【技术实现步骤摘要】
本技术涉及抛光，尤其涉及一种用于超光滑表面确定性加工的抛光工具。
技术介绍
1、随着具有超光滑表面特征的超高精度光学元件在光电成像、航空航天和现代医疗领域的应用日益广泛，对高精度、高效率和低成本的超光滑表面光学元件制造技术的需求日益急迫，基于此，传统用于研磨和抛光单个光学元件的制造技术逐步被可实现大批量制造的模压技术所替代。
2、在光学元件的模压过程中，光学元件的表面质量和精度取决于模具的表面质量和精度，因此，超光滑表面模具是超高精度光学元件大批量模压技术中的核心与关键。受加工精度、尺寸、效率和成本的限制，目前多采用计算机控制子口径抛光工具的运动状态，进而把控微观尺度上游离磨料的运动状态，以实现超高精度模具的确定性加工。
3、目前，传统的子口径抛光工具由经过精密车磨的抛光头基体和抛光布组成，使用时抛光布被手动包裹在抛光头上并扎紧，在抛光头基体的作用下带动游离磨料来实现确定性加工。针对小尺寸子口径抛光工具的手动修整本就十分困难，同时，由于抛光布极易在加工过程中损坏，因而，在一次加工过程中往往需要操作人员多次手动更换抛光布。此外，初始形状为连续二维平面的抛光布与形状为连续三维立体曲面的抛光头之间存在曲率误差，导致抛光布在包裹过程中会在抛光头基体末端出现褶皱，使得去除函数出现急剧变化，进而对加工过程造成严重的负面影响，因此，针对传统的子口径抛光工具，往往需要对抛光布与抛光头基体的吻合状态进行反复尝试。
4、可见，传统的子口径抛光工具，极易损耗更换，且更换过程复杂、耗时耗力，在极大依赖操作人员经验和技
5、因此，需要提供一种用于超光滑表面确定性加工的抛光工具，以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、针对现有的超光滑表面确定性加工中传统子口径抛光工具易损耗更换、更换过程复杂、加工精度和效率低的问题，本技术提供了一种抛光工具，以解决或至少缓解上面存在的问题。
2、根据本技术的一个方面，提供了一种抛光工具，包括：抛光头基体；抛光套，适于套设在所述抛光头基体上，并适于与所述抛光头基体固定连接；压紧垫圈，适于穿过所述抛光套，并适于与所述抛光套和所述抛光头基体固定连接。
3、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述抛光头基体包括：基体头部，具有第一连续三维立体曲面；第一柱体，由所述基体头部沿轴向延伸形成；第一连接部，由所述第一柱体靠近所述基体头部的一端沿径向延伸形成；其中，所述抛光套适于套设在所述抛光头基体的基体头部。
4、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述抛光套具有第二连续三维立体曲面，所述第二连续三维立体曲面适于与所述基体头部的第一连续三维立体曲面相互吻合，以便所述抛光套与所述抛光头基体的基体头部紧密贴合。
5、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述抛光套的端部沿径向延伸形成有第二连接部；当所述抛光套套设在所述抛光头基体的基体头部时，所述第二连接部与所述第一连接部相互贴合；所述压紧垫圈适于穿过所述抛光套并与所述第二连接部相互贴合。
6、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述抛光头基体、抛光套、压紧垫圈适于通过螺钉固定连接。
7、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述抛光头基体的第一连接部沿轴向贯通设有多个第一开孔；所述抛光套的第二连接部沿轴向贯通设有多个第二开孔，多个第二开孔适于分别与多个第一开孔对准；所述压紧垫圈沿轴向贯通设有多个第三开孔，多个第三开孔适于分别与多个第二开孔对准；所述抛光工具包括多个螺钉，每个所述螺钉分别适于穿过一个所述第一开孔、第二开孔和第三开孔并拧紧固定，以使所述抛光头基体、抛光套、压紧垫圈固定连接。
8、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述第一开孔、所述第二开孔、所述第三开孔、所述螺钉的数量均为3个。
9、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述抛光套适于与所述抛光头基体紧密贴合；所述压紧垫圈适于与所述抛光套紧密贴合。
10、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述抛光头基体、抛光套、压紧垫圈适于同轴固定连接。
11、可选地，在根据本技术的抛光工具中，所述抛光套为聚氨酯抛光套。
12、根据本技术的技术方案，提供了一种抛光工具，包括抛光头基体、抛光套以及压紧垫圈，抛光套可以套设在抛光头基体上，并可以与抛光头基体固定连接。压紧垫圈可以穿过抛光套，并与抛光套和抛光头基体固定连接。具体地，抛光头基体、抛光套、压紧垫圈三者可以通过螺钉固定连接。这样，基于压紧垫圈和螺钉可以将抛光套与抛光头基体相互配合地稳定固定在一起。在利用本技术的抛光工具对超光滑表面进行确定性加工过程中，聚氨酯抛光套可以在抛光头基体的带动下，带动游离磨料运动，当聚氨酯抛光套磨损较大而需要更换时，只需依次拆下螺钉与压紧垫圈，即可将磨损的聚氨酯抛光套从抛光头基体上取下，之后可以将新的聚氨酯抛光套在抛光头基体上，再依次安装压紧垫圈和螺钉，便能轻松完成聚氨酯抛光套的更换。可见，根据本技术的抛光工具，对聚氨酯抛光套的更换过程简单高效，降低了更换工具所需的时间和人力成本。
13、进一步地，抛光套的第二连续三维立体曲面可以与抛光头基体的第一连续三维立体曲面相互高度吻合，这样，抛光套套设在抛光头基体的基体头部时，使得抛光套能够与抛光头基体的基体头部紧密贴合，避免了出现因曲率误差导致的褶皱，增强了加工过程中去除函数的稳定性，提高了加工精度和效率。
14、此外，抛光套为聚氨酯抛光套，聚氨酯材料强度大，使用寿命长，从而无需对抛光工具频繁进行更换，尽可能降低了工具的安装误差和更换时间。并且，聚氨酯抛光套为标准预制件，更换过程简单快捷，对操作人员的经验和技术要求不高，进一步降低了更换工具所需的时间与人力成本。抛光头基体的尺寸无明显限制，可无缝适用于所有使用传统子口径抛光工具的超精密加工设备。
15、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本技术的具体实施方式。
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1.一种抛光工具，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的抛光工具，其特征在于，所述抛光头基体包括：
3.如权利要求2所述的抛光工具，其特征在于，
4.如权利要求2或3所述的抛光工具，其特征在于，
5.如权利要求1-3中任一项所述的抛光工具，其特征在于，
6.如权利要求4所述的抛光工具，其特征在于，
7.如权利要求6所述的抛光工具，其特征在于，
8.如权利要求1-3中任一项所述的抛光工具，其特征在于，
9.如权利要求1-3中任一项所述的抛光工具，其特征在于，
10.如权利要求1-3中任一项所述的抛光工具，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种抛光工具，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的抛光工具，其特征在于，所述抛光头基体包括：
3.如权利要求2所述的抛光工具，其特征在于，
4.如权利要求2或3所述的抛光工具，其特征在于，
5.如权利要求1-3中任一项所述的抛光工具，其特征在于，
【专利技术属性】
技术研发人员：尹韶辉，康宁，周仁宸，郭曦鹏，王定文，
申请(专利权)人：无锡市锡山区半导体先进制造创新中心，
类型：新型
国别省市：
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