一种OHT天车同步升降装置制造方法及图纸

本技术涉及一种OHT天车同步升降装置，包括与外部固定连接的底座，底座的底部固定安装有驱动机构，驱动机构的输出端固定安装有主同步轮，底座的底部还转动安装有中心轴，中心轴上对应主同步轮位置处固定安装有从同步轮，主同步轮与从同步轮上套设安装有同步带，中心轴的长度方向上等间距固定安装有三个卷盘，每一卷盘上均卷绕安装有升降皮带。采用本技术技术方案，可实现多点位的平衡吊装，更加平稳可靠，安全性好，且结构简单，自重小，大幅降低了天车轨道的负载。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及物料搬运设备，更具体地说，它涉及一种oht天车同步升降装置。

技术介绍

1、随着智能家电在日常生活中的普遍应用，半导体制品集成电路扮演着日益重要的角色，其需求也大幅提升，因此促进了全球半导体市场的蓬勃发展。为了满足集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业都以提高产能及合格率为优先目标。在半导体制造企业中，晶圆通常是采用批量的搬运方式，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险、且搬运过程中存在晶圆污染、碰撞破碎等不确定因素。为解决人工搬运所带来的风险及不确定因素，自动化天车(oht，overhead hoist transfer)应运而生，并且已经广泛应用在半导体制造行业中。

2、自动化天车是自动物料传输系统(automated material handling system，简称amhs)中的重要子系统，主要负责搬运晶圆盒(foup)至不同的工艺设备或仓储设备，而晶圆则承载在晶圆盒内。一般包括天轨和搬运小车，简称天车，天车上设置可伸缩和升降的抓取装置，天车沿着轨道移动，进而带动抓取装置来搬运转移晶圆。

3、现有的天车一般使用电动葫芦进行物料的升降操作，电动葫芦通过电动机和减速器提供动力，通过卷筒和钢丝绳或链条实现货物的升降运动，并通过制动器和控制系统确保安全操作。但是，电动葫芦通常只设有一个吊钩，吊装物料升降时不平稳，容易产生晃动，不利用晶圆盒的转运，容易对晶圆盒内的晶圆造成损伤，另外，电动葫芦的整体负载大，不便于在天车轨道上移动。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种oht天车同步升降装置，可实现多点位的平衡吊装，更加平稳可靠，安全性好，且结构简单，自重小，大幅降低了天车轨道的负载。

2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种oht天车同步升降装置，包括与外部固定连接的底座，所述底座的底部固定安装有驱动机构，所述驱动机构的输出端固定安装有主同步轮，所述底座的底部还转动安装有中心轴，所述中心轴上对应所述主同步轮位置处固定安装有从同步轮，所述主同步轮与所述从同步轮上套设安装有同步带，所述中心轴的长度方向上等间距固定安装有三个卷盘，每一所述卷盘上均卷绕安装有升降皮带。

3、进一步地，每一所述卷盘的一端均固定安装有用于引导所述升降皮带的导向机构。

4、进一步地，所述导向机构包括固定安装于所述底座的支架，所述支架上转动安装有第一滚筒，所述支架上位于所述第一滚筒的两端分别转动安装有第二滚筒。

5、进一步地，所述第一滚筒与所述第二滚筒的轴线相互垂直。

6、进一步地，所述底座上固定安装有至少一件用于感应物料位置的距离传感器。

7、进一步地，所述驱动机构包括电机及减速器，所述电机的输出端与所述减速器的输入端连接，所述减速器的输出端与所述主同步轮连接。

8、进一步地，所述底座的底部固定安装有用于涵盖零部件的外壳。

9、进一步地，所述外壳包括边框及盖板。

10、进一步地，在所述中心轴的两端分别转动安装有带座轴承，每一所述带座轴承均固定安装在所述底座的底部。

11、进一步地，所述底座上还固定安装有光通讯模块。

12、综上所述，本技术具有以下有益效果：

13、本技术的一种oht天车同步升降装置，通过设置底座、驱动机构、主同步轮、从同步轮、同步带、中心轴、升降皮带及卷盘，升降皮带与待升降物料为多点连接，可以保证被升降物料的平衡吊装，使上升或下降过程更加平稳可靠，安全性好；升降皮带的运动精度高，能精准地实现指定距离的上升或下降，并且整体结构紧凑，安装简单，自重小，大幅降低了天车轨道的负载。

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【技术保护点】

1.一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，包括与外部固定连接的底座，所述底座的底部固定安装有驱动机构，所述驱动机构的输出端固定安装有主同步轮，所述底座的底部还转动安装有中心轴，所述中心轴上对应所述主同步轮位置处固定安装有从同步轮，所述主同步轮与所述从同步轮上套设安装有同步带，所述中心轴的长度方向上等间距固定安装有三个卷盘，每一所述卷盘上均卷绕安装有升降皮带。

2.根据权利要求1所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，每一所述卷盘的一端均固定安装有用于引导所述升降皮带的导向机构。

3.根据权利要求2所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，所述导向机构包括固定安装于所述底座的支架，所述支架上转动安装有第一滚筒，所述支架上位于所述第一滚筒的两端分别转动安装有第二滚筒。

4.根据权利要求3所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，所述第一滚筒与所述第二滚筒的轴线相互垂直。

5.根据权利要求4所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，所述底座上固定安装有至少一件用于感应物料位置的距离传感器。

6.根据权利要求4所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机及减速器，所述电机的输出端与所述减速器的输入端连接，所述减速器的输出端与所述主同步轮连接。

7.根据权利要求1所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，所述底座的底部固定安装有用于涵盖零部件的外壳。

8.根据权利要求7所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，所述外壳包括边框及盖板。

9.根据权利要求1所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，在所述中心轴的两端分别转动安装有带座轴承，每一所述带座轴承均固定安装在所述底座的底部。

10.根据权利要求1所述的一种OHT天车同步升降装置，其特征在于，所述底座上还固定安装有光通讯模块。

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【技术特征摘要】

1.一种oht天车同步升降装置，其特征在于，包括与外部固定连接的底座，所述底座的底部固定安装有驱动机构，所述驱动机构的输出端固定安装有主同步轮，所述底座的底部还转动安装有中心轴，所述中心轴上对应所述主同步轮位置处固定安装有从同步轮，所述主同步轮与所述从同步轮上套设安装有同步带，所述中心轴的长度方向上等间距固定安装有三个卷盘，每一所述卷盘上均卷绕安装有升降皮带。

2.根据权利要求1所述的一种oht天车同步升降装置，其特征在于，每一所述卷盘的一端均固定安装有用于引导所述升降皮带的导向机构。

3.根据权利要求2所述的一种oht天车同步升降装置，其特征在于，所述导向机构包括固定安装于所述底座的支架，所述支架上转动安装有第一滚筒，所述支架上位于所述第一滚筒的两端分别转动安装有第二滚筒。

4.根据权利要求3所述的一种oht天车同步升降装置，其特征在于，所述第一滚筒与所述第二滚筒的轴线相互垂直。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昆明，龙宇，陈国聪，郭前程，周鑫，陈海峰，陈海星，
申请(专利权)人：深圳市智佳能自动化有限公司，
类型：新型
国别省市：