【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，具体涉及一种精密探针卡冲裁模具。
技术介绍
1、探针卡是一种用于半导体行业的关键测试工具，用于在晶圆或芯片生产过程中接触测试电子器件的性能，其对尺寸精度要求极高。在进行探针自动化生产设备产品设计时，需要有能够对探针料一次完成冲压成型并裁切为满足高精度尺寸要求的成品探针卡模具，而市场上并无适合的模具能够对探针料一次完成进行冲压成型并裁切为高精度合格成品探针卡，因此探针自动化生产设备有关技术人员希望有一种新的模具，对上述问题进行改善和解决。
技术实现思路
1、有鉴于此，提供一种精密探针卡冲裁模具，其能够对探针料一次完成冲压成型并裁切为满足高精度尺寸要求的成品探针卡，满足了对探针卡自动化生产设备产品对模具的需求。
2、一种精密探针卡冲裁模具，用于对探针料冲压成型并裁切为成品探针卡，所述精密探针卡冲裁模具包括定模机构和动模机构，所述动模机构滑动连接套接于所述定模机构上。
3、具体地，所述定模机构包括设有多个定模缓冲导向组件的底座、定模组件、多个调高垫块、成型下模块、u形夹块和用于定位引导探针料的导引块，所述定模组件固定安装于所述底座上侧中间位置，所述成型下模块与所述导引块固定安装于所述定模组件上侧，所述u形夹块滑动卡接于所述定模组件上侧，所述定模组件具有向下延伸至所述底座的落料通道，所述落料通道贴于所述u形夹块一侧设置，多个所述调高垫块分别设于所述定模组件上侧并露出于所述定模组件表面。
4、具体地，所述动模机构包括上侧连接有连接座的
5、具体地，多个所述调高垫块用于冲压时使所述定模组件与所述动模下板组件之间保持间隙，所述成型下模块与所述成型上模块对应设置用于将探针料冲压成形，当所述成型下模块与所述成型上模块将探针料冲压成形后，所述二次压缩间隙被压缩，所述切刃从所述动模下板组件中露出并与所述u形夹块外侧贴合滑动使冲压成型的探针料切断为成品探针卡掉入所述落料通道，所述u形夹块用于所述切刃切断探针料时夹住不被切断的探针料。
6、在一些具体实施方案中，每个所述定模缓冲导向组件包括模架导向柱和套设在所述模架导向柱上的模架缓冲弹簧，每个所述模架导向柱固定安装于所述底座，所述冲模导向件为圆柱形构件，多个所述定模缓冲导向组件用于冲压时对所述动模机构进行导向并缓冲，多个所述冲模导向件也用于冲压时对所述动模机构进行导向。
7、具体地，所述定模机构还包括带有手柄的接料盒，所述接料盒滑动安装于所述底座下侧，所述接料盒用于收集调入所述落料通道的成品探针卡。
8、进一步地，所述定模机构还包括至少一个顶簧，所述顶簧设于所述定模组件内位于所述u形夹块下，所述顶簧用于顶住支撑所述u形夹块并使所述u形夹块位置能轻微调整，所述顶簧用于防止所述u形夹块夹伤所述探针料。
9、在一些优选实施方案中，每个所述弹簧连接组件包括内弹簧、内弹螺柱和隔套，所述内弹簧和隔套依次穿于所述内弹螺柱，所述内弹螺柱一端螺纹连接于所述动模下板组件，所述隔套一端顶于所述动模下板组件，所述内弹簧使所述动模上板组件与所述动模下板组件之间具有二次压缩间隙。
10、具体地，所述定模组件包括定模上板、定模座板、用于固定连接所述定模上板与所述定模座板的多个定模固定螺钉和多个定模销钉，所述定模座板位于所述定模上板下侧，所述定模组件上设有与多个所述冲模导向件对应的多个冲模导柱孔，所述动模上板组件包括动模上板、承压板、用于固定连接所述动模上板与所述承压板的多个上模螺钉和多个上模销轴，所述承压板位于所述动模上板下侧，所述动模下组件包括动模下板、中间板、用于固定连接所述动模下板与所述中间板的多个下模螺钉，所述中间板位于所述动模下板上侧。
11、在一些具体实施方案中，所述的精密探针卡冲裁模具还包括多组精密调整垫片，每组精密调整垫片包括数量与多个所述调高垫块的数量相同的多个尺寸相同的精密调整垫片，多组精密调整垫片中不同组精密调整垫片厚度不同，每组精密调整垫片套设安装于所述调高垫块下，每组精密调整垫片分别用于使所述调高垫块露出于所述定模组件表面为不同的高度。
12、在一些优选实施方案中，每个所述精密调整垫片、每个所述调高垫块、所述动模上板组件、所述动模下板组件、所述定模组件、所述导引块、所述成型下模块、成型上模块和切刃分别通过高精度研磨加工制成表面粗糙度小于0.8微米。
13、优选地，所述上盖具有与多个模架导向柱一一对应的模架导柱孔，每个模架导向柱与所述模架导柱孔接触处安装有表面具有多个能滚动的球形滚珠的滚珠套，所述滚珠套用于减少所述模架导向柱与所述模架导柱孔之间的摩擦。
14、具体地，所述切刃为长方体高硬度工具钢构件，所述切刃贴合安装于所述成型上模块一侧。
15、上述一种精密探针卡冲裁模具中，其通过定模缓冲导向组件和使所述动模上板组件与所述动模下板组件之间具有二次压缩间隙的弹簧连接组件，使得所述模具能在冲压过程中实现两次动作，从而使得所述模具能够实现对探针料进行冲压成型和裁切为成品探针卡的功能，并通过调高垫块保证所述定模组件与所述动模下板组件之间保持高精度间隙，以及定模缓冲导向组件和冲模导向件两组导向来保证所述模具的高精度，因此达到了满足自动化生产设备需要的能够对探针料一次完成冲压成型并裁切为满足高精度尺寸要求探针卡成品的加工模具的效果，因此具有广泛的应用前景。
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1.一种精密探针卡冲裁模具，用于对探针料冲压成型并裁切为成品探针卡，其特征在于，所述精密探针卡冲裁模具包括定模机构和动模机构，所述动模机构滑动连接套接于所述定模机构上；
2.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，每个所述定模缓冲导向组件包括模架导向柱和套设在所述模架导向柱上的模架缓冲弹簧，每个所述模架导向柱固定安装于所述底座，所述冲模导向件为圆柱形构件，多个所述定模缓冲导向组件用于冲压时对所述动模机构进行导向并缓冲，多个所述冲模导向件也用于冲压时对所述动模机构进行导向。
3.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述定模机构还包括带有手柄的接料盒，所述接料盒滑动安装于所述底座下侧，所述接料盒用于收集调入所述落料通道的成品探针卡。
4.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述定模机构还包括至少一个顶簧，所述顶簧设于所述定模组件内位于所述U形夹块下，所述顶簧用于顶住支撑所述U形夹块并使所述U形夹块位置能轻微调整，所述顶簧用于防止所述U形夹块夹伤所述探针料。
5.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，
6.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述定模组件包括定模上板、定模座板、用于固定连接所述定模上板与所述定模座板的多个定模固定螺钉和多个定模销钉，所述定模座板位于所述定模上板下侧，所述定模组件上设有与多个所述冲模导向件对应的多个冲模导柱孔，所述动模上板组件包括动模上板、承压板、用于固定连接所述动模上板与所述承压板的多个上模螺钉和多个上模销轴，所述承压板位于所述动模上板下侧，所述动模下组件包括动模下板、中间板、用于固定连接所述动模下板与所述中间板的多个下模螺钉，所述中间板位于所述动模下板上侧。
7.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述的精密探针卡冲裁模具还包括多组精密调整垫片，每组精密调整垫片包括数量与多个所述调高垫块的数量相同的多个尺寸相同的精密调整垫片，多组精密调整垫片中不同组精密调整垫片厚度不同，每组精密调整垫片套设安装于所述调高垫块下，每组精密调整垫片分别用于使所述调高垫块露出于所述定模组件表面为不同的高度。
8.如权利要求7所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，每个所述精密调整垫片、每个所述调高垫块、所述动模上板组件、所述动模下板组件、所述定模组件、所述导引块、所述成型下模块、成型上模块和切刃分别通过高精度研磨加工制成表面粗糙度小于0.8微米。
9.如权利要求2所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述上盖具有与多个模架导向柱一一对应的模架导柱孔，每个模架导向柱与所述模架导柱孔接触处安装有表面具有多个能滚动的球形滚珠的滚珠套，所述滚珠套用于减少所述模架导向柱与所述模架导柱孔之间的摩擦。
10.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述切刃为长方体高硬度工具钢构件，所述切刃贴合安装于所述成型上模块一侧。
...【技术特征摘要】
1.一种精密探针卡冲裁模具，用于对探针料冲压成型并裁切为成品探针卡，其特征在于，所述精密探针卡冲裁模具包括定模机构和动模机构，所述动模机构滑动连接套接于所述定模机构上；
2.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，每个所述定模缓冲导向组件包括模架导向柱和套设在所述模架导向柱上的模架缓冲弹簧，每个所述模架导向柱固定安装于所述底座，所述冲模导向件为圆柱形构件，多个所述定模缓冲导向组件用于冲压时对所述动模机构进行导向并缓冲，多个所述冲模导向件也用于冲压时对所述动模机构进行导向。
3.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述定模机构还包括带有手柄的接料盒，所述接料盒滑动安装于所述底座下侧，所述接料盒用于收集调入所述落料通道的成品探针卡。
4.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述定模机构还包括至少一个顶簧，所述顶簧设于所述定模组件内位于所述u形夹块下，所述顶簧用于顶住支撑所述u形夹块并使所述u形夹块位置能轻微调整，所述顶簧用于防止所述u形夹块夹伤所述探针料。
5.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，每个所述弹簧连接组件包括内弹簧、内弹螺柱和隔套，所述内弹簧和隔套依次穿于所述内弹螺柱，所述内弹螺柱一端螺纹连接于所述动模下板组件，所述隔套一端顶于所述动模下板组件，所述内弹簧使所述动模上板组件与所述动模下板组件之间具有二次压缩间隙。
6.如权利要求1所述的精密探针卡冲裁模具，其特征在于，所述定模组件包括定模上板、定模座板、用于固定连接所述定模上板与所述定模座板的多个定模...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘志广，蒋文德，黎华盛，劳杰，
申请(专利权)人：道格特半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：
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