【技术实现步骤摘要】
本技术涉及效应管拉晶,尤其涉及一种上料稳定的效应管拉晶装置。
技术介绍
1、效应管是一种由金属、氧化物和半导体构成的效应晶体管,是一种半导体器件,这个器件有两个电极,一个是金属,另一个则是外在硅,硅是一种半导体材料,其中单晶硅是大多数半导体元器件的基底材料,现在的绝大多数的单晶硅都是利用拉晶炉通过直拉法制成的,它们之间由一层薄薄的二氧化硅分隔开,这其中半导体材料是必不可缺的,而拉晶是指在制造晶棒时,将其内部的分子结构进行排列的过程就是拉晶,原料放置在拉晶管中,拉晶时拉晶管处在均衡环境中有利于晶棒里面分子整齐的排列,而在拉晶时,其主要通过将其拉晶管置于拉晶炉中,并通过拉晶炉中提供一定的温度,使得拉晶管中形成柱形的晶棒,并用于后续的晶棒切割形成晶粒,场效应管能在很小电流和很低电压的条件下工作,而且它的制造工艺可以很方便地把很多场效应管集成在一块硅片上,因此场效应管在大规模集成电路中得到了广泛的应用,然而大多数效应管拉晶装置,更多是在装置内进行效应管上料操作,易使装置内产生杂质,污染装置内部环境,影响后续拉晶作业效果。
技术实现思路
1、为了克服大多数效应管拉晶装置,在拉晶作业前,更多是在装置内进行效应管上料操作,易使装置内产生杂质,污染装置内部环境,影响后续拉晶作业效果的问题。
2、本技术的技术方案为:一种上料稳定的效应管拉晶装置,包括有拉晶组件、调节组件、密封组件、导流组件、第一上料组件和第二上料组件;拉晶组件一侧设置有调节组件,调节组件一侧设置有密封组件,密封组件一侧设
3、优选的,通过拉晶组件进行效应管拉晶作业,利用调节组件调节装置闭合状态,通过密封组件使装置封闭,确保装置有效加工作业,利用导流组件注入氩气,避免杂质影响拉晶作业,通过第一上料组件移动第二上料组件,利用第二上料组件稳定放置效应管,从而实现降低杂质进入装置内部的可能,确保拉晶作业有效进行的效果,增强装置实用价值。
4、作为优选,拉晶组件包括有底座和单晶坩埚;底座一侧设置有单晶坩埚;通过底座固定支撑装置其他各组件,保障装置稳定运行,利用单晶坩埚进行拉晶作业,从而实现稳定拉晶作业的效果。
5、作为优选,调节组件包括有第一液压杆、第一外壳和排气管道;底座一侧设置有第一液压杆,第一液压杆设置有两组,第一液压杆一端设置有第一外壳,第一外壳一侧设置有排气管道;伸缩第一液压杆调节第一外壳高度,利用第一外壳灵活封闭、打开装置,通过排气管道将注入装置内的氩气排出。
6、作为优选,密封组件包括有第一凸块、第二液压杆和第二外壳;第一外壳外侧设置有第一凸块,第一凸块一侧设置有第二液压杆,第二液压杆外侧设置有第二外壳;通过第一凸块固定连接第二液压杆,伸缩第二液压杆调整第二外壳位置,从而实现完全封闭装置的效果。
7、作为优选,导流组件包括有注气管道和注气喷头;第一外壳一侧设置有注气管道,注气管道设置有两组,注气管道一侧设置有注气喷头,注气喷头设置有多组;通过注气管道输入氩气,利用注气喷头将氩气注入装置内,从而实现保护效应管有效进行拉晶作业的效果。
8、作为优选,第一上料组件包括有第三液压杆、第一板块、第一凹槽、丝杆和电机;第一外壳内侧设置有第三液压杆,第三液压杆设置有两组,第三液压杆一端设置有第一板块,第一板块底面开设有第一凹槽,第一凹槽内侧设置有丝杆,丝杆一端设置有电机,电机输出端与丝杆相互连接;伸缩第三液压杆调节第一板块高度,利用第一板块固定第一凹槽位置,通过第一凹槽明确丝杆长度,通过控制电机使丝杆转动,转动丝杆带动效应管水平移动,从而实现便捷拿取、放置效应管的效果。
9、作为优选,第二上料组件包括有第一连接杆、第二板块、第二凹槽和网格挡板;丝杆外侧设置有第一连接杆,第一连接杆一侧设置有第二板块,第二板块一侧开设有第二凹槽,第二凹槽开设有多组,第一连接杆一端设置有网格挡板;通过第一连接杆连接固定第二板块,通过第二板块固定第二凹槽位置,通过第二凹槽将效应管稳定放置在第二板块,利用网格挡板支撑效应管。
10、本技术的有益效果:
11、1、相较于传统的效应管拉晶装置,大多利用夹具夹取效应管,效应管上料操作更多是在装置内进行,易使装置内产生杂质,污染装置内部环境,影响后续拉晶作业效果,通过在装置外进行效应管上料操作的方式,降低杂质进入装置内部的可能,确保拉晶作业有效进行,使装置设计更加人性化,增强装置实用价值;
12、2、在进行效应管上料操作时,伸缩第三液压杆调节第一板块高度,利用第一板块固定第一凹槽位置,通过第一凹槽明确丝杆长度,通过控制电机使丝杆转动,转动丝杆带动第一连接杆水平移动,通过第一连接杆连接固定第二板块,通过第二板块固定第二凹槽位置,通过第二凹槽将效应管稳定放置在第二板块,利用网格挡板支撑效应管,以解决大多数效应管拉晶装置,更多是在装置内进行效应管上料操作,易使装置内产生杂质,污染装置内部环境的问题,保障装置后续拉晶作业效果;
13、3、通过底座固定支撑装置其他各组件,保障装置稳定运行,利用单晶坩埚进行拉晶作业,伸缩第一液压杆调节第一外壳高度,利用第一外壳灵活封闭、打开装置,通过排气管道将注入装置内的氩气排出,通过第一凸块固定连接第二液压杆,伸缩第二液压杆调整第二外壳位置,从而实现完全封闭装置的效果,通过注气管道输入氩气,利用注气喷头将氩气注入装置内,从而实现保护效应管有效进行拉晶作业的效果。
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1.一种上料稳定的效应管拉晶装置,包括有拉晶组件(1);其特征在于:还包括有调节组件(2)、密封组件(3)、导流组件(4)、第一上料组件(5)和第二上料组件(6);拉晶组件(1)一侧设置有调节组件(2),调节组件(2)一侧设置有密封组件(3),密封组件(3)一侧设置有导流组件(4),导流组件(4)一侧设置有第一上料组件(5),第一上料组件(5)底面设置有第二上料组件(6)。
2.根据权利要求1所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:拉晶组件(1)包括有底座(101)和单晶坩埚(102);底座(101)一侧设置有单晶坩埚(102)。
3.根据权利要求2所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:调节组件(2)包括有第一液压杆(201)、第一外壳(202)和排气管道(203);底座(101)一侧设置有第一液压杆(201),第一液压杆(201)设置有两组,第一液压杆(201)一端设置有第一外壳(202),第一外壳(202)一侧设置有排气管道(203)。
4.根据权利要求3所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:密封组件(3)包括有
5.根据权利要求3所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:导流组件(4)包括有注气管道(401)和注气喷头(402);第一外壳(202)一侧设置有注气管道(401),注气管道(401)设置有两组,注气管道(401)一侧设置有注气喷头(402),注气喷头(402)设置有多组。
6.根据权利要求3所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:第一上料组件(5)包括有第三液压杆(501)、第一板块(502)、第一凹槽(503)、丝杆(504)和电机(505);第一外壳(202)内侧设置有第三液压杆(501),第三液压杆(501)设置有两组,第三液压杆(501)一端设置有第一板块(502),第一板块(502)底面开设有第一凹槽(503),第一凹槽(503)内侧设置有丝杆(504),丝杆(504)一端设置有电机(505),电机(505)输出端与丝杆(504)相互连接。
7.根据权利要求6所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:第二上料组件(6)包括有第一连接杆(601)、第二板块(602)、第二凹槽(603)和网格挡板(604);丝杆(504)外侧设置有第一连接杆(601),第一连接杆(601)一侧设置有第二板块(602),第二板块(602)一侧开设有第二凹槽(603),第二凹槽(603)开设有多组,第一连接杆(601)一端设置有网格挡板(604)。
...【技术特征摘要】
1.一种上料稳定的效应管拉晶装置,包括有拉晶组件(1);其特征在于:还包括有调节组件(2)、密封组件(3)、导流组件(4)、第一上料组件(5)和第二上料组件(6);拉晶组件(1)一侧设置有调节组件(2),调节组件(2)一侧设置有密封组件(3),密封组件(3)一侧设置有导流组件(4),导流组件(4)一侧设置有第一上料组件(5),第一上料组件(5)底面设置有第二上料组件(6)。
2.根据权利要求1所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:拉晶组件(1)包括有底座(101)和单晶坩埚(102);底座(101)一侧设置有单晶坩埚(102)。
3.根据权利要求2所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:调节组件(2)包括有第一液压杆(201)、第一外壳(202)和排气管道(203);底座(101)一侧设置有第一液压杆(201),第一液压杆(201)设置有两组,第一液压杆(201)一端设置有第一外壳(202),第一外壳(202)一侧设置有排气管道(203)。
4.根据权利要求3所述的一种上料稳定的效应管拉晶装置,其特征在于:密封组件(3)包括有第一凸块(301)、第二液压杆(302)和第二外壳(303);第一外壳(202)外侧设置有第一凸块(301),第一凸块(301)一侧设置有第二液压杆(302),第二液压杆(302)外侧设置有第二外壳(303)。
【专利技术属性】
技术研发人员:陈建泽,
申请(专利权)人:深圳市远大金宁电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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