本发明专利技术提供一种能够在长时间内切实地得到稳定的输出的高压放电灯以及能够切实地得到该种灯的制造方法和能够切实地实行所期望的光照射处理的光照射装置。高压放电灯是由在两端封闭的棒状内管的内部相对设置一对电极并且至少封入有水银而成的放电管以及外管构成的双重管结构，在外管的内部，放电管的外周面的至少一部分与外管的外周面以接触状态或者密合状态配置，且放电管的至少位于上述电极周围的部分的外周面与外管的内周面之间形成有延伸于整周的空隙。上述高压放电灯可以通过具有在外管内插入设置放电管的状态下，通过加热使放电管膨胀，使放电管和外管密合的工序的方法得到。光照射装置具有上述高压放电灯。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到一种高压放电灯及其制造方法、以及具有该高压放电灯的光照射装置。
技术介绍
现在，紫外线照射装置被利用于例如粘接剂等的树脂的硬化处理或印刷基板等的露光处理中，且作为紫外线照射装置的紫外线光源使用例如高压放电灯。高压放电灯至今已有各种类型被提出，例如在专利文献1中，如图10所示，公开了以下的毛细管型高压水银灯80，其构成为，在两端封闭的玻璃管部81的内部相对设置一对电极83，并且封入有水银，顶端具有电极83的引线端子84气密性地贯通封固部82，向轴向外侧突出延伸设置。高压放电灯通常在灯点亮时被冷却，但为了防止放电管的破损而想要得到充分的冷却效果时，放电管的位于电极周围的部分被过冷却，由此，在放电管内部的两端部分处水银不蒸发，不能得到充分的水银蒸气压力，其结果是产生亮度降低的问题。针对该问题，在上述毛细管型高压水银灯80中，在玻璃管部81的位于电极83周围的部分上形成有作为过冷却防止单元的中空层85。而且，如图11所示，设置有在与玻璃管部81的外周面之间形成冷却水W的流路89的管状的冷却套管88，在灯点亮时冷却水W沿玻璃管部81的壁面在轴向上流过流路89内，从而被冷却。尽管如此，由于具有中空层85，根据上述毛细管型高压水银灯80，玻璃管部81通过冷却水W被直接冷却，因而能够得到充分的冷却效果，并且，玻璃管部81的电极周围的部分由于有中空层85而减弱冷却效果，能够防止过冷却。专利文献l:日本专利第2617978号公报
技术实现思路
然而，根据上述构造，虽然能够防止玻璃管部81的位于电极周围的部分被过冷却，但形成中空层85是较困难的，容易产生个体差，因而存在不能切实地得到稳定输出的问题。并且，在灯点亮时，玻璃管部81破损的情况下，有玻璃管部81内封入的水银经由例如冷却水的流路89流出到外部的可能。本专利技术为基于以上情况而成的，第一目的为提供能够切实地在长时间内得到稳定的输出的高压放电灯。本专利技术的第二目的为提供能够切实地制造具有所期望的性能的高压放电灯的制造方法。本专利技术的第三目的为提供具有上述高压放电灯，能够切实地进行所期望的光照射处理的光照射装置。本专利技术的高压放电灯具有在两端封闭的内管的内部相对设置一对电极并且至少封入有水银而成的整体为棒状的放电管；以及外管，在外管的内部，放电管的外周面的至少一部分与外管的外周面以接触状态或者密合状态配置。其特征在于，放电管的至少位于上述电极周围的部分的外周面与外管的内周面之间形成有延伸于整周的空隙。在本说明书中，所谓接触状态可以是外管的内周面(内壁)与放电管的外周面(外壁)点接触或者线接触的状态，也包括一部分为面接触的状态。并且，所谓密合状态可以是外管的内周面与放电管的外周面主要为面接触的状态，即放电管与外管两者一体化的状态。本专利技术的高压放电灯通过使用两端具有扩径部的外管，或者使用直管状外管，使用位于电极周围的两端部比中央部直径小的放电管，能够构成为形成空隙。本专利技术的高压放电灯的制造方法的特征在于，具有如下工序在外管内插入设置放电管的状态下，通过加热使放电管膨胀，在放电管的至少位于电极周围的部分的外周面和外管的内周面之间形成延伸于整周的空隙的状态下，使放电管和外管密合。本专利技术的光照射装置的特征在于，具有上述高压放电灯，设有流路形成部件，该流路形成部件形成在灯点亮时冷却该高压放电灯的冷却水沿外管的壁面流过的流路。根据本专利技术的高压放电灯，是在与放电管的至少位于电极周围的部分之间形成延伸于整周的空隙的状态下，以外管与放电管的外周面接触或者密合的状态设置的双重管结构，由此，在灯点亮时，通过例如使冷却水沿外管的壁面流过，位于电极周围的部分由于空隙(空气层)的存在而减弱冷却作用。因而，采用了放电管的与外管接触或者密合的部分通过冷却水被充分冷却，能够防止放电管的破损的构成，并且切实地防止位于电极周围的部分被过冷却，不会产生由水银未蒸发引起的亮度降低，因而，能够切实地在长时间内得到稳定的输出。并且，由于是双重管结构，因此在灯点亮时，即使在放电管破损 的情况下，也能够防止水银流到外部。根据本专利技术的高压放电灯的制造方法，没有必要采用例如在放电 管中形成中空层等的特殊加工，仅需构成为双重管结构，并在预定位 置使外管和内管之间形成空隙的状态下使两者通过加热而密合即可， 因而能够非常容易地制造具有所期望的性能的灯。根据本专利技术的光照射装置，由于具有上述高压放电灯，能够使高 压放电灯放射出的紫外线以充分的亮度稳定地照射被处理对象(工 件)，因而能够切实地进行所期望的紫外线照射处理。附图说明图1是表示本专利技术的第一实施方式相关的高压放电灯的一个例子 的构成概要的说明用截面图。图2是表示图1所示的高压放电灯的主要部分的放大截面图。图3是用于说明图1所示的高压放电灯的制造方法的图，(a)为 表示外管以及放电管的构成的说明用截面图，(b)为表示外管内设置 有放电管的状态的说明用截面图，(c)为(b)的A-A线截面图，(d) 为表示通过加热处理使放电管的外周面与外管的内周面密合的状态的 与(c)相同的切断部的截面图。图4是表示本专利技术的第二实施方式相关的高压放电灯的一个例子 的构成概要的说明用截面图。图5是表示图4所示高压放电灯的主要部分的放大截面图。图6是表示本专利技术的光照射装置的一个例子的构成概要的说明用截面图。图7是图6的B-B线截面图。图8是表示本专利技术的高压放电灯的其他结构例的主要部分的截面图。图9是表示本专利技术的高压放电灯的另一结构例的主要部分的截面图。图10是表示现有的高压放电灯的一个例子的构成概要的说明用 截面图。图11是用于说明图io所示的高压放电灯的使用状态的说明用截面图。具体实施例方式本专利技术的高压放电灯是由构成放电管的内管、以及外管构成的双 重管结构，在放电管的位于电极周围的部分的外周面和外管的内周面 之间形成延伸于整周的空隙，由此形成过冷却防止结构。第一实施方式第一实施方式相关的高压放电灯构成为通过采用特定结构作为外 管，在放电管的电极周围的部分的外周面和外管的内周面之间形成延 伸于整周的空隙。以下，对该第一实施方式相关的高压放电灯的构成 进行具体说明。图1是表示本专利技术的第一实施方式相关的高压放电灯的一个例子的构成概要的说明用截面图。图2是表示图1所示高压放电灯的主要部分的放大截面图。该高压放电灯IO构成为由以下两部分构成整体为棒状的放电管 11，在两端封固、由例如石英玻璃形成的直管状的内管12的内部，分别相对设置由例如钨形成的一对棒状的电极16，各电极16气密性地埋 设于形成于内管12上的杆状的封固部13，通过由例如钼形成的金属箔 17，从封固部13的外端向轴向外侧突出延伸，与外部引线18电连接； 以及设置于该放电管ll内部，由例如石英玻璃形成的外管20。放电管11的封固部13为例如通过使作为内管12的构成材料的管体的两端部达到熔融状态，并使其内部减压的压縮封闭法形成，比放 电管11的中央部14 (相当于发光区域的部分)的直径小。该高压放电灯io构成为例如称为毛细管灯的毛细管型高压水 银灯，在放电管11的内部封入例如lmg/cn^以上的水银，并且封入适 量的氩气等稀有气体。然后，放射例如波长为350 450nm的紫外线。外管20为在两端部形成有比中央部21的内径尺寸大的扩径部2本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高压放电灯，其特征在于，具有：在两端封闭的内管的内部相对设置一对电极并且至少封入有水银而成的整体为棒状的放电管；以及外管，在外管的内部，放电管的外周面的至少一部分与外管的外周面以接触状态或者密合状态配置， 放电管的至少位于上述电极 周围的部分的外周面与外管的内周面之间形成有延伸于整周的空隙。
【技术特征摘要】
1. 一种高压放电灯，其特征在于，具有在两端封闭的内管的内部相对设置一对电极并且至少封入有水银而成的整体为棒状的放电管；以及外管，在外管的内部，放电管的外周面的至少一部分与外管的外周面以接触状态或者密合状态配置，放电管的至少位于上述电极周围的部分的外周面与外管的内周面之间形成有延伸于整周的空隙。2. 根据权利要求l所述的高压放电灯，其特征在于，外管的两端具有扩径部，通过该扩径部形成空隙。3. 根据权利要求1所述的高压放电灯，其特征在于，外管为直管状，放电管的位于电极周围的两端部比中央部的直径小...
【专利技术属性】
技术研发人员：森和之，大久保启介，田川幸治，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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