组件设置在匚形支架的一侧下方，驱动组件与夹持组件通过一竖轴连接，使得夹持组件所处的水平高度得以下降，从而当本结构集成到晶圆生产线上时可以相应地降低清洗池、烘干池等设备的高度，从而使得人员可以直观巡视或进行其他处理，便捷直观；
17、2）本技术中，螺母靠近竖板的一侧还安装有一滑动板，在竖板内侧安装有竖直滑轨，滑轨上设有滑块，且滑动板竖直安装在滑块上，通过滑动板与滑轨、滑块可以提升螺母在滚珠丝杠副上升降时的稳定性，进而提升连接座、竖轴以及夹持组件的升降平稳性，最终提升晶舟及其内部晶圆的升降平稳性。
18、3）上横板上位于旋转驱动件的上方还开设有一通槽，利用通槽容纳伺服电机在竖直方向上进行上升或下降，为伺服电机跟随滚珠丝杠副上升的过程中提供足够的避让空间，避免二者之间发生磕碰，最终提升整体结构运行流畅度。
19、4）匚形支架的顶部以及两侧处还设有一ω形防酸带，通过ω形防酸带对驱动组件进行防护，避免生产过程中发生清洗或其他液体溅在驱动组件上导致损坏的情况。
20、5）连接座为e形结构，包括一底板、一中板、一本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶舟夹取机构，其特征在于：包括一匚形支架、一驱动组件以及一夹持组件，所述驱动组件安装在所述匚形支架上，所述夹持组件设置在所述匚形支架的一侧下方，驱动组件与所述夹持组件通过一竖轴连接；
2.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述螺母靠近所述竖板的一侧还安装有一滑动板，在竖板内侧安装有竖直滑轨，滑轨上设有滑块，且所述滑动板竖直安装在所述滑块上。
3.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述上横板上位于所述旋转驱动件的上方还开设有一通槽，利用所述通槽容纳所述伺服电机在竖直方向上进行上升或下降。
4.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述匚形支架的顶部以及两侧处还设有一Ω形防酸带。
5.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述夹持组件包括一壳体、两个夹爪转轴、两个晶舟框夹以及一旋转件；
6.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述连接座为E形结构，包括一底板、一中板、一顶板以及一连接竖板，且该连接竖板与所述螺母固定连接，所述竖轴的顶部依次穿过所述底
7.根据权利要求6所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述连接座上位于所述底板的顶部还设有一基板，在该基板上位于所述竖轴的周部设有多个光电传感器，在所述竖轴上位于中板与底板之间设有一横杆，在横杆的端部设有一L形板，且该L形板的底部延伸侧延伸至所述光电传感器处。
...【技术特征摘要】
1.一种晶舟夹取机构，其特征在于：包括一匚形支架、一驱动组件以及一夹持组件，所述驱动组件安装在所述匚形支架上，所述夹持组件设置在所述匚形支架的一侧下方，驱动组件与所述夹持组件通过一竖轴连接；
2.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述螺母靠近所述竖板的一侧还安装有一滑动板，在竖板内侧安装有竖直滑轨，滑轨上设有滑块，且所述滑动板竖直安装在所述滑块上。
3.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述上横板上位于所述旋转驱动件的上方还开设有一通槽，利用所述通槽容纳所述伺服电机在竖直方向上进行上升或下降。
4.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取机构，其特征在于：所述匚形支架的顶部以及两侧处还设有一ω形防酸带。...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎弈夆，杨志伟，
申请(专利权)人：力集泓光电科技南通有限公司，
类型：新型
国别省市：
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