【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其是指一种物料盒净化装置和机构。
技术介绍
1、在半导体生产领域，通常采用晶圆盒进行输送和放置晶圆，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商通常利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。半导体设备包括前端模块和吹扫装置，前端模块具有微环境，并设置有用于承载晶圆盒的承载台。由于晶圆在存储时对于其存储环境具有较高要求，湿度和灰尘会对晶圆表面造成损害，导致芯片性能下降，因此对晶圆盒内部的环境也具备一定的要求，现有技术中会对晶圆盒进行吹扫，从而使其符合晶圆存储要求。
2、在现有技术中，一般通过人工方式对晶圆盒内部进行吹扫，效率较为低下，从而使得整个工序较为繁琐，同时增加了作业人员的工作量及人力投入，增加了人力成本投入。
技术实现思路
1、为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供了一种物料盒净化装置、机构及半导体设备，能够对晶圆盒实现批量自动化吹扫，从而实现晶圆盒内部的净化，并且本技术的操作便利，能够简化工序，从而有效减少作业人员的人力投入。
2、为解决上述技术问题，本技术提供了一种物料盒净化装置，包括，
3、支架单元，其包括至少一个用于承载待净化物料盒的支架组件，所述支架组件包括支撑底座、设置于所述支撑底座的至少一个第一进气口、以及至少一个第一排气口，所述支撑底座的端部向上弯折形成收容槽，所述待净化物料盒收容于所述收容槽，所述第一进气口与所述待净化物料盒的进气口对接，所述第一排气口与所述待净化物料盒的排气口对接；p>
4、管路单元，其包括架体、进气单元和出气单元；所述进气单元包括气源、气源处理组件以及进气主管，所述气源处理组件设置于所述架体，所述进气主管的一端连接至所述气源、另一端与所述第一进气口相连；所述出气单元包括出气主管，所述出气主管与所述第一排气口相连，所述待净化物料盒装配于所述支架组件时，所述出气主管与所述进气主管相通。
5、在本技术的一个实施例中，所述支架组件设有两个及以上时，所述进气单元还包括至少一个进气分管，所述出气单元还包括至少一个出气分管；每个所述支架组件配置为与所述进气分管和所述出气分管相连，所述进气分管配置为一端与所述进气主管相连、另一端与所述第一进气口相连，所述出气分管配置为一端与所述出气主管相连、另一端与所述第一排气口相连。
6、在本技术的一个实施例中，所述支撑底座上设有用于对所述待净化物料盒进行定位的定位件。
7、在本技术的一个实施例中，所述气源处理组件包括用于调节进气压力的第一阀体，所述第一阀体安装于所述进气主管。
8、在本技术的一个实施例中，所述出气单元还包括与所述出气主管相连的集尘器，所述集尘器安装于所述架体。
9、在本技术的一个实施例中，所述进气单元还包括设置于所述支撑底座的第一控制阀，所述第一控制阀与所述第一进气口相连、控制所述第一进气口的开闭。
10、在本技术的一个实施例中，所述出气单元还包括设置于所述支撑底座的第二控制阀，所述第二控制阀与所述第一排气口相连、控制所述第一排气口的开闭。
11、在本技术的一个实施例中，还包括湿度传感器，所述湿度传感器设置于所述支撑底座且与所述第一排气口相连，所述湿度传感器用于检测排出气体的湿度。
12、在本技术的一个实施例中，还包括压力传感器，所述压力传感器设置于所述支撑底座，用于检测所述待净化物料盒内的压力。
13、在本技术的一个实施例中，还包括设置于所述架体的电气柜，所述电气柜与所述支架单元、进气单元以及所述出气单元电连接。
14、本技术还提供了一种物料盒净化机构，包括框架单元以及如上述的一种物料盒净化装置，所述框架单元具有能够置放所述物料盒净化装置的横梁，所述物料盒净化装置沿所述横梁的长度方向依次设置。
15、本技术还提供了一种半导体设备，包括晶圆盒以及如上述的一种物料盒净化机构，所述晶圆盒装配于所述物料盒净化机构，通过所述物料盒净化机构对所述晶圆盒内部进行吹扫。
16、本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
17、本技术所述的一种物料盒净化装置，设有支架单元以及管路单元，支架单元包括至少一个支架组件，支架组件包括支撑底座、第一进气口以及第一排气口，其中第一进气口的一端与待净化物料盒的进气口进行对接，另一端与进气单元相连，第一排气口的一端与待净化物料盒的出气口对接，当待净化物料盒装配于支撑底座，通过第一进气口向待净化物料盒内通入用于吹扫的气体，进行吹扫后，再通过第一排气口将物料盒内的气体排出，实现对物料盒内的气体置换，达到降湿及净化目的。本技术的结构简单，且便于待净化物料盒与支架组件进行装配，相较于现有的吹扫方式，只需将待净化物料盒置放于支架组件，待完成净化后再移走物料盒，从而简化工序，并能够实现对待净化物料盒的批量净化，并有效减少人力投入。
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1.一种物料盒净化装置，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述支架组件设有两个及以上时，所述进气单元还包括至少一个进气分管，所述出气单元还包括至少一个出气分管；每个所述支架组件配置为与所述进气分管和所述出气分管相连，所述进气分管配置为一端与所述进气主管相连、另一端与所述第一进气口相连，所述出气分管配置为一端与所述出气主管相连、另一端与所述第一排气口相连。
3.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述气源处理组件包括用于调节进气压力的第一阀体，所述第一阀体安装于所述进气主管。
4.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述出气单元还包括与所述出气主管相连的集尘器，所述集尘器安装于所述架体。
5.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述进气单元还包括设置于所述支撑底座的第一控制阀，所述第一控制阀与所述第一进气口相连、控制所述第一进气口的开闭。
6.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述出气单元还包括设置于
7.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：还包括湿度传感器，所述湿度传感器设置于所述支撑底座且与所述第一排气口相连，所述湿度传感器用于检测排出气体的湿度。
8.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：还包括压力传感器，所述压力传感器设置于所述支撑底座，用于检测所述待净化物料盒内的压力。
9.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：还包括设置于所述架体的电气柜，所述电气柜与所述支架单元、进气单元以及所述出气单元电连接。
10.一种物料盒净化机构，其特征在于：包括框架单元以及如权利要求1-9中任意一项所述的一种物料盒净化装置，所述框架单元具有能够置放所述物料盒净化装置的横梁，所述物料盒净化装置沿所述横梁的长度方向依次设置。
...【技术特征摘要】
1.一种物料盒净化装置，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述支架组件设有两个及以上时，所述进气单元还包括至少一个进气分管，所述出气单元还包括至少一个出气分管；每个所述支架组件配置为与所述进气分管和所述出气分管相连，所述进气分管配置为一端与所述进气主管相连、另一端与所述第一进气口相连，所述出气分管配置为一端与所述出气主管相连、另一端与所述第一排气口相连。
3.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述气源处理组件包括用于调节进气压力的第一阀体，所述第一阀体安装于所述进气主管。
4.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述出气单元还包括与所述出气主管相连的集尘器，所述集尘器安装于所述架体。
5.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化装置，其特征在于：所述进气单元还包括设置于所述支撑底座的第一控制阀，所述第一控制阀与所述第一进气口相连、控制所述第一进气口的开闭。
...【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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