【技术实现步骤摘要】
本申请涉及缺陷检测，尤其是涉及一种基于液态显微镜头的景深测距方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、随着半导体行业的蓬勃发展，晶圆作为制造芯片的基础材料，其加工质量直接决定了后续芯片产品的良率和质量。受工艺、原材料等各种因素的影响，在如晶体生长、化学气相沉积等过程中，都可能缺陷，晶圆表面缺陷通常非常微小，形态结构多种多样且复杂。
2、化学机械抛光(cmp)是集成电路制造过程中实现晶圆表面平坦化的关键工艺，cmp工艺通过表面化学作用和机械研磨的技术相结合来实现晶圆表面微米/纳米级不同材料的去除，从而达到晶圆表面纳米级平坦化、低表面粗糙度和低缺陷的要求，使下一步的光刻工艺得以进行。
3、即使在cmp工艺下晶圆表面也并非绝对平坦化，且在如化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀等工艺后，晶圆表面发生了根本性变化，更不可能绝对平坦化。现有技术中为确保晶圆表面缺陷的高检出率，其核心之一在于获取到高精度且清晰的晶圆表面图像。由于晶圆表面非绝对平坦化的原因，在晶圆的不同位置上，其平面高度并不相同，因此为了获取到高精度且清晰的晶圆表面图像，在采集图像之前需要先利用测距模块在目标位置处确定该目标位置处的平面高度，进而确定相机在该目标位置处与目标焦距相匹配的高度，从而调整相机并进行图像采集以获得该目标位置对应的图像。
4、专利技术人发现，上述测量平面高度后调节相机位置以采集图像的方式，其在图像采集前均需要进行测量平面高度、调节相机的步骤，为保证晶圆的缺陷检测结果的准确性和一致性，其在晶圆表面图像获取阶段通常是整
技术实现思路
1、为了有助于解决相机焦距改变或相机高度设定存在问题，重新进行晶圆表面图像获取，而导致的时间消耗量大以及缺陷检测的效率低的问题，本申请提供一种基于液态显微镜头的景深测距方法、装置、设备及存储介质。
2、第一方面，本申请提供一种基于液态显微镜头的景深测距方法，采用如下技术方案：所述方法应用于景深测距系统，所述景深测距系统包括液态显微镜头，所述液态显微镜头用于获取待检测对象的图像，所述方法包括：
3、获取与待检测对象的对应区域的融合图像，及与所述融合图像对应的焦距面阵；
4、识别所述融合图像中的所述待检测对象的轮廓，并对应确定所述焦距面阵中的目标轮廓；
5、根据焦距转物理量高度计算公式，计算所述目标轮廓中各个像素的物理量高度，并生成对应待检测对象的平面高度图。
6、通过上述技术方案，采用液态显微镜头拍摄待检测对象，将拍摄的图像经过图像融合后获得清晰度较高的融合图像，图像中每个像素有对应的焦距，从而可以获得融合图像对应的焦距面阵，根据焦距面阵可以计算待检测对象的目标轮廓的每个像素对应的高度，生成平面高度图，从而可以通过平面高度图像实现景深测距。采用液态显微镜头进行景深测距，不需要在采集前进行平面高度测量、调整相机等步骤，从而可以节省检测的时间，提高缺陷检测的效率。
7、在一个具体的可实施方案中，所述获取与待检测对象的对应区域的融合图像包括：
8、获取焦距序列，根据所述焦距序列依次调节所述液态显微镜头的焦距，并依次获取图像，生成与所述待检测对象的对应区域的不同焦距的图像集合；
9、对所述图像集合中的所有图像进行图像融合，生成与所述待检测对象的对应区域的融合图像。
10、通过上述技术方案，待检测对象的对应区域的图像经过图像融合处理后，得到的融合图像清晰度和分辨率更高，采用融合图像进行景深测距可以提高测距结果的准确率。
11、在一个具体的可实施方案中，所述对所述图像集合中的所有图像进行图像融合包括：
12、基于所述图像集合，确定所述待检测对象的对应区域的标准图像并设定为目标标准图像；
13、基于所述目标标准图像的比例，将所述图像集合中的其余所述待检测对象的对应区域的图像的比例转换为所述目标标准图像的比例；
14、逐个识别所述图像集合中的所述待检测对象的对应区域的图像的清晰区域；
15、将识别的所述待检测对象的对应区域的图像的清晰区域进行图像融合。
16、通过上述技术方案，将根据不同焦距序列获得的不同比例的若干张图像中清晰区域进行图像融合，最终得到的融合图像包含了待检测对象更全面和更详细的信息，提高了融合图像的清晰度和分辨率。确定目标标准图像后将其余的图像比例都转换为标准图像的比例，从而统一图像比例。由于拍摄时比例不同，可能会导致图像在尺度上存在差异，若在融合过程中不进行尺度对齐，可能会在结果图像中产生畸变或错位；因此，通过统一图像比例，以实现图像尺度对齐，从而消除尺度差异，确保图像在融合时能够正确对应，进而获得更高质量的融合图像，使得融合图像的清晰度更高。
17、在一个具体的可实施方案中，所述景深测距系统还包括光照单元，所述光照单元用于为所述待检测对象提供光源，所述方法还包括：
18、在获取与待检测对象的对应区域的融合图像时，控制所述光照单元根据所述液态显微镜头距离所述待检测对象的高度调节照射的光强。
19、在一个具体的可实施方案中，所述控制所述光照单元根据所述液态显微镜头距离所述待检测对象的高度调节照射的光强包括：
20、所述液态显微镜头距离所述待检测对象的高度越低，照射所述待检测对象的光强越强。
21、通过上述技术方案，在液态显微镜头获取待检测对象的图像的过程中，实时调节光照强度以保证打光的效果，从而提高获取的图像质量，使得更有助于后续的测距等缺陷检测的工作。
22、在一个具体的可实施方案中，所述液态显微镜头采用分时频闪技术依次获取所述待检测对象的图像。
23、通过上述技术方案，采用分时频闪技术，使得在每个时间点的亮度范围都不同，在一次拍摄中获得多种光源效果图像，从而可以获得最佳成像效果。
24、在一个具体的可实施方案中，获取的所述待检测对象的对应区域的所述融合图像为彩色图像。
25、通过上述技术方案，直接采用全彩图像进行测距，彩色图像可以获得待检测对象更多的细节信息，避免黑白图像由于颜色信息丢失而导致的测距结果存在误差，从而可以提高测距结果的准确性。
26、第二方面，本申请提供一种基于液态显微镜头的景深测距装置，采用如下技术方案：所述装置应用于景深测距系统，所述景深测距系统包括液态显微镜头，所述液态显微镜头用于获取待检测对象的图像，所述装置包括：
27、信息获取模块，用于获取与待检测对象的对应区域的融合图像，及与所述融合图像对应的焦距面阵；
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【技术保护点】
1.一种基于液态显微镜头的景深测距方法，其特征在于：所述方法应用于景深测距系统，所述景深测距系统包括液态显微镜头，所述液态显微镜头用于获取待检测对象的图像，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述获取与待检测对象的对应区域的融合图像包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述对所述图像集合中的所有图像进行图像融合包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述景深测距系统还包括光照单元，所述光照单元用于为所述待检测对象提供光源，所述方法还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述控制所述光照单元根据所述液态显微镜头距离所述待检测对象的高度调节照射的光强包括：
6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述液态显微镜头采用分时频闪技术依次获取所述待检测对象的图像。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：获取的所述待检测对象的对应区域的所述融合图像为彩色图像。
8.一种基于液态显微镜头的景深测距装置，其特征在于：所述装置应用于景深测距系统，所述景深
9.一种计算机设备，其特征在于，包括存储器和处理器，所述存储器上存储有能够被处理器加载并执行如权利要求1至7中任一种方法的计算机程序。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，存储有能够被处理器加载并执行如权利要求1至7中任一种方法的计算机程序。
...【技术特征摘要】
1.一种基于液态显微镜头的景深测距方法，其特征在于：所述方法应用于景深测距系统，所述景深测距系统包括液态显微镜头，所述液态显微镜头用于获取待检测对象的图像，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述获取与待检测对象的对应区域的融合图像包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述对所述图像集合中的所有图像进行图像融合包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述景深测距系统还包括光照单元，所述光照单元用于为所述待检测对象提供光源，所述方法还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述控制所述光照单元根据所述液态显微镜头距离所述待检测对象的高度调节照射的光强包括：
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【专利技术属性】
技术研发人员：侯晓峰，朱磊，陈子健，张弛，
申请(专利权)人：上海感图网络科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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