【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学镜，具体涉及光学镜的检测固定工装及其固定方法。
技术介绍
1、随着科学技术的日益发展，光学技术作为高新技术在集成电路与航空航天上得到了广泛的应用。对于光学系统，超高精度的棱镜在零位走动量、相位翻转、减少光程差、压缩光学镜头体积等诸多方面具有重要作用，高要求光学系统对于超高精度棱镜具有更加迫切的需求。
2、自参考棱镜作为超高精度棱镜的一种，是光刻机内部校准的核心零部件，由于其光学面具有较高的光洁度与面型要求，且镀有多层宽波段减反射膜。所以，使用激光干涉仪检测时，放在传统根据棱镜形状设计的夹具中，容易对光学面造成污染，并且检测过程中，由于传统的夹具仅可以实现棱镜的承托支撑，对光学面的约束面较少，容易发生棱镜的棱边与棱角破碎等质量问题。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种自参考棱镜的检测固定工装及其安装固定方法，已解决上述至少一个技术问题。
2、本专利技术的技术方案是：一种自参考棱镜的检测固定工装，所述自参考棱镜是一八面体，所述自参考棱镜包括呈六边形的底面、顶面以及六个光学面，六个光学面分别连接底面的六个边，六个光学面位于所述顶面与所述底面之间；所述六个光学面包括顺序连接的第一光学面、第二光学面、第三光学面、第四光学面、第五光学面以及第六光学面；所述第二光学面以及所述第六光学面相互平行，其特征在于，包括一镜体固定组件，所述镜体固定组件包括底座、底部靠板与侧边靠板；
3、所述底座的顶部开设有倾斜设置的斜面，所述
4、所述底部靠板上固定有两个相对设置的侧边挡板以及限位凸起，所述侧边挡板上螺纹连接有至少两个尼龙螺栓，两个所述侧边挡板分别位于第二光学面以及第六光学面的外围，所述限位凸起用于抵住第四光学面；
5、所述底部靠板的斜下方可拆卸连接有所述侧边靠板，所述侧边靠板位于所述第一光学面、第三光学面或者第五光学面的外侧，且所述侧边靠板上设置有用于抵住所述顶面的限位部；
6、还包括一用于三维位置调节的调平底座，所述调平底座的顶部可拆卸连接有所述底座。
7、本专利技术通过优化检测固定工装，便于实现了同一个底部靠板，切换不同的底座以及侧边靠板即可实现不同检测面的更换检测。
8、本专利技术通过底部靠板与侧边靠板的配合，实现了棱镜多维度的位移限制。避免了传统由于缺少对光学面的约束，容易使棱镜的棱边与棱角发生破碎等质量问题。
9、通过调平底座，配合上底座与背部靠板的连接面倾斜的一定角度，从而容易实现检测面的调平,具有一定的简便性。
10、进一步优选的，当需要切换检测面为第一光学面、第三光学面或者第五光学面时，切换对应斜面的底座以及对应的侧边靠板；
11、当所述第一光学面为检测面时，所述侧边靠板可拆卸安装在所述第三光学面或者所述第五光学面的外侧；
12、当所述第三光学面或者第五光学面为检测面时，所述侧边靠板可拆卸安装在所述第一光学面的外侧。
13、进一步优选的，所述侧边靠板包括顺序连接的安装部、倾斜部以及所述限位部；
14、所述安装部与所述倾斜部之间的夹角为钝角，所述倾斜部与所述限位部之间的夹角为钝角；
15、所述安装部可拆卸安装在所述底部靠板的外侧。
16、实现下托支撑。
17、进一步优选的，所述限位部是等腰梯形。
18、进一步优选的，所述倾斜部与所述自参考棱镜邻近的光学面之间存有间隙。
19、进一步优选的，所述底部靠板远离所述斜面的一侧的中央开设有内凹的避让槽，所述限位凸起位于所述避让槽的外围。
20、通过避让槽覆盖通光口径范围，对避免棱镜处于中央区域的通光口径范围的污染。
21、进一步优选的，所述侧边挡板厚度方向上的一侧面与所述底部靠板的侧壁齐平；
22、所述侧边挡板厚度方向上的另一侧面开设有缺口，且所述缺口位于所述导向侧板远离所述斜面的区域。
23、进一步优选的，所述底部靠板的横截面呈一轴对称的六边形；
24、所述六边形包括顺序连接的第一边、第二边、第三边、第四边、第五边以及第六边；
25、所述第二边以及所述第六边相互平行；
26、所述导向侧板固定在邻近所述第二边的区域以及邻近所述第六边的区域；
27、所述限位凸起固定在邻近所述第四边的区域；
28、所述底部靠板位于所述第一边、第三边以及第五边所处的侧壁上均开设有可拆卸连接所述侧边靠板的螺纹孔。
29、进一步优选的，所述调平平台是三维调节平台。
30、所述自参考棱镜的检测固定工装的安装固定方法，其特征在于，包括如下步骤：
31、步骤一，根据需要检测的光学面，选择对应斜面斜率的底座，将底部靠板安装在底座上；
32、步骤二，根据需要检测的光学面，选择棱镜的摆放位置，限位凸起限制自参考棱镜中一个面的位移；
33、同时，侧板挡板邻近斜面侧接触自参考棱镜，防止棱镜两个面的移动，同时，侧板挡板远离斜面侧不直接接触自参考棱镜；
34、步骤三，在底部靠板的斜下方的位置，根据棱镜的检测面，选择安装合适的侧边靠板，安装在底部靠板上，对自参考棱镜进行限位；
35、步骤四，将尼龙螺栓安装在侧板挡板上，尼龙螺栓拧的时候与自参考棱镜的光学面留有空隙；
36、步骤五，调节调平底座将检测的光学面调整为水平面。
37、进一步优选的，当所述第一光学面为检测面时，步骤三中，所述侧边靠板可拆卸安装在所述第三光学面或者所述第五光学面的外侧；
38、当所述第三光学面或者第五光学面为检测面时，步骤三中，所述侧边靠板可拆卸安装在所述第一光学面的外侧。
39、相比于现有技术，本专利技术的有益效果：
40、1)本专利技术通过底部靠板与侧边靠板的配合，实现了棱镜6个方向的位移限制。避免了传统由于缺少对光学面的约束，容易使棱镜的棱边与棱角发生破碎等质量问题。
41、2)棱镜的光学面并没有直接接触工装，从而避免了光学面污染，因此，大大的减少了检测过程中，可能带来的风险性。
42、3)底部安装三维位移台，配合上底座与背部靠板的连接面倾斜的一定角度，从而容易实现检测面的调平,具有一定的简便性。
43、4)工装可以同时检测不同的检测面，相较与传统工装具有一定的经济性。
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1.一种自参考棱镜的检测固定工装，所述自参考棱镜是一八面体，所述自参考棱镜包括呈六边形的底面、顶面以及六个光学面，六个光学面分别连接底面的六个边，六个光学面位于所述顶面与所述底面之间；所述六个光学面包括顺序连接的第一光学面、第二光学面、第三光学面、第四光学面、第五光学面以及第六光学面；所述第二光学面以及所述第六光学面相互平行，其特征在于，包括一镜体固定组件，所述镜体固定组件包括底座、底部靠板与侧边靠板；
2.根据权利要求1所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：当需要切换检测面为第一光学面、第三光学面或者第五光学面时，切换对应斜面的底座以及对应的侧边靠板；
3.根据权利要求1所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：所述侧边靠板包括顺序连接的安装部、倾斜部以及所述限位部；
4.根据权利要求3所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：所述限位部是等腰梯形。
5.根据权利要求3所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：所述倾斜部与所述自参考棱镜邻近的光学面之间存有间隙。
6.根据权利要求1所述的一种
7.根据权利要求1所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：所述侧边挡板厚度方向上的一侧面与所述底部靠板的侧壁齐平；
8.根据权利要求1所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：所述底部靠板的横截面呈一轴对称的六边形；
9.根据权利要求1所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：所述调平平台是三维调节平台。
10.根据权利要求1至9中任意一项所述的一种自参考棱镜的检测固定工装的安装固定方法，其特征在于，包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种自参考棱镜的检测固定工装，所述自参考棱镜是一八面体，所述自参考棱镜包括呈六边形的底面、顶面以及六个光学面，六个光学面分别连接底面的六个边，六个光学面位于所述顶面与所述底面之间；所述六个光学面包括顺序连接的第一光学面、第二光学面、第三光学面、第四光学面、第五光学面以及第六光学面；所述第二光学面以及所述第六光学面相互平行，其特征在于，包括一镜体固定组件，所述镜体固定组件包括底座、底部靠板与侧边靠板；
2.根据权利要求1所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：当需要切换检测面为第一光学面、第三光学面或者第五光学面时，切换对应斜面的底座以及对应的侧边靠板；
3.根据权利要求1所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：所述侧边靠板包括顺序连接的安装部、倾斜部以及所述限位部；
4.根据权利要求3所述的一种自参考棱镜的检测固定工装，其特征在于：所述限位...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆松浩，蒋权泉，徐松，
申请(专利权)人：上海现代先进超精密制造中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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