一种滤光片真空镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:42477372 阅读:5 留言:0更新日期:2024-08-21 12:59
本技术公开了一种滤光片真空镀膜装置,包括真空镀膜箱和储气室,所述真空镀膜箱的外壁一体设置有储气室,且储气室和真空镀膜箱之间通过管道连接有真空泵;本技术中,采用减速电机、轴杆、承载盘、夹持环、安装座构成滤光片镀膜用旋转机构,通过启动真空镀膜箱上安装的减速电机,促使减速电机输出端带动轴杆转动,进而轴杆带动固定于其表面的安装座转动,使得两个承载盘关于轴杆的轴心线旋转,直至承载盘的夹持环上的夹持的滤光片与真空镀膜箱内充斥的蒸发材料充分接触,实现滤光片的均匀镀膜,相较于现有居中旋转式镀膜结构,通过扩大滤光片在真空镀膜箱内部的旋转范围以达到与蒸发材料充分接触的目的。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及滤光片镀膜,尤其涉及一种滤光片真空镀膜装置


技术介绍

1、目前,滤光片在光通信产品中起着致关重要的作用,带通滤光片是一种可从复合光中分离出某一波段单色光的光学器件,带通滤光片是通过在透光基片上镀电介质金属膜制成的,其利用电介质金属膜的干涉作用来从入射光中选取特定波段的光使其通过,滤光片的镀膜多使用镀膜机。

2、现有技术中,专利号cn211522313u公开了一种滤光片蒸发镀膜装置,包括真空镀膜机和转板,所述转板通过转动杆可转动的固定在真空镀膜机的内部,且转板的转动杆与真空镀膜机外壁上固定的步进电机传动连接,所述转板的上端和下端表面均固定有固定板,且固定板的外侧通过连杆固定有夹持板,夹持板贯穿固定板两端的通孔,且连杆的末端焊接固定有限位板,限位板与固定板之间的连杆外圈套置固定有弹簧。本技术通过在真空镀膜机内设置可转动的转板,并在其上端和下端表面均设置有固定板和夹持板,可以将滤光片固定后被带动在真空镀膜机内在不同平面上转动,能够实现均匀镀膜的目的,且上下端均可以固定滤光板,镀膜的效率较高。

3、上述方案中,通过在真空镀膜机内设置可转动的转板,并在其上端和下端表面均设置有固定板和夹持板,可以将滤光片固定后被带动在真空镀膜机内在不同平面上转动,能够实现均匀镀膜的目的,但是由于转板转动安装于真空镀膜机的中部,转板的滤光片在旋转状态下不便与真空镀膜机内侧上端以及下端的蒸发材料接触,镀膜均匀度依然存在不足之处。

4、为此,提出了一种滤光片真空镀膜装置,具备滤光片镀膜均匀高的优点,进而解决上述背景技术中的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种滤光片真空镀膜装置。

2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种滤光片真空镀膜装置,包括真空镀膜箱和储气室,所述真空镀膜箱的外壁一体设置有储气室,且储气室和真空镀膜箱之间通过管道连接有真空泵,所述真空镀膜箱的一端通过螺栓固定安装有减速电机,且减速电机输出端贯穿真空镀膜箱固定连接有轴杆,所述轴杆的上方和下方均设置有承载盘,且承载盘的两端均焊接有安装座,所述安装座的底部对应轴杆开设半圆槽,且半圆槽内开设有凹槽,所述轴杆的表面对应安装座焊接有凸柱,且凸柱伸入半圆槽与凹槽插接,两个所述承载盘的安装座上均焊接有固定耳,且固定耳上穿插设置有螺栓,所述承载盘的表面焊接有夹持环,且夹持环内侧弹性连接有圆弧夹。

3、作为上述技术方案的进一步描述:所述夹持环的侧面焊接有固定壳,且固定壳内穿插设置有连接杆,所述连接杆的表面焊接有支撑环,且支撑环一侧设置有弹簧,所述弹簧套设安装于连接杆的表面,且弹簧的两端分别与固定壳内壁以及支撑环相抵,所述连接杆延伸至夹持环内圈的部分与圆弧夹具固定连接,所述夹持环的内圈焊接有支撑块,所述承载盘的表面对应夹持环开设贯穿孔。

4、作为上述技术方案的进一步描述:所述承载盘上环绕设置多个夹持环,且每个夹持环上均设置有两个圆弧夹具以及固定壳。

5、作为上述技术方案的进一步描述:所述半圆槽的内径与轴杆截面的直径相适配,所述轴杆上焊接的凸柱与半圆槽内开设的凹槽相适配。

6、作为上述技术方案的进一步描述:所述连接杆远离圆弧夹具的一端延伸至固定壳外侧,所述夹持环的侧面对应连接杆开设让位孔。

7、作为上述技术方案的进一步描述:所述夹持环内圈焊接有两个支撑块,且两个支撑块均为镂空的梯形结构。

8、本技术具有如下有益效果:

9、本技术中,采用减速电机、轴杆、承载盘、夹持环、安装座构成滤光片镀膜用旋转机构,通过启动真空镀膜箱上安装的减速电机,促使减速电机输出端带动轴杆转动,进而轴杆带动固定于其表面的安装座转动,使得两个承载盘关于轴杆的轴心线旋转,直至承载盘的夹持环上的夹持的滤光片与真空镀膜箱内充斥的蒸发材料充分接触,实现滤光片的均匀镀膜,相较于现有居中旋转式镀膜结构,通过扩大滤光片在真空镀膜箱内部的旋转范围以达到与蒸发材料充分接触的目的,从而有效提升滤光片镀膜均匀度和效率,同时,通过贯通承载盘焊接的夹持环,以及采用固定壳、连接杆、支撑环、弹簧和圆弧夹具构成的夹持结构,配合夹持环内设置的支撑块,能够多滤光片进行快速、可靠的夹持,并有利于蒸发材料与滤光片的充分接触。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种滤光片真空镀膜装置,包括真空镀膜箱(1)和储气室(2),其特征在于:所述真空镀膜箱(1)的外壁一体设置有储气室(2),且储气室(2)和真空镀膜箱(1)之间通过管道连接有真空泵,所述真空镀膜箱(1)的一端通过螺栓(11)固定安装有减速电机(3),且减速电机(3)输出端贯穿真空镀膜箱(1)固定连接有轴杆(4),所述轴杆(4)的上方和下方均设置有承载盘(5),且承载盘(5)的两端均焊接有安装座(7),所述安装座(7)的底部对应轴杆(4)开设半圆槽(8),且半圆槽(8)内开设有凹槽(12),所述轴杆(4)的表面对应安装座(7)焊接有凸柱(9),且凸柱(9)伸入半圆槽(8)与凹槽(12)插接,两个所述承载盘(5)的安装座(7)上均焊接有固定耳(10),且固定耳(10)上穿插设置有螺栓(11),所述承载盘(5)的表面焊接有夹持环(6),且夹持环(6)内侧弹性连接有圆弧夹具(13)。

2.根据权利要求1所述的一种滤光片真空镀膜装置,其特征在于:所述夹持环(6)的侧面焊接有固定壳(15),且固定壳(15)内穿插设置有连接杆(16),所述连接杆(16)的表面焊接有支撑环(17),且支撑环(17)一侧设置有弹簧(18),所述弹簧(18)套设安装于连接杆(16)的表面,且弹簧(18)的两端分别与固定壳(15)内壁以及支撑环(17)相抵,所述连接杆(16)延伸至夹持环(6)内圈的部分与圆弧夹具(13)固定连接,所述夹持环(6)的内圈焊接有支撑块(14),所述承载盘(5)的表面对应夹持环(6)开设贯穿孔。

3.根据权利要求2所述的一种滤光片真空镀膜装置,其特征在于:所述承载盘(5)上环绕设置多个夹持环(6),且每个夹持环(6)上均设置有两个圆弧夹具(13)以及固定壳(15)。

4.根据权利要求1所述的一种滤光片真空镀膜装置,其特征在于:所述半圆槽(8)的内径与轴杆(4)截面的直径相适配,所述轴杆(4)上焊接的凸柱(9)与半圆槽(8)内开设的凹槽(12)相适配。

5.根据权利要求2所述的一种滤光片真空镀膜装置,其特征在于:所述连接杆(16)远离圆弧夹具(13)的一端延伸至固定壳(15)外侧,所述夹持环(6)的侧面对应连接杆(16)开设让位孔。

6.根据权利要求2所述的一种滤光片真空镀膜装置,其特征在于:所述夹持环(6)内圈焊接有两个支撑块(14),且两个支撑块(14)均为镂空的梯形结构。

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【技术特征摘要】

1.一种滤光片真空镀膜装置,包括真空镀膜箱(1)和储气室(2),其特征在于:所述真空镀膜箱(1)的外壁一体设置有储气室(2),且储气室(2)和真空镀膜箱(1)之间通过管道连接有真空泵,所述真空镀膜箱(1)的一端通过螺栓(11)固定安装有减速电机(3),且减速电机(3)输出端贯穿真空镀膜箱(1)固定连接有轴杆(4),所述轴杆(4)的上方和下方均设置有承载盘(5),且承载盘(5)的两端均焊接有安装座(7),所述安装座(7)的底部对应轴杆(4)开设半圆槽(8),且半圆槽(8)内开设有凹槽(12),所述轴杆(4)的表面对应安装座(7)焊接有凸柱(9),且凸柱(9)伸入半圆槽(8)与凹槽(12)插接,两个所述承载盘(5)的安装座(7)上均焊接有固定耳(10),且固定耳(10)上穿插设置有螺栓(11),所述承载盘(5)的表面焊接有夹持环(6),且夹持环(6)内侧弹性连接有圆弧夹具(13)。

2.根据权利要求1所述的一种滤光片真空镀膜装置,其特征在于:所述夹持环(6)的侧面焊接有固定壳(15),且固定壳(15)内穿插设置有连接杆(16),所述连接杆(16)的表面焊接有支撑环(17),且支撑环(17)一侧设置有弹簧(18...

【专利技术属性】
技术研发人员:喻计祥张丽丽漆江波
申请(专利权)人:萍乡市鑫立慧光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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