【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式涉及显示装置及其制造方法。
技术介绍
1、近年来，应用有机发光二极管(oled)作为显示元件的显示装置被实用化。该显示元件具备包含薄膜晶体管的像素电路、与像素电路连接的下电极、覆盖下电极的有机层、和覆盖有机层的上电极。有机层除了发光层以外还包含空穴传输层、电子传输层等功能层。
2、在制造这样的显示元件的过程中，需要提高制造成品率的技术。
技术实现思路
1、实施方式的目的在于提供能够提高制造成品率的显示装置及其制造方法。
2、根据一个实施方式，在显示装置的制造方法中，
3、形成无机绝缘层，该无机绝缘层覆盖位于显示区域的下电极、位于所述显示区域的外侧的周边区域的供电端子、和用于安装信号源的安装端子；以在所述无机绝缘层之上形成的第1抗蚀剂为掩模进行蚀刻，在所述无机绝缘层上形成使所述供电端子露出的第1开口；在将所述第1抗蚀剂除去后形成隔壁，该隔壁具有在所述显示区域中位于所述无机绝缘层之上并在所述周边区域中经由所述第1开口而与所述供电端子接触的导电性的下部、和位于所述下部之上并从所述下部的侧面突出的上部；以在所述无机绝缘层及所述隔壁之上形成的第2抗蚀剂为掩模进行蚀刻，在所述无机绝缘层上形成使所述下电极露出的第2开口；在将所述第2抗蚀剂除去后，以所述隔壁为掩模蒸镀第1材料，形成经由所述第2开口而与所述下电极接触的有机层；以所述隔壁为掩模蒸镀第2材料，形成覆盖所述有机层并与所述隔壁的所述下部接触的上电极。
4、根据一个实施方式，
5、基板；有机绝缘层，其在所述基板的上方以遍及显示区域及所述显示区域的外侧的周边区域的方式配置；下电极，其在所述显示区域中配置在所述有机绝缘层之上；供电端子，其在所述周边区域中配置在所述有机绝缘层之上；安装端子，其在所述周边区域中从所述有机绝缘层的第1贯通孔露出；无机绝缘层，其在所述有机绝缘层之上以遍及所述显示区域及所述周边区域的方式配置，并具有使所述供电端子露出的第1开口、使所述下电极露出的第2开口、和使所述安装端子露出的第3开口；隔壁，其具有配置在所述无机绝缘层之上并经由所述第1开口而与所述供电端子接触的导电性的下部、和配置在所述下部之上并从所述下部的侧面突出的上部；有机层，其经由所述第2开口而与所述下电极接触；和上电极，其覆盖所述有机层，并与所述隔壁的所述下部接触。
6、根据一个实施方式，显示装置具备：
7、基板；有机绝缘层，其在所述基板的上方以遍及显示区域及所述显示区域的外侧的周边区域的方式配置；下电极，其在所述显示区域中配置在所述有机绝缘层之上；供电端子，其在所述周边区域中配置在所述有机绝缘层之上；无机绝缘层，其在所述有机绝缘层之上以遍及所述显示区域及所述周边区域的方式配置，并具有使所述供电端子露出的第1开口和使所述下电极露出的第2开口；隔壁，其具有配置在所述无机绝缘层之上并经由所述第1开口而与所述供电端子接触的导电性的下部、和配置在所述下部之上并从所述下部的侧面突出的上部；有机层，其经由所述第2开口而与所述下电极接触；和上电极，其配置在所述有机层之上，并与所述隔壁的所述下部接触。
8、根据实施方式，能够提供能提高制造成品率的显示装置及其制造方法。
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1.显示装置的制造方法，其中，
2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，在以所述第2抗蚀剂为掩模进行蚀刻的工序中，还在所述无机绝缘层上形成使所述安装端子露出的第3开口。
3.根据权利要求2所述的显示装置的制造方法，其中，所述无机绝缘层覆盖用于连接检查探针的检查端子，
4.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，在将所述第2抗蚀剂除去后且在形成所述有机层前，
5.根据权利要求4所述的显示装置的制造方法，其中，所述无机绝缘层覆盖用于连接检查探针的检查端子，
6.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，在以所述第2抗蚀剂为掩模进行蚀刻的工序中，还将与所述安装端子重叠的所述无机绝缘层的一部分除去，
7.根据权利要求6所述的显示装置的制造方法，其中，所述无机绝缘层覆盖用于连接检查探针的检查端子，
8.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，所述无机绝缘层由硅氧氮化物(SiON)形成。
9.显示装置，其具备：
10.根据权利要求9所述的显示装置，其还具备在所
11.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述下电极及所述供电端子由彼此相同的材料形成，
12.根据权利要求9所述的显示装置，其中，所述无机绝缘层由硅氧氮化物(SiON)形成。
13.根据权利要求9所述的显示装置，其中，所述第3开口与所述第1贯通孔重叠，并使包围所述第1贯通孔的所述有机绝缘层露出。
14.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述第4开口与所述第2贯通孔重叠，并使包围所述第2贯通孔的所述有机绝缘层露出。
15.根据权利要求9所述的显示装置，其进一步具备：
16.显示装置，其具备：
17.根据权利要求16所述的显示装置，其中，所述下电极及所述供电端子由彼此相同的材料形成。
18.根据权利要求16所述的显示装置，其中，所述下电极及所述供电端子分别为包含透明电极和金属电极的多层体。
19.根据权利要求16所述的显示装置，其中，所述供电端子是用于向所述上电极供给共同电压的端子。
20.根据权利要求16所述的显示装置，其进一步具备：
...【技术特征摘要】
1.显示装置的制造方法，其中，
2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，在以所述第2抗蚀剂为掩模进行蚀刻的工序中，还在所述无机绝缘层上形成使所述安装端子露出的第3开口。
3.根据权利要求2所述的显示装置的制造方法，其中，所述无机绝缘层覆盖用于连接检查探针的检查端子，
4.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，在将所述第2抗蚀剂除去后且在形成所述有机层前，
5.根据权利要求4所述的显示装置的制造方法，其中，所述无机绝缘层覆盖用于连接检查探针的检查端子，
6.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，在以所述第2抗蚀剂为掩模进行蚀刻的工序中，还将与所述安装端子重叠的所述无机绝缘层的一部分除去，
7.根据权利要求6所述的显示装置的制造方法，其中，所述无机绝缘层覆盖用于连接检查探针的检查端子，
8.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，所述无机绝缘层由硅氧氮化物(sion)形成。
9.显示装置，其具备：
10.根据权利要求9所述的显示装置，其还具备在所述周边区域中从所述...
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