一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构技术方案

技术编号：42432575 阅读：5 留言：0更新日期：2024-08-16 16:44

本发明专利技术公开了半导体加工技术领域的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，包括底板，所述底板上固定连接有侧壁一，所述底板上固定连接有侧壁二，所述底板上固定连接有侧壁三，所述侧壁一上固定连接有多个长挡板，所述侧壁一上固定连接有抓手，所述底板上固定连接有侧壁四，所述侧壁四上固定连接有多个短挡板，所述侧壁一的上部固定连接有上部板，所述上部板的上部固定连接有连接柱，所述连接柱上部固定连接有抓头，所述底板与上部板上开设有多个孔洞。本发明专利技术能够搭配合适的抓手钩子，相互契合，不但能完美的实现AGV的抓取需求，还能防止搬运过程中抓手不稳会滑落的风险，进而实现由AGV自动送入烘箱，解决了搭建智能工厂在这一工序的疑难问题。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体加工，尤其涉及一种能够匹配amhs系统的金属料盒自动handle机构。

技术介绍

1、芯片晶圆加工制作过程中，或者是在后道封装制程中，由于需要去除制程中带给晶圆中的水汽及溶剂，都需要用到烘烤工序，水汽或溶剂的存在会影响后续制程的粘附结合力，造成工艺异常，良率低下，因此烘烤是必须的。出于成本考量，烘烤工序使用的烘箱都是比较简单，配合金属料盒，人工搬运的；那么在智能工厂的时代，产线引入了agv来实现智能搬运，但是烘箱这套设备又不能丢弃浪费，因此需要如果这种金属料盒需要能够使用agv来抓取在烘箱中，则金属料盒上就必须要有合适的handle结构，而现有技术显然并不能解决这个问题。

技术实现思路

1、针对上述情况，为为了解决传统的金属料盒无法匹配烘箱使用到amhs系统来搭建智能工厂的问题，本专利技术提供了一种能够匹配amhs系统的金属料盒自动handle机构。

2、为了实现上述目的，采用了如下技术方案：本专利技术提供了一种能够匹配amhs系统的金属料盒自动handle机构，包括底板，所述底板上固定连接有侧壁一，所述底板上固定连接有侧壁二，所述底板上固定连接有侧壁三，所述侧壁一上固定连接有多个长挡板，所述侧壁一上固定连接有抓手，所述抓手远离侧壁一的一端与侧壁三固定连接，所述底板上固定连接有侧壁四，所述侧壁四上固定连接有多个短挡板，所述侧壁一的上部固定连接有上部板，所述上部板的上部固定连接有连接柱，所述连接柱上部固定连接有抓头，所述底板与上部板上开设有多个孔洞。</p>

3、进一步地，所述长挡板与侧壁二固定连接。

4、进一步地，所述长挡板与侧壁三固定连接。

5、进一步地，所述上部板与侧壁二固定连接。

6、进一步地，所述上部板与侧壁三固定连接。

7、进一步地，所述上部板与侧壁四固定连接。

8、进一步地，所述侧壁一与抓手的连接处位于侧壁一的上端。

9、进一步地，所述侧壁三与抓手的连接处位于侧壁三的下端。

10、进一步地，所述抓头为飞翼型。

11、进一步地，所述孔洞共设有十二个。

12、本专利技术的有益效果是：本专利技术提供了一种新型的特殊翼型抓头，能够搭配合适的抓手钩子，相互契合，不但能完美的实现agv的抓取需求，还能防止搬运过程中抓手不稳会滑落的风险，进而实现由agv自动送入烘箱，解决了搭建智能工厂在这一工序的疑难问题。

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【技术保护点】

1.一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上固定连接有侧壁一(2)，所述底板(1)上固定连接有侧壁二(3)，所述底板(1)上固定连接有侧壁三(4)，所述侧壁一(2)上固定连接有多个长挡板(5)，所述侧壁一(2)上固定连接有抓手(6)，所述抓手(6)远离侧壁一(2)的一端与侧壁三(4)固定连接，所述底板(1)上固定连接有侧壁四(7)，所述侧壁四(7)上固定连接有多个短挡板(8)，所述侧壁一(2)的上部固定连接有上部板(9)，所述上部板(9)的上部固定连接有连接柱(10)，所述连接柱(10)上部固定连接有抓头(11)，所述底板(1)与上部板(9)上开设有多个孔洞(12)。

2.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述长挡板(5)与侧壁二(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述长挡板(5)与侧壁三(4)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属

5.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述上部板(9)与侧壁三(4)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述上部板(9)与侧壁四(7)固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述侧壁一(2)与抓手(6)的连接处位于侧壁一(2)的上端。

8.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述侧壁三(4)与抓手(6)的连接处位于侧壁三(4)的下端。

9.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述抓头(11)为飞翼型。

10.根据权利要求1所述的一种能够匹配AMHS系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述孔洞(12)共设有十二个。

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【技术特征摘要】

1.一种能够匹配amhs系统的金属料盒自动handle机构，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上固定连接有侧壁一(2)，所述底板(1)上固定连接有侧壁二(3)，所述底板(1)上固定连接有侧壁三(4)，所述侧壁一(2)上固定连接有多个长挡板(5)，所述侧壁一(2)上固定连接有抓手(6)，所述抓手(6)远离侧壁一(2)的一端与侧壁三(4)固定连接，所述底板(1)上固定连接有侧壁四(7)，所述侧壁四(7)上固定连接有多个短挡板(8)，所述侧壁一(2)的上部固定连接有上部板(9)，所述上部板(9)的上部固定连接有连接柱(10)，所述连接柱(10)上部固定连接有抓头(11)，所述底板(1)与上部板(9)上开设有多个孔洞(12)。

2.根据权利要求1所述的一种能够匹配amhs系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述长挡板(5)与侧壁二(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种能够匹配amhs系统的金属料盒自动handle机构，其特征在于：所述长挡板(5)与侧壁三(4)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种能够匹配amhs...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑刚，
申请(专利权)人：日荣半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人