一种新型PECVD子载板制造技术

本技术公开了一种新型PECVD子载板，包括：具有一定宽度的板条形成的外部闭合内部中空的载板框架，在所述载板框架的内部中空区域设置网状钨丝，该网状钨丝形成多个十字交叉扣形状，在所述载板框架的外部闭合的板条区域之内以一定间距设置多个放置空间，所述放置空间内安装弹簧张紧机构，所述弹簧张紧机构包括U型块，所述U型块的开口部位朝外，在所述U型块的中空区域夹设压簧，所述十字交叉扣形状的钨丝的出线部穿过所述压簧与所述板条的边缘进行固定。本技术的优点是，结构简单实现自动的张紧补偿，有效解决载板在传送机构之间过渡时的抖动，减少破片、崩边概率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及pecvd设备，具体涉及一种新型pecvd子载板。

技术介绍

1、随着太阳能电池片生产的更新换代，在实际生产过程中，电池片在传递过程中，作为传递介质的pecvd载板的适宜性和灵活性，将会直接影响到电池片传递效率及传递故障率，从而影响到总体的生产效率。pecvd连续等离子体化学气相沉积(pecvd)镀膜设备，其镀膜方式已是高效异质结太阳能电池镀膜设备应用的主要技术；在pecvd镀膜的工艺过程中，pecvd载板是pecvd设备关键性的工装治具。pecvd载板如能良好设计，能够较好的减少边缘绕镀，减少破片、崩边、卡板等，提高电池片生产良率。

2、现有技术中的pecvd载板采用钨丝张紧方式，通过设置钨丝用于支撑不锈钢框架，通过钨丝张紧以提供一定的支撑力。具体实施方式是将钨丝直接绕在载板上，张紧后因钨丝与载板接触较多，阻力较大，基本无活动空间。因此，现有载板采用的钨丝张紧方式存在活动空间较小，使用中易出现过紧或过松现象，无法实现自动的张紧补偿，同时钨丝与载板接触较多，易被磨损，使用寿命较短又需经常更换。另外，不锈钢框架重量较重，导致承载过程中钨丝断裂的情况时有发生。

技术实现思路

1、本技术提出了一种新型pecvd子载板，解决上述现有技术存在的技术问题。

2、根据本技术的一个方面，提供了一种新型pecvd子载板，其特征在于，包括：具有一定宽度的板条形成的外部闭合内部中空的载板框架，在所述载板框架的内部中空区域设置网状钨丝，该网状钨丝形成多个十字交叉扣形状，在所述载板框架的外部闭合的板条区域之内以一定间距设置多个放置空间，所述放置空间内安装弹簧张紧机构，所述弹簧张紧机构包括u型块，所述u型块的开口部位朝外，在所述u型块的中空区域夹设压簧，所述十字交叉扣形状的钨丝的出线部穿过所述压簧与所述板条的边缘进行固定。

3、进一步地，所述弹簧张紧机构的中空区域还设置压簧压块，所述压簧压块抵接所述压簧，所述钨丝设置在压簧压块的上部。

4、进一步地，所述压簧压块设置多个螺孔，所述螺孔分布在所述钨丝的上下两侧。

5、进一步地，所述压簧压块的上部还设置钨丝压紧块。

6、进一步地，所述钨丝压紧块上设置固定螺钉。

7、进一步地，所述u型块的开口两部位的侧面设置拉紧螺钉。

8、进一步地，所述压簧压块的侧面设置顶紧螺钉。

9、进一步地，所述顶紧螺钉与压簧压块之间设置垫片。

10、进一步地，所述载板框架为氧化铝轻6063铝型材质。

11、进一步地，所述放置空间设置盖板。

12、由上述本技术提供的技术方案可以看出，采用本技术，载板框架边缘两侧均设有弹簧张紧机构，所述钨丝两端均固定在设有弹簧张紧机构载板框架上，通过弹簧张紧机构张紧构成网状结构，保证了钨丝的直线度和强度，实现自动的张紧补偿。网状钨丝的十字交叉扣避免了载板钨丝网状运行过程的波动性，不仅提高载板传送的平稳度，又能有效解决载板在传送机构之间过渡时的抖动，减少破片、崩边概率。

13、上述说明仅是本技术技术的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本技术的具体实施方式。

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【技术保护点】

1.一种新型PECVD子载板，其特征在于，包括：具有一定宽度的板条形成的外部闭合内部中空的载板框架，在所述载板框架的内部中空区域设置网状钨丝，该网状钨丝形成多个十字交叉扣形状，在所述载板框架的外部闭合的板条区域之内以一定间距设置多个放置空间，所述放置空间内安装弹簧张紧机构，所述弹簧张紧机构包括U型块，所述U型块的开口部位朝外，在所述U型块的中空区域夹设压簧，所述十字交叉扣形状的钨丝的出线部穿过所述压簧与所述板条的边缘进行固定。

2.根据权利要求1所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述弹簧张紧机构的中空区域还设置压簧压块，所述压簧压块抵接所述压簧，所述钨丝设置在压簧压块的上部。

3.根据权利要求2所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述压簧压块设置多个螺孔，所述螺孔分布在所述钨丝的上下两侧。

4.根据权利要求2所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述压簧压块的上部还设置钨丝压紧块。

5.根据权利要求4所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述钨丝压紧块上设置固定螺钉。

6.根据权利要求1所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述U型块的开口两部位的侧面设置拉紧螺钉。

7.根据权利要求2所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述压簧压块的侧面设置顶紧螺钉。

8.根据权利要求7所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述顶紧螺钉与压簧压块之间设置垫片。

9.根据权利要求1所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述载板框架为氧化铝轻6063铝型材质。

10.根据权利要求1所述的新型PECVD子载板，其特征在于，所述放置空间设置盖板。

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【技术特征摘要】

1.一种新型pecvd子载板，其特征在于，包括：具有一定宽度的板条形成的外部闭合内部中空的载板框架，在所述载板框架的内部中空区域设置网状钨丝，该网状钨丝形成多个十字交叉扣形状，在所述载板框架的外部闭合的板条区域之内以一定间距设置多个放置空间，所述放置空间内安装弹簧张紧机构，所述弹簧张紧机构包括u型块，所述u型块的开口部位朝外，在所述u型块的中空区域夹设压簧，所述十字交叉扣形状的钨丝的出线部穿过所述压簧与所述板条的边缘进行固定。

2.根据权利要求1所述的新型pecvd子载板，其特征在于，所述弹簧张紧机构的中空区域还设置压簧压块，所述压簧压块抵接所述压簧，所述钨丝设置在压簧压块的上部。

3.根据权利要求2所述的新型pecvd子载板，其特征在于，所述压簧压块设置多个螺孔，所述螺孔分布在所述钨丝的上下两侧。

【专利技术属性】
技术研发人员：张迎春，刘长见，王海龙，吴博，程飞，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：