【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，具体涉及一种镀膜均匀的真空镀膜装置。
技术介绍
1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，例如，真空镀铝、真空镀铬等，
2、经检索中国专利号cn215050638u公开了一种镀膜均匀的真空镀膜装置，包括生产台，所述生产台的底部四角处均固定连接有支撑腿，所述生产台上连接有镀膜机构，所述镀膜机构包括固定板、真空箱、真空机、冷却板、冷却腔、第一循环水管、第二循环水管、坩埚、加热线圈、两块支撑板和四个气缸，四个所述气缸分别固定连接在生产台的顶部四角处，所述固定板固定连接在气缸远离生产台的一端，所述真空箱固定连接在固定板的一侧。本技术可以在镀膜完成后使板材在真空环境下快速冷却，使板材上的金属膜在脱离真空环境后不易氧化，镀膜质量更高，可以将板材固定住并使板材贴紧冷却板，对板材的冷却效果好，冷却速度快。
3、然而在实施相关技术中发现上述真空镀膜设备存在以下问题：板材固定在真空镀膜设备内部加热时，不便对板材进行翻面加热，需要人工进行翻面，镀膜效果差，基于此，本技术设计了一种镀膜均匀的真空镀膜装置，以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术提出一种镀膜均匀的真空镀膜装置，解决了相关技术中不便对板材进行翻面加热的问题。
2、本技术的技术方案如下：一种镀膜均匀的真空镀膜装置，包括：
3、真空镀膜箱，滑动卡接在所述真空镀膜箱内部的支撑板，所述支撑板的顶部设置
4、矩形框，所述矩形框转动连接在所述真空镀膜箱的内壁两侧，所述矩形框的内壁两侧均固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有限位框，所述矩形框的一侧通过转轴贯穿所述真空镀膜箱固定连接有从动齿轮；
5、动力组件，所述动力组件设置在所述真空镀膜箱的一侧，所述动力组件与所述从动齿轮之间啮合连接。
6、优选的，所述动力组件包括电动推杆与齿板，所述电动推杆均位于所述矩形框的内壁两侧，所述电动推杆的输出端与齿板之间固定连接，所述齿板与所述从动齿轮之间啮合连接。
7、优选的，所述真空镀膜箱的一侧开设有滑槽，所述齿板与所述滑槽之间滑动连接。
8、优选的，所述述矩形框的内壁两侧均固定安装有滑轨，所述限位框与所述滑轨之间滑动卡接。
9、优选的，所述真空镀膜箱的内壁两侧固定安装有滑杆，所述支撑板与所述滑杆之间滑动连接。
10、优选的，所述支撑板的底部固定安装有框架，所述框架的一侧贯穿开设有条形槽，所述真空镀膜箱的底部内壁转动连接有转盘，所述转盘的表面固定安装有圆形杆，所述圆形杆与所述条形槽之间相接触，所述真空镀膜箱的一侧设置有转动组件，所述转动组件的输出端贯穿所述真空镀膜箱与所述转盘之间固定连接。
11、优选的，所述转动组件包括电机与传动轴，所述电机位于所述真空镀膜箱的一侧，所述电机的输出端贯穿所述真空镀膜箱与所述传动轴之间固定连接，所述传动轴的一端与所述转盘之间固定连接。
12、本技术的工作原理及有益效果为：
13、1、本技术中通过设置的动力组件、从动齿轮、矩形框与加热机构，加热机构对板材进行加热，动力组件输出端带动啮合连接的从动齿轮转动，从动齿轮带动矩形框转动，从而便于对板材进行翻面加热；
14、2、本技术中通过设置的电机、转盘、圆形杆与条形槽，在电机的作用下使转盘与圆形杆转动，配合条形槽带动框架往复移动，使支撑板带动加热机构往复移动，从而便于对板材进行均匀加热。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述动力组件(8)包括电动推杆(81)与齿板(82)，所述电动推杆(81)均位于所述矩形框(4)的内壁两侧，所述电动推杆(81)的输出端与齿板(82)之间固定连接，所述齿板(82)与所述从动齿轮(7)之间啮合连接。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜箱(1)的一侧开设有滑槽(9)，所述齿板(82)与所述滑槽(9)之间滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述述矩形框(4)的内壁两侧均固定安装有滑轨(10)，所述限位框(6)与所述滑轨(10)之间滑动卡接。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜箱(1)的内壁两侧固定安装有滑杆(16)，所述支撑板(2)与所述滑杆(16)之间滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述支撑板(2)的底部固定安装有框架(11)，
7.根据权利要求6所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述转动组件(15)包括电机(151)与传动轴(152)，所述电机(151)位于所述真空镀膜箱(1)的一侧，所述电机(151)的输出端贯穿所述真空镀膜箱(1)与所述传动轴(152)之间固定连接，所述传动轴(152)的一端与所述转盘(13)之间固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述动力组件(8)包括电动推杆(81)与齿板(82)，所述电动推杆(81)均位于所述矩形框(4)的内壁两侧，所述电动推杆(81)的输出端与齿板(82)之间固定连接，所述齿板(82)与所述从动齿轮(7)之间啮合连接。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜箱(1)的一侧开设有滑槽(9)，所述齿板(82)与所述滑槽(9)之间滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述述矩形框(4)的内壁两侧均固定安装有滑轨(10)，所述限位框(6)与所述滑轨(10)之间滑动卡接。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜箱(1)的内壁两侧固定安装有滑杆(16)，所述支撑...
【专利技术属性】
技术研发人员：张文录，江鸢飞，
申请(专利权)人：深圳市岗川纳米材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。