【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体工艺，尤其涉及一种半导体工艺设备及其舟输送装置。
技术介绍
1、扩散沉积设备是太阳电池生产的关键设备，设备中的舟输送装置是实现舟运进和送出反应腔室自动化进程的重要装置。当下，五个或六个竖直排列的相互独立的反应腔室各对应配置一套舟输送装置的传统运行模式存在设备结构复杂、不方便维护和成本高的不足，无法满足机台降本的需求，一套可以实现多个反应腔室进出舟操作的共享舟输送装置应运而生。
2、目前，现有的共享舟输送装置仅由舟承载模组、水平运动模组以及两个竖直运动模组组成，其中，舟承载模组用于承载装载有晶圆的舟。两个竖直运动模组用于共同驱动舟承载模组升降运动，以实现舟承载模组对准上下位置不同的反应腔室。水平运动模组用于驱动舟承载模组水平运动，以实现舟承载模组承载舟进出相应的反应腔室。然而，现有的共享舟输送装置在两个竖直运动模组不平行时无法进行相应调节，进而导致舟承载模组上的舟无法顺利进出反应腔室。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种半导体工艺设备及其舟输送装置，旨在改善现有共享舟输送装置在两个竖直运动模组不平行时无法进行相应调节，进而导致舟承载模组上的舟无法顺利进出反应腔室的问题。
2、第一方面，本申请实施例提供一种用于半导体工艺设备的舟输送装置，所述半导体工艺设备包括沿竖直方向依次排列的多个反应腔室，所述舟输送装置安设在所述多个反应腔室的一侧，包括机架、两个第一运动模组、至少四个水平调节机构、第二运动模组以及舟承载模组；
3、所述两个第一
4、所述两个第一运动模组分别驱动连接所述第二运动模组的沿所述第二水平方向相对的两端，以使所述第二运动模组在所述两个第一运动模组的共同驱动下沿所述竖直方向进行升降运动；
5、所述第二运动模组驱动连接所述舟承载模组，以使所述舟承载模组在所述第二运动模组的驱动下沿所述第二水平方向进行水平运动。
6、可选的，在一些实施例中，所述机架包括沿所述竖直方向排列的至少两层机架板，每个所述第一运动模组的一端分别通过一个所述水平调节机构与其中一层所述机架板活动连接，每个所述第一运动模组的另一端分别通过一个所述水平调节机构与其中另一层所述机架板活动连接。
7、可选的，在一些实施例中，所述水平调节机构包括连接座、第一水平方向调节组件和第二水平方向调节组件；所述连接座包括连接平板、第一连接竖板、第二连接竖板和第三连接竖板，所述连接平板活动连接在所述上层机架板或所述下层机架板上，所述第一连接竖板、所述第二连接竖板以及所述第三连接竖板分别固设在所述连接平板的不同边上；所述第一水平方向调节组件驱动连接所述第一连接竖板，以带动所述连接座进行所述第一水平方向的位置调节；所述第二水平方向调节组件驱动连接所述第二连接竖板，以带动所述连接座进行所述第二水平方向上的位置调节；所述第三连接竖板还与一个所述第一运动模组的一端进行紧固连接。
8、可选的，在一些实施例中，所述第一连接竖板与所述连接平板之间连接有支撑筋板；和/或，所述第二连接竖板与所述连接平板之间连接有支撑筋板；和/或，所述第三连接竖板与所述连接平板之间分别连接有支撑筋板。
9、可选的，在一些实施例中，所述连接平板上开设有多个万向调节套安装孔，所述机架板上开设有与所述多个万向调节套安装孔一一对应设置的多个机架螺纹孔，每个万向调节套安装孔上旋转装配有一个万向调节套，所述连接平板通过多个固定螺栓一一对应穿过每个所述万向调节套上的长圆孔后与相应的所述机架螺纹孔进行螺纹连接，来活动连接在所述机架板上。
10、可选的，在一些实施例中，所述连接平板与所述上层机架板或所述下层机架板之间还安设有至少三个滚球模组，每个所述滚球模组包括固设在所述上层机架板或所述下层机架板上的滚球底座以及容置在所述滚球底座内自由转动的滚球，所述滚球远离所述滚球底座的一侧抵接所述连接平板。
11、可选的，在一些实施例中，所述第一水平方向调节组件包括第一调节支撑座、第一驱动齿轮、第一刻度标尺、两个第一从动齿轮、两个第一滚珠丝杆以及两个第一丝杆螺母；所述机架板上固设有沿所述第二水平方向延伸的第二导轨，所述第一调节支撑座滑动连接在所述第二导轨上；所述两个第一丝杆螺母分别固设在所述第一连接竖板上，且每个所述第一丝杆螺母螺纹连接一个所述第一滚珠丝杆的一端；每个所述第一滚珠丝杆的另一端沿所述第一水平方向延伸贯穿所述第一调节支撑座后紧固在一个所述第一从动齿轮上；所述第一调节支撑座上还转动连接有所述第一驱动齿轮，且所述第一驱动齿轮设置在所述两个第一从动齿轮之间，且所述第一驱动齿轮分别与每个所述第一从动齿轮进行啮合连接；所述第一连接竖板的顶侧还设置有沿所述第一水平方向延伸的第一刻度尺导向沟槽，所述第一刻度尺导向沟槽的边沿设置有第一刻度指示箭头，所述第一调节支撑座的顶侧固设有所述第一刻度尺，且所述第一刻度尺沿所述第一水平方向延伸至所述第一刻度尺导向沟槽中。
12、可选的，在一些实施例中，所述第二水平方向调节组件包括第二调节支撑座、第二驱动齿轮、第二刻度标尺、两个第二从动齿轮、两个第二滚珠丝杆以及两个第二丝杆螺母；所述机架板上固设有沿所述第一水平方向延伸的第一导轨，所述第二调节支撑座滑动连接在所述第一导轨上；所述两个第二丝杆螺母分别固设在所述第二连接竖板上，且每个所述第二丝杆螺母螺纹连接一个所述第二滚珠丝杆的一端；每个所述第二滚珠丝杆的另一端沿所述第二水平方向延伸贯穿所述第二调节支撑座后紧固在一个所述第二从动齿轮上；所述第二调节支撑座上还转动连接有所述第二驱动齿轮，且所述第二驱动齿轮设置在所述两个第二从动齿轮之间，且所述第二驱动齿轮分别与每个所述第二从动齿轮进行啮合连接；所述第二连接竖板的顶侧还设置有沿所述第二水平方向延伸的第二刻度尺导向沟槽，所述第二刻度尺导向沟槽的边沿设置有第二刻度指示箭头，所述第二调节支撑座的顶侧固设有所述第二刻度尺，且所述第二刻度尺沿所述第二水平方向延伸至所述第二刻度尺导向沟槽中。
13、可选的，在一些实施例中，所述舟承载模组包括舟头以及用于承载舟的悬臂桨，所述第二运动模组通过所述舟头驱动连接所述悬臂桨。
14、第二方面，本申请实施例提供一种半导体工艺设备，包括多个反应腔室以及上述的舟输送装置，所述多个反应腔室沿竖直方向依次排列，所述舟输送装置固设在所述多个反应腔室的一侧。
15、在本申请中，由于其舟输送装置的两个第一运动模组分别安装在机架上，且每个第一运动模组的沿竖直方向相对的两端分别通过一个水平调节机构与机架进行活动连接，使得每个第一运动模组均可相对机架进行第一水平方向和第二水平方向的位置调节，第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于半导体工艺设备的舟输送装置，所述半导体工艺设备包括沿竖直方向依次排列的多个反应腔室，所述舟输送装置安设在所述多个反应腔室的一侧，其特征在于，包括机架、两个第一运动模组、至少四个水平调节机构、第二运动模组以及舟承载模组；
2.根据权利要求1所述的舟输送装置，其特征在于，所述机架包括沿所述竖直方向排列的至少两层机架板，每个所述第一运动模组的一端分别通过一个所述水平调节机构与其中一层所述机架板活动连接，每个所述第一运动模组的另一端分别通过一个所述水平调节机构与其中另一层所述机架板活动连接。
3.根据权利要求1所述的舟输送装置，其特征在于，所述水平调节机构包括连接座、第一水平方向调节组件和第二水平方向调节组件；所述连接座包括连接平板、第一连接竖板、第二连接竖板和第三连接竖板，所述连接平板活动连接在所述机架板上，所述第一连接竖板、所述第二连接竖板以及所述第三连接竖板分别固设在所述连接平板的不同边上；所述第一水平方向调节组件驱动连接所述第一连接竖板，以带动所述连接座进行所述第一水平方向的位置调节；所述第二水平方向调节组件驱动连接所述第二连接竖板，以带动所述
4.根据权利要求3所述的舟输送装置，其特征在于，所述第一连接竖板与所述连接平板之间连接有支撑筋板；和/或，所述第二连接竖板与所述连接平板之间连接有支撑筋板；和/或，所述第三连接竖板与所述连接平板之间连接有支撑筋板。
5.根据权利要求3所述的舟输送装置，其特征在于，所述连接平板上开设有多个万向调节套安装孔，所述机架板上开设有与所述多个万向调节套安装孔一一对应设置的多个机架螺纹孔，每个所述万向调节套安装孔上旋转装配有一个万向调节套，所述连接平板通过多个固定螺栓一一对应穿过每个所述万向调节套上的长圆孔后与相应的所述机架螺纹孔进行螺纹连接，以活动连接在所述机架板上。
6.根据权利要求3所述的舟输送装置，其特征在于，所述连接平板与所述机架板之间还安设有至少三个滚球模组，每个所述滚球模组包括固设在所述机架板上的滚球底座以及容置在所述滚球底座内自由转动的滚球，所述滚球远离所述滚球底座的一侧抵接所述连接平板。
7.根据权利要求3所述的舟输送装置，其特征在于，所述第一水平方向调节组件包括第一调节支撑座、第一驱动齿轮、第一刻度标尺、两个第一从动齿轮、两个第一滚珠丝杆以及两个第一丝杆螺母；所述机架板上固设有沿所述第二水平方向延伸的第二导轨，所述第一调节支撑座滑动连接在所述第二导轨上；两个所述第一丝杆螺母分别固设在所述第一连接竖板上，且每个所述第一丝杆螺母螺纹连接一个所述第一滚珠丝杆的一端；每个所述第一滚珠丝杆的另一端沿所述第一水平方向延伸贯穿所述第一调节支撑座后紧固在一个所述第一从动齿轮上；所述第一调节支撑座上还转动连接有所述第一驱动齿轮，且所述第一驱动齿轮设置在所述两个第一从动齿轮之间，且所述第一驱动齿轮分别与每个所述第一从动齿轮进行啮合连接；所述第一连接竖板的顶侧还设置有沿所述第一水平方向延伸的第一刻度尺导向沟槽，所述第一刻度尺导向沟槽的边沿设置有第一刻度指示箭头，所述第一调节支撑座的顶侧固设有所述第一刻度尺，且所述第一刻度尺沿所述第一水平方向延伸至所述第一刻度尺导向沟槽中。
8.根据权利要求7所述的舟输送装置，其特征在于，所述第二水平方向调节组件包括第二调节支撑座、第二驱动齿轮、第二刻度标尺、两个第二从动齿轮、两个第二滚珠丝杆以及两个第二丝杆螺母；所述机架板上固设有沿所述第一水平方向延伸的第一导轨，所述第二调节支撑座滑动连接在所述第一导轨上；所述两个第二丝杆螺母分别固设在所述第二连接竖板上，且每个所述第二丝杆螺母螺纹连接一个所述第二滚珠丝杆的一端；每个所述第二滚珠丝杆的另一端沿所述第二水平方向延伸贯穿所述第二调节支撑座后紧固在一个所述第二从动齿轮上；所述第二调节支撑座上还转动连接有所述第二驱动齿轮，且所述第二驱动齿轮设置在所述两个第二从动齿轮之间，且所述第二驱动齿轮分别与每个所述第二从动齿轮进行啮合连接；所述第二连接竖板的顶侧还设置有沿所述第二水平方向延伸的第二刻度尺导向沟槽，所述第二刻度尺导向沟槽的边沿设置有第二刻度指示箭头，所述第二调节支撑座的顶侧固设有所述第二刻度尺，且所述第二刻度尺沿所述第二水平方向延伸至所述第二刻度尺导向沟槽中。
9.根据权利要求1-8任一项所述的舟输送装置，其特征在于，所述舟承载模组包括舟头以及用于承载舟的悬臂桨，所述第二运动模组通过所述舟头驱动连接所述悬臂桨。
10.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括多个反应腔室以及如权利要求1-9任一项所述的舟输...
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体工艺设备的舟输送装置，所述半导体工艺设备包括沿竖直方向依次排列的多个反应腔室，所述舟输送装置安设在所述多个反应腔室的一侧，其特征在于，包括机架、两个第一运动模组、至少四个水平调节机构、第二运动模组以及舟承载模组；
2.根据权利要求1所述的舟输送装置，其特征在于，所述机架包括沿所述竖直方向排列的至少两层机架板，每个所述第一运动模组的一端分别通过一个所述水平调节机构与其中一层所述机架板活动连接，每个所述第一运动模组的另一端分别通过一个所述水平调节机构与其中另一层所述机架板活动连接。
3.根据权利要求1所述的舟输送装置，其特征在于，所述水平调节机构包括连接座、第一水平方向调节组件和第二水平方向调节组件；所述连接座包括连接平板、第一连接竖板、第二连接竖板和第三连接竖板，所述连接平板活动连接在所述机架板上，所述第一连接竖板、所述第二连接竖板以及所述第三连接竖板分别固设在所述连接平板的不同边上；所述第一水平方向调节组件驱动连接所述第一连接竖板，以带动所述连接座进行所述第一水平方向的位置调节；所述第二水平方向调节组件驱动连接所述第二连接竖板，以带动所述连接座进行所述第二水平方向上的位置调节；所述第三连接竖板还与一个所述第一运动模组的一端进行紧固连接。
4.根据权利要求3所述的舟输送装置，其特征在于，所述第一连接竖板与所述连接平板之间连接有支撑筋板；和/或，所述第二连接竖板与所述连接平板之间连接有支撑筋板；和/或，所述第三连接竖板与所述连接平板之间连接有支撑筋板。
5.根据权利要求3所述的舟输送装置，其特征在于，所述连接平板上开设有多个万向调节套安装孔，所述机架板上开设有与所述多个万向调节套安装孔一一对应设置的多个机架螺纹孔，每个所述万向调节套安装孔上旋转装配有一个万向调节套，所述连接平板通过多个固定螺栓一一对应穿过每个所述万向调节套上的长圆孔后与相应的所述机架螺纹孔进行螺纹连接，以活动连接在所述机架板上。
6.根据权利要求3所述的舟输送装置，其特征在于，所述连接平板与所述机架板之间还安设有至少三个滚球模组，每个所述滚球模组包括固设在所述机架板上的滚球底座以及容置在所述滚球底座内自由转动的滚球，所述滚球远离所述滚球底座的一侧抵接所述连接平板。
7.根据权利要求3所述的舟输送装置，其特征在于，所述第一水平方向调节组件包括第一调节支撑座、...
【专利技术属性】
技术研发人员：江军，杨来宝，赵佳彬，李金龙，闫志顺，杨洋，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。