一种半导体芯片加工用切割装置制造方法及图纸

技术编号:42484814 阅读:10 留言:0更新日期:2024-08-21 13:04
本技术公开了一种半导体芯片加工用切割装置,属于半导体加工技术领域,其包括底座,所述底座上连接有操作台,所述底座上连接有支撑座,所述支撑座上连接有横柱,所述横柱上连接有喷水装置,所述底座的正面连接有收纳盒,所述底座的一侧连接有移动装置,所述移动装置上连接有清理装置,所述清理装置包括连接杆。该半导体芯片加工用切割装置,通过设置往复丝杆、螺纹帽、连接杆、固定刮板、转动刮板和卷簧,当碎屑移入至收纳盒内后,此时完成对碎屑的清理,该装置使固定刮板和转动刮板在清理时产生不同的形状变化,从而使转动刮板在清理不规则清理台时,可以始终保持与清理面贴合并进行铲除,从而使清理效果更佳。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体加工,具体为一种半导体芯片加工用切割装置


技术介绍

1、半导体芯片是现代电子产品中至关重要的组成部分,它们通过微小的电子元件和电路实现信息处理和存储功能,在半导体芯片的制造过程中,切割是一个关键的步骤,用于将大型的晶圆切割成小尺寸的芯片。

2、半导体芯片加工用切割装置在切割完毕后会产生碎屑,碎屑的清理方式一般都采用清理软刷,软刷可能无法完全清除切割装置上的污染物,例如油脂、胶黏物质或粘附的碎屑,这些残留的碎屑可能会对后续的加工工艺产生不利影响,例如可能会导致产品质量下降或设备性能下降。


技术实现思路

1、为了克服上述缺陷,本技术提供了一种半导体芯片加工用切割装置,解决了碎屑的清理方式一般都采用清理软刷,油脂、胶黏物质或粘附的碎屑会清理不净的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体芯片加工用切割装置,包括底座,所述底座上连接有操作台,所述底座上连接有支撑座,所述支撑座上连接有横柱,所述横柱上连接有喷水装置,所述底座的正面连接有收纳盒,所述底座的一侧连接有移动装置,所述移动装置上连接有清理装置,所述清理装置包括连接杆,所述连接杆连接在移动装置上。

3、作为本技术的进一步方案:所述连接杆的一端连接有转轴,所述转轴外套设有两个固定刮板,两个所述固定刮板搭接在底座上,所述转轴外套设有转动刮板,所述转动刮板搭接在底座上。

4、作为本技术的进一步方案:所述转动刮板搭接在固定刮板的一侧,所述转轴外套设有卷簧,所述转动刮板的两侧开设有长槽,所述卷簧的一端连接在固定刮板的一侧,所述卷簧的另一端连接在长槽内。

5、作为本技术的进一步方案:所述喷水装置包括水箱,所述水箱连接在支撑座的一侧,所述水箱上连接有水泵。

6、作为本技术的进一步方案:所述水泵的正面连接有水管,所述水管的一端连接有喷头,所述喷头连接在横柱上。

7、作为本技术的进一步方案:所述移动装置包括电机,所述电机连接在底座的一侧,所述电机的正面连接有往复丝杆,所述往复丝杆外套设有螺纹帽。

8、作为本技术的进一步方案:所述螺纹帽搭接在底座的一侧,所述连接杆连接在螺纹帽上,所述往复丝杆的一端连接有限位块,所述限位块连接在底座的一侧。

9、与现有技术相比,本技术的有益效果在于:

10、1、该半导体芯片加工用切割装置,通过设置往复丝杆、螺纹帽、连接杆、固定刮板、转动刮板和卷簧,当需要对碎屑进行清理时,启动电机,电机带动往复丝杆进行转动,往复丝杆带动螺纹帽进行水平方向移动,螺纹帽带动连接杆进行水平方向移动,连接杆带动固定刮板、转动刮板进行移动,当碎屑移入至收纳盒内后,此时完成对碎屑的清理,该装置使固定刮板和转动刮板在清理时产生不同的形状变化,从而使转动刮板在清理不规则清理台时,可以始终保持与清理面贴合并进行铲除,从而使清理效果更佳。

11、2、该半导体芯片加工用切割装置,通过设置卷簧、转动刮板、操作台,卷簧配合转动刮板、操作台,实现了当转动刮板移动至操作台时,操作台斜面对转动刮板产生阻力,使转动刮板通过卷簧在斜面上产生转动,从而始终保持转动刮板对操作台的贴合,避免了清理不净的问题。

12、3、该半导体芯片加工用切割装置,通过设置水箱、水泵、水管、喷头,水箱配合水泵、水管、喷头,实现了当进行清理前,启动水泵,水泵从水箱内抽水,通过水管流至喷头,随后从喷头喷出,从而对碎屑进行打湿处理,避免在后续清理时,细微碎屑出现四处飞散的问题。

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【技术保护点】

1.一种半导体芯片加工用切割装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上连接有操作台(2),所述底座(1)上连接有支撑座(3),所述支撑座(3)上连接有横柱(4),所述横柱(4)上连接有喷水装置(5),所述底座(1)的正面连接有收纳盒(6),所述底座(1)的一侧连接有移动装置(7),所述移动装置(7)上连接有清理装置(8),所述清理装置(8)包括连接杆(81),所述连接杆(81)连接在移动装置(7)上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用切割装置,其特征在于:所述连接杆(81)的一端连接有转轴(82),所述转轴(82)外套设有两个固定刮板(83),两个所述固定刮板(83)搭接在底座(1)上,所述转轴(82)外套设有转动刮板(84),所述转动刮板(84)搭接在底座(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片加工用切割装置,其特征在于:所述转动刮板(84)搭接在固定刮板(83)的一侧,所述转轴(82)外套设有卷簧(86),所述转动刮板(84)的两侧开设有长槽(85),所述卷簧(86)的一端连接在固定刮板(83)的一侧,所述卷簧(86)的另一端连接在长槽(85)内。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用切割装置,其特征在于:所述喷水装置(5)包括水箱(51),所述水箱(51)连接在支撑座(3)的一侧,所述水箱(51)上连接有水泵(52)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体芯片加工用切割装置,其特征在于:所述水泵(52)的正面连接有水管(53),所述水管(53)的一端连接有喷头(54),所述喷头(54)连接在横柱(4)上。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用切割装置,其特征在于:所述移动装置(7)包括电机(71),所述电机(71)连接在底座(1)的一侧,所述电机(71)的正面连接有往复丝杆(72),所述往复丝杆(72)外套设有螺纹帽(73)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体芯片加工用切割装置,其特征在于:所述螺纹帽(73)搭接在底座(1)的一侧,所述连接杆(81)连接在螺纹帽(73)上,所述往复丝杆(72)的一端连接有限位块(74),所述限位块(74)连接在底座(1)的一侧。

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【技术特征摘要】

1.一种半导体芯片加工用切割装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上连接有操作台(2),所述底座(1)上连接有支撑座(3),所述支撑座(3)上连接有横柱(4),所述横柱(4)上连接有喷水装置(5),所述底座(1)的正面连接有收纳盒(6),所述底座(1)的一侧连接有移动装置(7),所述移动装置(7)上连接有清理装置(8),所述清理装置(8)包括连接杆(81),所述连接杆(81)连接在移动装置(7)上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用切割装置,其特征在于:所述连接杆(81)的一端连接有转轴(82),所述转轴(82)外套设有两个固定刮板(83),两个所述固定刮板(83)搭接在底座(1)上,所述转轴(82)外套设有转动刮板(84),所述转动刮板(84)搭接在底座(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片加工用切割装置,其特征在于:所述转动刮板(84)搭接在固定刮板(83)的一侧,所述转轴(82)外套设有卷簧(86),所述转动刮板(84)的两侧开设有长槽(85),所述卷簧(86)的一端连接在固定刮板...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈钊佳
申请(专利权)人:深圳市钍地半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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