【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及天车控制，尤其涉及一种天车漫游控制方法、装置、电子设备和存储介质。
技术介绍
1、在半导体制造中，晶圆片需要在不同的工艺设备之间搬送进行工艺处理，为提高搬送效率，优化产能，自动物料搬运系统被广泛应用在半导体制造行业中。其中，天车作为一种在高架轨道上滑行的搬送设备，被广泛应用于半导体制造工厂中foup（front openunified pod，即晶圆盒）的搬送任务。
2、当晶圆盒需要运输到下一个设备从而发起晶圆盒搬送请求时，天车控制系统通常会分配一个离起始点最近的空闲天车来执行该搬送请求对应的搬送任务。因此，为了提升搬送任务的执行效率，可以将空闲天车设置为漫游状态，使其在预设的漫游路径上匀速移动，使得当出现新的搬送请求时能就近调度到空闲天车，缩短天车前往起始点的时间成本。
3、然而，在为空闲天车设定漫游路径中，一种方式是控制空闲天车在某些固定的漫游路径上环绕，但这种最难过方式难以适应不断变化的系统环境，当各区域搬送任务的密度发生变化时，固定的漫游路径难以满足变化后的搬送任务需求，且天车的漫游行为对工作状态的天车产生的干扰将很难避免。另一种方式是通过蚁群算法等智能算法根据任务需求动态确定漫游路径，可以适应不断变化的任务需求，但是该方法的计算复杂度较高、效率较低，在计算资源有限（有限的资源将倾向于应用在搬送路径规划以及天车状态监控上）或者实时性要求较高的场景下该方案难以满足其要求，更重要的是，该方案也未考虑天车的漫游行为对工作状态的天车产生的干扰问题，从而有可能影响正常工作的天车的搬送效率。p>
技术实现思路
1、本专利技术提供一种天车漫游控制方法、装置、电子设备和存储介质，用以解决现有技术中效率低且易对天车的搬运工作产生干扰的缺陷。
2、本专利技术提供一种天车漫游控制方法，包括：
3、基于当前天车系统中的工作站点，确定若干个漫游中心；
4、基于所述当前天车系统的轨道地图，确定各个漫游中心对应的候选环路；其中，任一漫游中心对应的候选环路为经过所述任一漫游中心且避开其它漫游中心的环路；
5、针对任一漫游中心，确定空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长以及确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，基于空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长以及所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的综合评分，并选择综合评分最低的候选环路作为所述任一漫游中心的漫游环路；
6、控制各个漫游中心的漫游环路上的空闲天车在相应漫游环路上漫游。
7、根据本专利技术提供的一种天车漫游控制方法，所述确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，具体包括：
8、获取各个处于工作状态的天车的规划路径；
9、针对所述任一漫游中心对应的任一候选环路，计算所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间的重合路段以及各个重合路段的重合次数；
10、基于所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间重合路段的重合次数，确定所述任一候选环路的影响力分值。
11、根据本专利技术提供的一种天车漫游控制方法，所述基于所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间重合路段的重合次数，确定所述任一候选环路的影响力分值，具体包括：
12、基于所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间任一重合路段的类型分数以及所述任一重合路段的通行状态分数，确定所述任一重合路段的单一影响力分数；
13、基于所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间各个重合路段的重合次数以及单一影响力分数，确定所述任一候选环路的影响力分值。
14、根据本专利技术提供的一种天车漫游控制方法，所述确定空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长，具体包括：
15、针对所述任一漫游中心对应的任一候选环路，获取所述任一候选环路的时序数据；所述任一候选环路的时序数据包括所述任一候选环路上从起始轨道段到终点轨道段的各个轨道段的长度、轨道类型以及历史通行数据；
16、将所述任一候选环路的时序数据输入至预先训练的时间预估模型，得到所述时间预估模型输出的空闲天车在所述任一候选环路上的绕行时长；
17、其中，所述时间预估模型是基于样本环路的样本时序数据以及空闲天车在所述样本环路上的实际绕行时长训练得到的。
18、根据本专利技术提供的一种天车漫游控制方法，所述时间预估模型是基于如下步骤训练得到的：
19、将任一样本环路的样本时序数据输入至初始预估模型，得到所述初始预估模型输出的空闲天车在所述样本环路上的绕行时长；
20、基于所述初始预估模型输出的空闲天车在各个样本环路上的绕行时长与空闲天车在相应样本环路上的实际绕行时长之间的差异，计算模型预测损失；
21、基于所述模型预测损失调整所述初始预估模型的模型参数，得到所述时间预估模型。
22、根据本专利技术提供的一种天车漫游控制方法，所述基于当前天车系统中的工作站点，确定若干个漫游中心，具体包括：
23、获取每个工作站点在每个统计时间段内对应的各个晶圆搬运任务的任务优先级；
24、针对任一工作站点，基于所述任一工作站点在每个统计时间段内对应的各个晶圆搬运任务的任务优先级，确定所述任一工作站点在每个统计时间段对应各个任务优先级的任务数量；确定所述任一工作站点在每个统计时间段对应任一任务优先级的任务数量的中位数，作为所述任一工作站点对应所述任一任务优先级的基准任务数量；基于所述任一工作站点对应各个任务优先级的基准任务数量，确定所述任一工作站点的重要程度；
25、基于各个工作站点的重要程度，确定若干个漫游中心。
26、本专利技术还提供一种天车漫游控制装置，包括：
27、漫游中心确定单元，用于基于当前天车系统中的工作站点，确定若干个漫游中心；
28、候选环路确定单元，用于基于所述当前天车系统的轨道地图，确定各个漫游中心对应的候选环路；其中，任一漫游中心对应的候选环路为经过所述任一漫游中心且避开其它漫游中心的环路；
29、漫游环路确定单元，用于针对任一漫游中心，确定空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长以及确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，基于空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长以及所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的综合评分，并选择综合评分最低的候选环路作为所述任一漫游中心的漫游环路；
30、漫游单元，用于控制各个漫游中心的漫游环路上的空闲天车在相应漫游环路上漫游。
31、根据本专利技术提供的一种天车漫游控制装置，所述确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，具体包括：
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1.一种天车漫游控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，具体包括：
3.根据权利要求2所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述基于所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间重合路段的重合次数，确定所述任一候选环路的影响力分值，具体包括：
4.根据权利要求1所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述确定空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长，具体包括：
5.根据权利要求4所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述时间预估模型是基于如下步骤训练得到的：
6.根据权利要求1至5任一项所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述基于当前天车系统中的工作站点，确定若干个漫游中心，具体包括：
7.一种天车漫游控制装置，其特征在于，包括：
8.根据权利要求7所述的天车漫游控制装置，其特征在于，所述确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，具体包括：
9.一种电子设备，包
10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至6任一项所述天车漫游控制方法。
...【技术特征摘要】
1.一种天车漫游控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，具体包括：
3.根据权利要求2所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述基于所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间重合路段的重合次数，确定所述任一候选环路的影响力分值，具体包括：
4.根据权利要求1所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述确定空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长，具体包括：
5.根据权利要求4所述的天车漫游控制方法，其特征在于，所述时间预估模型是基于如下步骤训练得到的：
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞骥，余君山，贾绍锋，
申请(专利权)人：华芯嘉兴智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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