一种可调式碳化硅衬底固定工装制造技术

本技术公开了一种可调式碳化硅衬底固定工装，包括底座，所述底座上设有左调节半环和右固定半环，所述左调节半环可相对右固定半环移动并随时固定，左调节半环和右固定半环之间设有内撑板，所述内撑板的高度可调，左调节半环、右固定半环及内撑板围合形成碳化硅衬底放置腔。本技术结构简单，使用方便，碳化硅衬底取放方便，不易划伤碳化硅单晶。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及碳化硅长晶，尤其是涉及一种可调式碳化硅衬底固定工装。

技术介绍

1、碳化硅单晶是一种重要的半导体材料，具有优异的物理和化学性质，广泛应用于电子、光电子、能源等领域。碳化硅长晶炉是一种用于生产碳化硅单晶的设备。

2、目前在制备碳化硅单晶时，将碳化硅衬底放入碳化硅长晶炉的炉腔中，并加热到适当的温度；然后，在炉腔中加入碳化硅生长原料和溶剂，形成碳化硅的溶液；通过控制温度和溶液浓度等参数，使溶液中的碳化硅逐渐在衬底上生长；最后，通过控制降温速度，使碳化硅晶体逐渐冷却并固化。碳化硅衬底常规是放置在一个底座的凹腔内，对碳化硅衬底的精度要求非常高，否则碳化硅衬底便无法放入底座内，同时碳化硅衬底也很难取出，易卡死，另外碳化硅单晶取出时也易被底座划伤。

技术实现思路

1、本技术是为了解决现有技术的底座存在的上述问题，提供了一种结构简单，使用方便，碳化硅衬底放置方便，不易划伤碳化硅单晶的可调式碳化硅衬底固定工装。

2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：本技术的一种可调式碳化硅衬底固定工装，包括底座，所述底座上设有左调节半环和右固定半环，所述左调节半环可相对右固定半环移动并随时固定，左调节半环和右固定半环之间设有内撑板，所述内撑板的高度可调，左调节半环、右固定半环及内撑板围合形成碳化硅衬底放置腔。本技术可通过移动左调节半环可使左调节半环和右固定半环相互远离或相互靠近，当左调节半环和右固定半环相互远离时，便于碳化硅衬底放入碳化硅衬底放置腔中，对碳化硅衬底的精度要求低，同时也便于碳化硅衬底取出，不存在卡死现象；当调节半环和右固定半环相互靠近时，使左调节半环和右固定半环夹紧固定碳化硅衬底；内撑板的高度可调，便于将碳化硅衬底顶起后取出。

3、作为优选，所述底座内设有滑槽，所述滑槽的槽壁上螺纹连接有调节螺栓，所述调节螺栓的前端固定有滑块，所述滑块与左调节半环固定连接。通过转动调节螺栓，便可使滑块沿滑槽滑动，从而带动左调节半环靠近或远离右固定半环。

4、作为优选，所述左调节半环与右固定半环之间设有导向机构。

5、作为优选，所述导向机构包括导柱和导孔，所述导孔设置在左调节半环的两端端面上，所述导柱固定在右固定半环的两端端面上，导柱与导孔滑配。

6、作为优选，所述内撑板底部设有上凹腔，所述底座上设有下凹腔，所述上凹腔与下凹腔围合形成钢珠腔，所述钢珠腔内设有钢珠，底座内设有传动螺栓腔，所述下凹腔与传动螺栓腔连通，所述钢珠的部分露出于传动螺栓腔内，所述传动螺栓腔内设有传动螺栓，所述传动螺栓与底座螺纹连接，传动螺栓的内端端面设有锥面，钢珠与传动螺栓接触。通过钢珠与传动螺栓配合，即可使内撑板上下升降以调整碳化硅衬底放置腔的深度，便于将碳化硅衬底顶起后取出。

7、因此，本技术具有如下有益效果：

8、（1）使用方便，对碳化硅衬底的精度要求低，能夹紧一定尺寸范围内的碳化硅衬底；

9、（2）碳化硅衬底的取放非常方便，取出时不存在卡死现象；

10、（3）不易划伤碳化硅单晶。

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【技术保护点】

1.一种可调式碳化硅衬底固定工装，其特征在于，包括底座（1），所述底座上设有左调节半环（2）和右固定半环（3），所述左调节半环可相对右固定半环移动并随时固定，左调节半环和右固定半环之间设有内撑板（4），所述内撑板的高度可调，左调节半环、右固定半环及内撑板围合形成碳化硅衬底放置腔（5）。

2.根据权利要求1所述的一种可调式碳化硅衬底固定工装，其特征在于，所述底座内设有滑槽（6），所述滑槽的槽壁上螺纹连接有调节螺栓（7），所述调节螺栓的前端固定有滑块（8），所述滑块与左调节半环固定连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种可调式碳化硅衬底固定工装，其特征在于，所述左调节半环与右固定半环之间设有导向机构。

4.根据权利要求3所述的一种可调式碳化硅衬底固定工装，其特征在于，所述导向机构包括导柱（9）和导孔（10），所述导孔设置在左调节半环的两端端面上，所述导柱固定在右固定半环的两端端面上，导柱与导孔滑配。

5.根据权利要求1所述的一种可调式碳化硅衬底固定工装，其特征在于，所述内撑板底部设有上凹腔（11），所述底座上设有下凹腔（12），所述上凹腔与下凹腔围合形成钢珠腔，所述钢珠腔内设有钢珠（13），底座内设有传动螺栓腔（14），所述下凹腔与传动螺栓腔连通，所述钢珠的部分露出于传动螺栓腔内，所述传动螺栓腔内设有传动螺栓（15），所述传动螺栓与底座螺纹连接，传动螺栓的内端端面设为锥面（16），钢珠与传动螺栓接触。

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【技术特征摘要】

1.一种可调式碳化硅衬底固定工装，其特征在于，包括底座（1），所述底座上设有左调节半环（2）和右固定半环（3），所述左调节半环可相对右固定半环移动并随时固定，左调节半环和右固定半环之间设有内撑板（4），所述内撑板的高度可调，左调节半环、右固定半环及内撑板围合形成碳化硅衬底放置腔（5）。

2.根据权利要求1所述的一种可调式碳化硅衬底固定工装，其特征在于，所述底座内设有滑槽（6），所述滑槽的槽壁上螺纹连接有调节螺栓（7），所述调节螺栓的前端固定有滑块（8），所述滑块与左调节半环固定连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种可调式碳化硅衬底固定工装，其特征在于，所述左调节半环与右固定半环之间设有导向机构。

【专利技术属性】
技术研发人员：姚铁城，张建成，斯泽豪，
申请(专利权)人：露笑新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：