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钨丝开方环线结构及应用其的开方机的切割方法技术

技术编号:42465391 阅读:10 留言:0更新日期:2024-08-21 12:52
本发明专利技术属于单晶硅加工技术领域,尤其涉及一种钨丝开方环线结构及应用其的开方机的切割方法,包括支撑壳体,支撑壳体内设有四个支撑柱,四个支撑柱上均安装有三角钨丝支架,钨丝环绕在四个三角钨丝支架和调节部件上,形成两个横位钨丝和两个纵位钨丝,支撑柱与三角钨丝支架连接处设有喷液部件,三角钨丝支架上安装有驱动部件,驱动部件带动钨丝在四个三角钨丝支架上转动,启动驱动部件,带动钨丝在四个三角钨丝支架上转动,单晶硅棒接触转动中的两个横位钨丝和两个纵位钨丝,被两个横位钨丝和两个纵位钨丝切割形成方形的单晶硅棒,相比较传统工艺对单晶硅棒四面分别切割,本结构可四面同时切割,对单晶硅棒开方方便快捷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于单晶硅加工,尤其涉及一种钨丝开方环线结构及应用其的开方机的切割方法


技术介绍

1、传统设备对单晶硅开方需要分别对单晶硅四个边缘进行切割,开方效率低,浪费时间;

2、如专利申请号为cn202220234039.x单晶硅开方机构,包括转运机构及转运机构旁侧具有单晶硅棒夹持机构,转运机构包括滑台及用于夹持单晶硅的转运夹爪,单晶硅棒夹持机构的上方设置有移动切割架,移动切割架的内侧具有线切割装置,线切割装置包括主动轮、张紧轮及绕于两者外部的切割线,移动切割架由切割架驱动装置驱动上下移动,但是该技术方案的缺点是移动切割架需要分别对单晶硅四个边缘进行切割,开方效率低。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种钨丝开方环线结构及应用其的开方机的切割方法,以解决现有技术中的问题,具体技术方案如下:

2、钨丝开方环线结构,包括支撑壳体,支撑壳体内设有四个支撑柱,四个支撑柱上均安装有三角钨丝支架,钨丝环绕在四个三角钨丝支架和调节部件上,形成两个横位钨丝和两个纵位钨丝,支撑柱与三角钨丝支架连接处设有喷液部件,三角钨丝支架上安装有驱动部件,驱动部件带动钨丝在四个三角钨丝支架上转动;

3、进一步,所述支撑壳体一侧设有入口,支撑壳体另一侧设有出口,支撑壳体侧壁上设有滑槽,支撑柱滑动在滑槽内;

4、进一步,相邻两个所述支撑柱之间设有转杆一和转杆二,一个支撑柱上固定有固定架一,滑动连接有滑架一,另一个支撑柱上固定有固定架二,滑动连接有滑架二,转杆一两端分别铰接连接在滑架一和固定架二上,转杆二两端分别铰接连接在固定架一和滑架二上,滑架二上固定有连接杆一,滑架一上固定有连接杆二,连接杆一与连接杆二滑动连接。

5、进一步,所述连接杆一与连接杆二通过转柱转动连接,转柱与滑轮支杆一固定连接,滑轮支杆一端部转动连接有滑轮一,滑轮支杆一与滑轮支杆二滑动连接,滑轮支杆二端部固定转动连接有滑轮二,滑轮支杆二与连接杆二滑动连接。

6、进一步,所述支撑柱上近出口端固定有三角钨丝支架,三角钨丝支架上转动连接有纵轮一、纵轮二,三角钨丝支架上固定有两个横轮支柱一,两个横轮支柱一上分别转动连接有横轮一和横轮二,横轮支柱一上转动连接有挡板一,三角钨丝支架上转动连接有多个转轮,多个转轮外侧传动配合连接有转带,纵轮一、纵轮二、横轮一、转带和横轮二均与钨丝转动连接,支撑柱与三角钨丝支架连接处设有固定槽。

7、进一步,所述驱动部件包括电机一和主动轮,电机一固定在三角钨丝支架上,电机一输出端与主动轮连接,主动轮转动在三角钨丝支架内,主动轮与钨丝转动配合连接。

8、进一步,所述调节部件包括电机二,电机二固定在支撑壳体侧面,电机二输出端连接有螺杆,螺杆与移动杆螺纹连接,移动杆固定在滑轮支杆二上,螺杆与固定杆转动连接,固定杆固定在支撑壳体侧面,固定杆上滑动连接有滑管,固定杆与滑管之间设有弹簧一,滑管内固定有弹性卡位片,弹性卡位片前端与滑管内壁之间设有弹簧二,固定杆与棘轮转动连接,棘轮与弹性卡位片卡接连接。

9、进一步,所述棘轮与拉紧杆固定连接,拉紧杆两侧转动连接有纵轮三和纵轮四,拉紧杆侧面固定有两个横轮支柱二,两个横轮支柱二上分别转动连接有、横轮三和横轮四,两个横轮支柱二上均转动连接有挡板二,滑管上固定有拉杆。

10、进一步,所述喷液部件包括多个硬质管和多个伸缩管,多个硬质管和多个伸缩管拼接成环管,硬质管上固定有喷液管,喷液管内转动连接有球阀,喷液管固定在固定槽内,伸缩管侧面设有进液管,进液管与两个分液管固定连接,两个分液管均固定在伸缩管内。

11、应用上述任一项所述的钨丝开方环线结构的开方机的切割方法,包括以下步骤:

12、s1.将单晶硅棒从入口插入支撑壳体内,单晶硅棒位于四个支撑柱中间并向前移动;

13、s2.启动驱动部件,钨丝在四个三角钨丝支架和调节部件上转动,单晶硅棒继续向前移动,两个横位钨丝和两个纵位钨丝对单晶硅棒切割开方;

14、s3.喷液部件对单晶硅棒切割开方部位喷射冷却液。

15、本专利技术的优点在于:

16、1.钨丝缠绕在四个支撑柱上,形成两个横位钨丝和两个纵位钨丝,将单晶硅棒插入支撑壳体内,单晶硅棒位于四个支撑柱中间,并向前移动,启动驱动部件,带动钨丝在四个三角钨丝支架上转动,单晶硅棒接触转动中的两个横位钨丝和两个纵位钨丝,被两个横位钨丝和两个纵位钨丝切割形成方形的单晶硅棒,相比较传统工艺对单晶硅棒四面分别切割,本结构可四面同时切割,对单晶硅棒开方方便快捷。

17、2.通过调节部件调节两个横位钨丝之间的距离和两个纵位钨丝的距离,进而可以改变开方的大小尺寸。

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【技术保护点】

1.钨丝开方环线结构,其特征在于,包括支撑壳体(1),支撑壳体(1)内设有四个支撑柱(4),四个支撑柱(4)上均安装有三角钨丝支架(19),钨丝环绕在四个三角钨丝支架(19)和调节部件上,形成两个横位钨丝(30)和两个纵位钨丝(31),支撑柱(4)与三角钨丝支架(19)连接处设有喷液部件,三角钨丝支架(19)上安装有驱动部件,驱动部件带动钨丝在四个三角钨丝支架(19)上转动。

2.根据权利要求1所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述支撑壳体(1)一侧设有入口(2),支撑壳体(1)另一侧设有出口(3),支撑壳体(1)侧壁上设有滑槽(5),支撑柱(4)滑动在滑槽(5)内。

3.根据权利要求2所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,相邻两个所述支撑柱(4)之间设有转杆一(8)和转杆二(9),一个支撑柱(4)上固定有固定架一(7),滑动连接有滑架一(6),另一个支撑柱(4)上固定有固定架二(11),滑动连接有滑架二(10),转杆一(8)两端分别铰接连接在滑架一(6)和固定架二(11)上,转杆二(9)两端分别铰接连接在固定架一(7)和滑架二(10)上,滑架二(10)上固定有连接杆一(12),滑架一(6)上固定有连接杆二(13),连接杆一(12)与连接杆二(13)滑动连接。

4.根据权利要求3所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述连接杆一(12)与连接杆二(13)通过转柱(14)转动连接,转柱(14)与滑轮支杆一(15)固定连接,滑轮支杆一(15)端部转动连接有滑轮一(16),滑轮支杆一(15)与滑轮支杆二(17)滑动连接,滑轮支杆二(17)端部固定转动连接有滑轮二(18),滑轮支杆二(17)与连接杆二(13)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述支撑柱(4)上近出口(3)端固定有三角钨丝支架(19),三角钨丝支架(19)上转动连接有纵轮一(20)、纵轮二(21),三角钨丝支架(19)上固定有两个横轮支柱一(27),两个横轮支柱一(27)上分别转动连接有横轮一(22)和横轮二(26),横轮支柱一(27)上转动连接有挡板一(23)。

6.根据权利要求5所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述三角钨丝支架(19)上转动连接有多个转轮(25),多个转轮(25)外侧传动配合连接有转带(24),纵轮一(20)、纵轮二(21)、横轮一(22)、转带(24)和横轮二(26)均与钨丝转动连接,支撑柱(4)与三角钨丝支架(19)连接处设有固定槽(56)。

7.根据权利要求6所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述驱动部件包括电机一(28)和主动轮(29),电机一(28)固定在三角钨丝支架(19)上,电机一(28)输出端与主动轮(29)连接,主动轮(29)转动在三角钨丝支架(19)内,主动轮(29)与钨丝转动配合连接。

8.根据权利要求7所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述调节部件包括电机二(33),电机二(33)固定在支撑壳体(1)侧面,电机二(33)输出端连接有螺杆(34),螺杆(34)与移动杆(35)螺纹连接,移动杆(35)固定在滑轮支杆二(17)上,螺杆(34)与固定杆(36)转动连接,固定杆(36)固定在支撑壳体(1)侧面,固定杆(36)上滑动连接有滑管(37),固定杆(36)与滑管(37)之间设有弹簧一(38),滑管(37)内固定有弹性卡位片(42),弹性卡位片(42)前端与滑管(37)内壁之间设有弹簧二(43),固定杆(36)与棘轮(41)转动连接,棘轮(41)与弹性卡位片(42)卡接连接。

9.根据权利要求8所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述棘轮(41)与拉紧杆(40)固定连接,拉紧杆(40)两侧转动连接有纵轮三(44)和纵轮四(45),拉紧杆(40)侧面固定有两个横轮支柱二(47),两个横轮支柱二(47)上分别转动连接有、横轮三(46)和横轮四(48),两个横轮支柱二(47)上均转动连接有挡板二(49),滑管(37)上固定有拉杆(39)。

10.应用权利要求1-9任一项所述的钨丝开方环线结构的开方机的切割方法,其特征在于,包括以下步骤:

...

【技术特征摘要】

1.钨丝开方环线结构,其特征在于,包括支撑壳体(1),支撑壳体(1)内设有四个支撑柱(4),四个支撑柱(4)上均安装有三角钨丝支架(19),钨丝环绕在四个三角钨丝支架(19)和调节部件上,形成两个横位钨丝(30)和两个纵位钨丝(31),支撑柱(4)与三角钨丝支架(19)连接处设有喷液部件,三角钨丝支架(19)上安装有驱动部件,驱动部件带动钨丝在四个三角钨丝支架(19)上转动。

2.根据权利要求1所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述支撑壳体(1)一侧设有入口(2),支撑壳体(1)另一侧设有出口(3),支撑壳体(1)侧壁上设有滑槽(5),支撑柱(4)滑动在滑槽(5)内。

3.根据权利要求2所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,相邻两个所述支撑柱(4)之间设有转杆一(8)和转杆二(9),一个支撑柱(4)上固定有固定架一(7),滑动连接有滑架一(6),另一个支撑柱(4)上固定有固定架二(11),滑动连接有滑架二(10),转杆一(8)两端分别铰接连接在滑架一(6)和固定架二(11)上,转杆二(9)两端分别铰接连接在固定架一(7)和滑架二(10)上,滑架二(10)上固定有连接杆一(12),滑架一(6)上固定有连接杆二(13),连接杆一(12)与连接杆二(13)滑动连接。

4.根据权利要求3所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述连接杆一(12)与连接杆二(13)通过转柱(14)转动连接,转柱(14)与滑轮支杆一(15)固定连接,滑轮支杆一(15)端部转动连接有滑轮一(16),滑轮支杆一(15)与滑轮支杆二(17)滑动连接,滑轮支杆二(17)端部固定转动连接有滑轮二(18),滑轮支杆二(17)与连接杆二(13)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的钨丝开方环线结构,其特征在于,所述支撑柱(4)上近出口(3)端固定有三角钨丝支架(19),三角钨丝支架(19)上转动连接有纵轮一(20)、纵轮二(21),三角钨丝支架(19)上固定有两个横轮支柱一(27),两个横轮支柱一(27)上分别转动连接有横轮一(22)和横...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘浩刘健张帅杨海贵
申请(专利权)人:曲靖阳光新能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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