一种微焦点X射线管制造技术

本技术提供一种微焦点X射线管，包括具有容纳腔的壳体；配置于壳体上的电子枪组件，铍窗组件和绝缘组件；所述绝缘组件包括陶瓷筒，所述陶瓷筒的上端与壳体连接；以及贯穿陶瓷筒并延伸至壳体内的阳极组件；所述陶瓷筒的下端与阳极组件连接；所述电子枪组件发射的电子束在壳体与阳极组件形成的同轴电场作用下，汇聚加速后轰击在阳极组件上形成微米尺寸的焦点，进而产生X射线从铍窗组件射出。该微焦点X射线管能够解决现有的微焦点X射线管排气真空度低、抗力学冲击能力差和装配精度较差的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及x射线管。更具体地，涉及一种微焦点x射线管。

技术介绍

1、在高精度无损检测领域，微焦点x射线管的应用极为广泛。目前国产微焦点x射线管均沿袭国外技术路线，采用玻璃作为管体与阳极的耐压绝缘材料，该设计思路在降低了正向设计开发风险的同时，未考虑到国内外供应链和工艺方面存在的差异，导致该技术路线所固有的排气真空度低、抗力学冲击能力差和装配精度较差的缺点迟迟无法得到有效解决，从而导致微焦点x射线管在性能、寿命和可靠性方面存在较大问题。

技术实现思路

1、针对上述问题，本技术提供一种微焦点x射线管以解决现有的微焦点x射线管排气真空度低、抗力学冲击能力差和装配精度较差的问题。

2、为实现上述目的，本技术采用下述技术方案：

3、本技术提供一种微焦点x射线管，包括：

4、具有容纳腔的壳体；配置于壳体上的电子枪组件，铍窗组件和绝缘组件；所述绝缘组件包括陶瓷筒，所述陶瓷筒的上端与壳体连接；以及贯穿陶瓷筒并延伸至壳体内的阳极组件；所述陶瓷筒的下端与阳极组件连接；所述电子枪组件发射的电子束在壳体与阳极组件形成的同轴电场作用下，汇聚加速后轰击在阳极组件上形成微米尺寸的焦点，进而产生x射线从铍窗组件射出。

5、优选方案是，所述电子枪组件包括依次设置的阴极、第一栅极和第二栅极；所述第一栅极和第二栅极的中心位置处均开设有通孔；所述通孔的孔径相同且同轴设置。

6、优选方案是，所述电子枪组件安装于壳体的侧壁上，所述铍窗组件钎焊于壳体的顶壁上。>

7、优选方案是，所述阳极组件包括阳极杆，钎焊于阳极杆顶部斜面上的钨靶，钎焊于阳极杆上部的阳极帽及钎焊于阳极杆的下部的封接延长筒。

8、优选方案是，所述阳极帽上开设有沿电子入射方向设置的开孔。

9、优选方案是，所述绝缘组件还包括设置于陶瓷筒上端的上端盖和设置于陶瓷筒下端的下端盖；所述陶瓷筒通过高温钎焊与上端盖和下端盖封接；所述上端盖与壳体结合固定，所述下端盖与阳极组件结合固定。

10、优选方案是，所述陶瓷筒的内壁涂覆有用以抑制二次电子产生的复合涂层。

11、优选方案是，所述上端盖和下端盖均为可伐瓷封合金并通过套封或平封的方式与陶瓷筒钎焊。

12、优选方案是，所述陶瓷筒的外侧壁表面为平滑表面或波纹状表面。

13、优选方案是，所述阳极组件，铍窗组件及绝缘组件的轴线相重合；所述电子枪组件的轴线与阳极组件的轴线相垂直。

14、本技术的有益效果为：

15、与现有技术相比，本技术通过双栅微孔技术实现了微电子束的发射和第一次汇聚，经过壳体和阳极组件形成的同轴电场的二次汇聚后，在钨靶表面形成微米尺寸的焦点；同时采用陶瓷作为壳体和阳极组件的耐压材料，改善了管内真空度，提高了抗力学冲击能力，也有利于整管装配精度的提高，从而实现了微焦点x射线管性能、寿命和可靠性的提升。

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【技术保护点】

1.一种微焦点X射线管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述电子枪组件包括依次设置的阴极、第一栅极和第二栅极；所述第一栅极和第二栅极的中心位置处均开设有通孔；所述通孔的孔径相同且同轴设置。

3.根据权利要求1所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述电子枪组件安装于壳体的侧壁上，所述铍窗组件钎焊于壳体的顶壁上。

4.根据权利要求1所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述阳极组件包括阳极杆，钎焊于阳极杆顶部斜面上的钨靶，钎焊于阳极杆上部的阳极帽及钎焊于阳极杆的下部的封接延长筒。

5.根据权利要求4所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述阳极帽上开设有沿电子入射方向设置的开孔。

6.根据权利要求1所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述绝缘组件还包括设置于陶瓷筒上端的上端盖和设置于陶瓷筒下端的下端盖；所述陶瓷筒通过高温钎焊与上端盖和下端盖封接；所述上端盖与壳体结合固定，所述下端盖与阳极组件结合固定。

7.根据权利要求6所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述陶瓷筒的内壁涂覆有用以抑制二次电子产生的复合涂层。

8.根据权利要求6所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述上端盖和下端盖均为可伐瓷封合金并通过套封或平封的方式与陶瓷筒钎焊。

9.根据权利要求1所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述陶瓷筒的外侧壁表面为平滑表面或波纹状表面。

10.根据权利要求1所述的微焦点X射线管，其特征在于，所述阳极组件，铍窗组件及绝缘组件的轴线相重合；所述电子枪组件的轴线与阳极组件的轴线相垂直。

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【技术特征摘要】

1.一种微焦点x射线管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微焦点x射线管，其特征在于，所述电子枪组件包括依次设置的阴极、第一栅极和第二栅极；所述第一栅极和第二栅极的中心位置处均开设有通孔；所述通孔的孔径相同且同轴设置。

3.根据权利要求1所述的微焦点x射线管，其特征在于，所述电子枪组件安装于壳体的侧壁上，所述铍窗组件钎焊于壳体的顶壁上。

4.根据权利要求1所述的微焦点x射线管，其特征在于，所述阳极组件包括阳极杆，钎焊于阳极杆顶部斜面上的钨靶，钎焊于阳极杆上部的阳极帽及钎焊于阳极杆的下部的封接延长筒。

5.根据权利要求4所述的微焦点x射线管，其特征在于，所述阳极帽上开设有沿电子入射方向设置的开孔。

6.根据权利要求1所述的微焦点x射线管...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贺飞，胡小露，万知之，王麟，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十二研究所，
类型：新型
国别省市：