本实用新型专利技术涉及一种超高纯氢氟酸的提纯装置，包括原料槽（１）、氧化处理器Ⅰ（２）、过滤器Ⅰ（３）、氧化处理器Ⅱ（４）、过滤器Ⅱ（５）、精馏塔（６）、冷却器（７）、过滤器（８）、吸收塔（９）、微滤器（１０）和成品接收器（１１）。本实用新型专利技术超高纯氢氟酸的提纯装置制备的产品纯度高，产量高，符合环保要求。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种超高纯氢氟酸的提纯装置。属电子化学品
(二)
技术介绍
氢氟酸(hydrofluoric, HF)，相对分子量20. 1，为无色透明液体，强 酸性；其对金属、玻璃有强烈的腐蚀性，为剧毒。氢氟酸密度(25°C)为 1.13g/ml(40重量。/。)。而超高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、 冰乙酸、过氧化氢和氢氧化铵等配合使用，主要用于超大规模集成电路工 艺技术的生产。目前普遍采用的氢氟酸的提纯装置是将工业无水氟化氢直接投入精 馏塔中，再在精馏塔中加高锰酸钾后精馏纯化，经吸收塔吸收后得到一种 纯化氟化氢。该装置生产的氢氟酸最大的缺点是氢氟酸的纯度不高，产量 低，吸收塔吸收性能差，部分没有被充分吸收的氢氟酸气体被排放到空气 中给环境造成污染。(三)
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足，提供一种产品纯度高，产量高， 符合环保要求的超高纯氢氟酸的提纯装置。本技术的目的是这样实现的 一种超高纯氢氟酸的提纯装置，包 括原料槽、氧化处理器I 、过滤器I 、氧化处理器II、过滤器II、精馏塔、 冷却器、过滤器、吸收塔、微滤器和成品接收器，所述原料槽出口与氧化 处理器I进口连接，所述氧化处理器I出口与过滤器I进口相连，所述过滤器i出口与氧化处理器n进口相连，所述氧化处理器n出口与过滤器n 进口相连，所述过滤器n出口与精馏塔进口相连，所述精馏塔出口与冷却 器进口相连，所述冷却器出口与过滤器进口相连，所述过滤器出口与吸收 塔进口相连，所述吸收塔出口与微滤器进口相连，所述微滤器出口与成品 接收器进口相连。本技术超高纯氢氟酸的提纯装置，所述吸收塔底部设置布气盘管。本技术超高纯氢氟酸的提纯装置，所述微滤器的微滤膜孔径为0.05 0.15fxm。本技术超高纯氢氟酸的提纯装置利用两次氧化装置充分利用氧化 剂高锰酸钾和过氧化氢的有效配合，将工业无水氟化氢中的二氧化硫和三 氟化砷杂质彻底氧化，加强了二氧化硫和三氟化砷杂质的分离，使难以挥 发的杂质在精馏过程中不被带出而存积于釜底另外排除，这样，既提高了 产品的纯度又实现了环保生产。本技术釆用的吸收塔能充分完全地吸收氟化氢气体，其原理是 由原来的利用吸收管下端的小孔来吸收气体，吸收效果差，改为现在的利 用吸收塔底部的布气盘管来释放气体，提高了吸收塔的吸收均匀度和大大 加强了吸收效率，产量增大3倍，并接近100%完全吸收。综上所述，本技术超高纯氢氟酸的提纯装置与目前的制备装置相 比较有如下优点1 、通过高锰酸钾和过氧化氢两次氧化的作用和冷却器的冷却及过滤作 用，彻底解决了三价砷等杂质不易除去这一难题，从而使产品纯度大大提 高，使制成的超高纯氢氟酸达到半导体SEMI-C12标准，完全满足超大规模集成电路的制造。具体指标如下颗粒度0.3uni《100个，纯度阳离子 《30ppb，阴离子《0. 05ppb。2、吸收塔能充分完全吸收被精馏纯化以后的超高纯氟化氢气体，在提 高吸收效率的同时也大大提高了产量，同时避免了部分没有被充分吸收的 氟化氢气体泄露到空气中，给环境造成污染，符合环保节能要求。附图说明图1为本技术超高纯氢氟酸的提纯装置示意图。图中原料槽l、氧化处理器I2、过滤器I3、氧化处理器I14、过滤器115、精馏塔6、冷却器7、过滤器8、吸收塔9、微滤器10、成品接收器ll。具体实施方式实施例1:如图1所示， 一种超高纯氢氟酸的提纯装置，由原料槽1、氧化处理器12、过滤器I3、氧化处理器I14、过滤器I15、精馏塔6、冷却器7、过 滤器8、吸收塔9、微滤器10和成品接收器11组成，所述原料槽1出口与 氧化处理器I 2进口连接，所述氧化处理器I 2出口与过滤器I 3进口相连，所述过滤器I 3出口与氧化处理器IH进口相连，所述氧化处理器I14出口 与过滤器II5进口相连，所述过滤器I15出口与精馏塔6进口相连，所述精 馏塔6出口与冷却器7进口相连，所述冷却器7出口与过滤器8进口相连， 所述过滤器8出口与吸收塔9进口相连，所述吸收塔9出口与微滤器10进 口相连，所述微滤器10出口与成品接收器11进口相连。将原料槽1中330kg工业无水氟化氢通入氧化处理器I 2，用氮气置换 氧化处理器I 2中的空气，控制氧化处理器I 2内压力《0. 1Mpa，然后加入 0.6kg高锰酸钾溶液，搅拌10分钟，静止20分钟，再将氧化处理器I2中 液体通过过滤器1 3进入氧化处理器I14，在氧化处理器I14中加入4kg 30 重量°/。的过氧化氢溶液，搅拌10分钟，静止20分钟，再将氧化处理器I14 中液体通过过滤器I15进入精馏塔6，然后升温至6(TC，氟化氢液体气化 生成纯化的氟化氢气体，将出精馏塔6的纯化的氟化氢气体通入冷却器7 冷却后，再经过滤器8过滤，过滤得再次纯化的氟化氢气体进入吸收塔9， 吸收塔9底部设置布气盘管，将出冷却器的氟化氢气体通入吸收塔9底部 的布气盘管，由布气盘管管壁上喷出后再由去离子水吸收制成氢氟酸半成 品；出吸收塔的氢氟酸半成品通入0. 05 0.15 u m的微滤器10在百级净化 环境(颗粒度0.5um控制在《100个)中过滤后得到570kg49。/。 (wt)的超 高纯氢氟酸成品，然后存入成品接收器11。检测结果颗粒度0.3um《100 个，纯度阳离子《30ppb，阴离子《0.05卯b。权利要求1、一种超高纯氢氟酸的提纯装置，其特征在于该装置包括原料槽(1)、氧化处理器I(2)、过滤器I(3)、氧化处理器II(4)、过滤器II(5)、精馏塔(6)、冷却器(7)、过滤器(8)、吸收塔(9)、微滤器(10)和成品接收器(11)，所述原料槽(1)出口与氧化处理器I(2)进口连接，所述氧化处理器I(2)出口与过滤器I(3)进口相连，所述过滤器I(3)出口与氧化处理器II(4)进口相连，所述氧化处理器II(4)出口与过滤器II(5)进口相连，所述过滤器II(5)出口与精馏塔(6)进口相连，所述精馏塔(6)出口与冷却器(7)进口相连，所述冷却器(7)出口与过滤器(8)进口相连，所述过滤器(8)出口与吸收塔(9)进口相连，所述吸收塔(9)出口与微滤器(10)进口相连，所述微滤器(10)出口与成品接收器(11)进口相连。2、 根据权利要求1所述的一种超高纯氢氟酸的提纯装置，其特征在于 所述吸收塔(9)底部设置布气盘管。3、 根据权利要求1或2所述的一种超高纯氢氟酸的提纯装置，其特征 在于所述微滤器(10)的微滤膜孔径为0.05 0.15nm。专利摘要本技术涉及一种超高纯氢氟酸的提纯装置，包括原料槽(1)、氧化处理器I(2)、过滤器I(3)、氧化处理器II(4)、过滤器II(5)、精馏塔(6)、冷却器(7)、过滤器(8)、吸收塔(9)、微滤器(10)和成品接收器(11)。本技术超高纯氢氟酸的提纯装置制备的产品纯度高，产量高，符合环保要求。文档编号C01B7/00GK201280430SQ20082016038公开日2009年7月29日 申请日期2008年9月18日 优先权日2008年9月18日专利技术者戈士勇 申请人:江阴市润玛电子材料有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种超高纯氢氟酸的提纯装置，其特征在于该装置包括原料槽（１）、氧化处理器Ⅰ（２）、过滤器Ⅰ（３）、氧化处理器Ⅱ（４）、过滤器Ⅱ（５）、精馏塔（６）、冷却器（７）、过滤器（８）、吸收塔（９）、微滤器（１０）和成品接收器（１１），所述原料槽（１）出口与氧化处理器Ⅰ（２）进口连接，所述氧化处理器Ⅰ（２）出口与过滤器Ⅰ（３）进口相连，所述过滤器Ⅰ（３）出口与氧化处理器Ⅱ（４）进口相连，所述氧化处理器Ⅱ（４）出口与过滤器Ⅱ（５）进口相连，所述过滤器Ⅱ（５）出口与精馏塔（６）进口相连，所述精馏塔（６）出口与冷却器（７）进口相连，所述冷却器（７）出口与过滤器（８）进口相连，所述过滤器（８）出口与吸收塔（９）进口相连，所述吸收塔（９）出口与微滤器（１０）进口相连，所述微滤器（１０）出口与成品接收器（１１）进口相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：戈士勇，
申请(专利权)人：江阴市润玛电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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