【技术实现步骤摘要】
本技术涉及oca贴合制程过程设备，具体涉及一种硬对硬真空腔体。
技术介绍
1、现有的技术中，oca贴合设备的真空腔体是重要的机构之一，现有抽真空机构大多采用单泵控制单腔体抽真空，现有抽真空机构存在如下缺点：（1）抽真空腔体空间大，抽真空效率低。（2）uvw对位平台在腔体里面，影响抽真空速度。（3）真空对接管和腔体没有隔开，影响旋转角度。
技术实现思路
1、本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种硬对硬真空腔体。
2、本技术所述的一种硬对硬真空腔体，包括上真空腔体、下真空体，该下真空体上安装有上真空腔体；
3、所述上真空腔体包括上腔体，该上腔体的顶面四周安装有四根直线轴承导柱，四根直线轴承导柱上安装有中间水平板，该中间水平板的底面四周分别安装有滑块一，该中间水平板的顶面中间安装有背压气缸，背压气缸上安装有气缸底板，该气缸底板的顶面中部安装有丝杆固定座，丝杆固定座上安装有丝杆，丝杆的顶端通过联轴器与伺服电机相连，伺服电机安装在丝杆固定座顶面上；所述气缸底板的顶面左右两侧分别安装有方形安装座，方形安装座上安装有辅助气缸，辅助气缸的缸轴上安装有浮动接头；所述气缸底板的底面四周分别安装有上箱直线滑块二；四个滑块一、四个上箱直线滑块二分别安装有四个竖向导轨，四个竖向导轨分别安装在上腔体四周，四个竖向导轨的底端分别安装有导轨挡板安装座，四个导轨挡板安装座安装在o贴合设备的支架上两侧；
4、所述下真空体包括安装底板，该安装底板的顶面四周分别安装有下腔体
5、进一步地， 所述上腔体的顶面中部安装有真空表。
6、进一步地，所述上腔体的前面设置有中部腔体视窗。
7、进一步地，所述下腔体的底面一侧端处安装有真空对接板。
8、采用上述结构后，本技术有益效果为：本技术所述的一种硬对硬真空腔体，它在有效贴合尺寸不变的情况下，安装在上腔体z轴丝杆下压保压，压力电气比例阀控制，具有简便，真空效率更高，便于调试，腔体的使用率高等优点。
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1.一种硬对硬真空腔体，其特征在于：包括上真空腔体、下真空体，该下真空体上安装有上真空腔体；
2.根据权利要求1所述的一种硬对硬真空腔体，其特征在于：所述上腔体的顶面中部安装有真空表。
3.根据权利要求1所述的一种硬对硬真空腔体，其特征在于：所述上腔体的前面设置有中部腔体视窗。
4.根据权利要求1所述的一种硬对硬真空腔体，其特征在于：所述下腔体的底面一侧端处安装有真空对接板。
【技术特征摘要】
1.一种硬对硬真空腔体，其特征在于：包括上真空腔体、下真空体，该下真空体上安装有上真空腔体；
2.根据权利要求1所述的一种硬对硬真空腔体，其特征在于：所述上腔体的顶面中部安装有真空表。
【专利技术属性】
技术研发人员：潘建，黄成信，黎晓峰，
申请(专利权)人：深圳市特信自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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