【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池生产，尤其涉及一种管式pecvd设备。
技术介绍
1、管式pecvd设备是目前光伏行业主流的沉积设备，工作原理为在500℃左右的温度中，利用射频电源放电来电离工艺气体从而实现对硅片表面进行镀膜。现有技术中，管式pecvd设备包括管式炉和设于管式炉内的石墨舟载体，石墨舟载体用于承载硅片，石墨舟载体相邻的两个舟片互为阴阳极，将射频电源的正负两个电极引入到石墨舟载体上实现放电，管式炉的炉体外壁布置加热丝，通过加热丝向管式炉内辐射热量进行加热。
2、然而，炉体长度约为2.5米至3.0米，一般分为六个温区，每个温区均配置2段至4段加热丝，制备时涉及到加热丝在炉体上缠绕、加热丝与炉体注塑以及加热丝接线等步骤，流程繁琐、使用成本较高。另外，当加热丝断裂需要更换或维修时，需要拆掉整个炉体，工作量大，影响了设备产能。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种管式pecvd设备，简化炉体的制备流程，以降低成本，方便后续维修和维护，避免影响设备产能。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种管式pecvd设备，包括：
4、管式炉，包括带有开口的炉体和可拆卸连接于所述开口处的炉门；
5、电极杆组件，包括两个第一电极杆和两个第二电极杆，两个所述第一电极杆设于所述炉体，两个所述第二电极杆设于所述炉门；
6、石墨舟载体，设于所述管式炉内，所述第一电极杆和所述第二电极杆插接于所述石墨舟载体的两端，所述电极杆组件
7、在一些可能的实施方式中，两个所述第一电极杆和两个所述第二电极杆对应电连接形成两个所述加热回路，两个所述第一电极杆与外界电源连接形成所述放电回路或两个所述第二电极杆与外界电源连接形成所述放电回路。
8、在一些可能的实施方式中，所述第一电极杆和所述第二电极杆连接于所述石墨舟载体沿第一方向的两端，两个所述第一电极杆沿第二方向间隔设置，两个所述第二电极杆沿所述第二方向间隔设置，位于同一侧的所述第一电极杆和所述第二电极杆对应连接。
9、在一些可能的实施方式中，所述石墨舟载体包括多个平行设置的舟片，奇数片的所述舟片连接形成第一石墨舟载体，偶数片的所述舟片连接形成第二石墨舟载体，两个所述第二电极杆对应插接于所述第一石墨舟载体和所述第二石墨舟载体。
10、在一些可能的实施方式中，所述石墨舟载体还包括设于多个所述舟片两端的第一导电组件和第二导电组件，所述第一导电组件包括两个第一安装架，所述第二导电组件包括两个第二安装架，奇数片的所述舟片通过一个所述第一安装架和一个所述第二安装架连接形成第一石墨舟载体，偶数片的所述舟片通过另一个所述第一安装架和另一个所述第二安装架连接形成第二石墨舟载体，所述第一电极杆对应插于所述第一安装架，所述第二电极杆对应插于所述第二安装架。
11、在一些可能的实施方式中，所述舟片上设有多个用于装载硅片的装载位。
12、在一些可能的实施方式中，所述第一电极杆和所述炉体通过紧固件连接，所述第二电极杆与所述炉门通过紧固件连接。
13、在一些可能的实施方式中，所述炉体包括炉管和法兰，所述法兰和所述炉门连接于所述炉管的两侧，所述第一电极杆连接于所述法兰。
14、在一些可能的实施方式中，还包括温度检测件，所述温度检测件用于检测所述石墨舟载体的温度。
15、在一些可能的实施方式中，所述温度检测件为热电偶。
16、本技术的有益效果：
17、本技术提供的一种管式pecvd设备，将石墨舟载体送入炉体中，在此过程中，石墨舟载体插接于第一电极杆的一端；关闭炉门，炉门关闭过程中，第二电极杆插接于石墨舟载体的另一端，石墨舟载体进入管式炉内的过程中，实现了石墨舟载体在管式炉内部的电气连接。第一电极杆和第二电极杆在管式炉外部的一端实现电气连接，通电后，实现了在石墨舟载体上形成加热回路和放电回路，以对硅片进行镀膜。通过石墨舟载体作为加热体，能够将热量直接传递给硅片，避免了传统结构中，使用电热丝进行加热，简化了炉体的制备工艺，并且无需加热丝接线，简化了流程，降低了成本。当发现石墨舟载体出现加热故障时，可以随时替换备件，替换过程简单，方便进行维护、维修，避免了影响设置产能。
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1.一种管式PECVD设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备，其特征在于，两个所述第一电极杆(2)和两个所述第二电极杆(3)对应电连接形成两个所述加热回路(A)，两个所述第一电极杆(2)与外界电源连接形成所述放电回路(B)或两个所述第二电极杆(3)与外界电源连接形成所述放电回路(B)。
3.根据权利要求2所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述第一电极杆(2)和所述第二电极杆(3)连接于所述石墨舟载体(4)沿第一方向的两端，两个所述第一电极杆(2)沿第二方向间隔设置，两个所述第二电极杆(3)沿所述第二方向间隔设置，位于同一侧的所述第一电极杆(2)和所述第二电极杆(3)对应连接。
4.根据权利要求2所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述石墨舟载体(4)包括多个平行设置的舟片(41)，奇数片的所述舟片(41)连接形成第一石墨舟载体，偶数片的所述舟片(41)连接形成第二石墨舟载体，两个所述第二电极杆(3)对应插接于所述第一石墨舟载体和所述第二石墨舟载体。
5.根据权利要求4所述的管式PECVD设备，其特
6.根据权利要求4所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述舟片(41)上设有多个用于装载硅片的装载位(411)。
7.根据权利要求1所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述第一电极杆(2)和所述炉体(11)通过紧固件连接，所述第二电极杆(3)与所述炉门(12)通过紧固件连接。
8.根据权利要求1所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述炉体(11)包括炉管(111)和法兰(112)，所述法兰(112)和所述炉门(12)连接于所述炉管(111)的两侧，所述第一电极杆(2)连接于所述法兰(112)。
9.根据权利要求1-8任一项所述的管式PECVD设备，其特征在于，还包括温度检测件，所述温度检测件用于检测所述石墨舟载体(4)的温度。
10.根据权利要求9所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述温度检测件为热电偶。
...【技术特征摘要】
1.一种管式pecvd设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的管式pecvd设备，其特征在于，两个所述第一电极杆(2)和两个所述第二电极杆(3)对应电连接形成两个所述加热回路(a)，两个所述第一电极杆(2)与外界电源连接形成所述放电回路(b)或两个所述第二电极杆(3)与外界电源连接形成所述放电回路(b)。
3.根据权利要求2所述的管式pecvd设备，其特征在于，所述第一电极杆(2)和所述第二电极杆(3)连接于所述石墨舟载体(4)沿第一方向的两端，两个所述第一电极杆(2)沿第二方向间隔设置，两个所述第二电极杆(3)沿所述第二方向间隔设置，位于同一侧的所述第一电极杆(2)和所述第二电极杆(3)对应连接。
4.根据权利要求2所述的管式pecvd设备，其特征在于，所述石墨舟载体(4)包括多个平行设置的舟片(41)，奇数片的所述舟片(41)连接形成第一石墨舟载体，偶数片的所述舟片(41)连接形成第二石墨舟载体，两个所述第二电极杆(3)对应插接于所述第一石墨舟载体和所述第二石墨舟载体。
5.根据权利要求4所述的管式pecvd设备，其特征在于，所述石墨舟载体(4)还包括设于多个所述舟片(41)两端的第一导电组件(42)和第二导电组件(43)，所述第一导电组件(42)包括两个第一安装架...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，牛富荣，刘金宇，
申请(专利权)人：浙江晶盛光子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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