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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英件研磨,具体为一种粗管石英件用双面研磨机。
技术介绍
1、研磨利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒,通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工(如切削加工)。研磨可用于加工各种金属和非金属材料,加工的表面形状有平面,内、外圆柱面和圆锥面,凸、凹球面,螺纹,齿面及其他型面。中国专利申请“cn202210809983.8”公布了一种半导体扩散设备的石英部件加工用夹具及研磨设备,其提出:通过移动机构启动带动多个夹持块夹紧原料,然后驱动装置启动带动原料靠近研磨设备,研磨设备启动对原料进行加工,从而使得原料与研磨设备接触时力度均衡,降低了原料加工过程中发生崩边现象的概率,提高了产品的质量。
2、由上述所提出的装置可知,虽然上述制备方法提供了一种相对石英件研磨过程中更稳定安全的一种研磨方法,但该方案仍然存有以下的缺陷:现有的研磨装置在对粗管状的石英件进行研磨的过程中,由于管状件内壁及外壁都需要研磨,由于管道为柱体导致内壁在研磨时较为困难无法双面同时进行研磨加工,并且在内外壁研磨时研磨液的添加无法配合研磨块的转动实现同步自动喷出,造成了工作效率低下并且造成研磨液浪费的问题。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题:针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种粗管石英件用双面研磨机,具备通过电磁铁与磁块的配合实现正负极的转换,可以正反向转动进行反复研磨,在转换过程中外壁也可以同时进行研磨,并且研磨时研磨液随着内外研磨块的转动研磨实现同步喷出时优点,解决了粗管
2、(二)技术方案:为实为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种粗管石英件用双面研磨机,包括底柱、环形夹持组件、磁力驱动内壁移动研磨机构、转向内外壁同步研磨机构、外壁自动喷涂研磨液机构,所述底柱上方设置有工作台,所述工作台上表面固定安装有环形若干的侧柱,若干所述侧柱上方固定连接有环形滑轨,所述工作台上表面设有环形滑槽,所述工作台上表面设有限位孔,所述磁力驱动内壁移动研磨机构设置于工作台内,所述磁力驱动内壁移动研磨机构包括环形齿轮、支架、滑块、连接杆、气缸、顶杆、磁块、外研磨块、主丝杆、换向器、电刷、伸缩杆、电枢、转子、弹簧套杆、顶出弹簧、套柱、内研磨块、环状研磨液盒、加液盖、喷嘴;所述环形齿轮设置于工作台上表面,所述环形齿轮上表面两侧固定安装有两个支架,所述支架上方与下方突出部分两侧均设有滑槽,所述滑块活动安装于支架所设置的滑槽内,所述滑块外表面固定安装有连接杆,所述连接杆外表面固定连接与磁块上下两侧,所述支架中间固定安装有气缸,所述气缸外表面固定安装有转轴,所述转轴外表面活动安装有滚轮,所述滚轮活动安装于环形滑轨内表面,所述气缸中心轴外表面设有顶杆,所述顶杆外固定连接于磁块外表面中部;两侧所述磁块内表面分别固定安装有两个外研磨块,两个所述外研磨块一个为精研磨块一个为粗研磨块;两侧所述磁块左侧为正极右侧为负极。
3、优选的,所述工作台内部固定安装有主丝杆,所述主丝杆活动设置于限位孔内,所述主丝杆通过表面螺纹啮合安装有换向器,所述换向器两侧活动连接有电刷,所述电刷包括电刷盒、弹簧、刷头,所述电刷盒内表面固定连接有弹簧,所述弹簧另一端固定连接有刷头,所述电刷盒下表面固定安装有伸缩杆,所述伸缩杆底部固定安装于工作台内表面。
4、优选的,所述换向器由若干换向金属片组成,所述换向器每个换向片都固定连接有电枢,所述电枢另一端固定连接于转子外壁,所述转子通过内侧螺纹啮合安装于主丝杆外表面,所述转子外壁两侧都固定安装有两个弹簧套杆,所述弹簧套杆外表面套设安装有顶出弹簧,所述顶出弹簧另一端固定连接于套柱内部,所述套柱外表面固定暗账有内研磨块,两侧所述内研磨块分别为精研磨块和粗研磨块。
5、优选的,所述转子上方固定安装有环状研磨液盒,所述环状研磨液盒通过内表面螺纹啮合安装于主丝杆外表面,所述环状研磨液盒上表面设置有加液盖,所述环状研磨液盒上方两侧固定安装有两个喷嘴。
6、优选的,所述环形夹持组件包括环形卡槽、小型滑轨、支撑弹簧、小型滑块、柔性夹块,所述环形卡槽固定安装于工作台上表面,所述环形卡槽上表面环形固定安装有四个小型滑轨,所述小型滑轨内表面活动安装有小型滑块,所述小型滑块和小型滑轨外表面固定连接有支撑弹簧,所述小型滑块内侧固定安装有柔性夹块。
7、优选的,所述转向内外壁同步研磨机构包括电机、传动轴、主动链轮、链条、联动链轮、限位杆、主动齿轮、轮轴、滑轮,所述电机固定安装于工作台内表面,所述电机通过中心轴固定连接有传动轴,所述传动轴外表面固定安装有主动链轮和主动齿轮,所述这个主动链轮通过链条传动连接于联动链轮,所述联动链轮活动安装于限位杆外表面,所述限位杆固定安装于工作台内表面,所述限位杆上端外表面也设置有主动齿轮。
8、优选的,两个所述主动齿轮通过表面卡齿啮合安装于环形齿轮两侧,所述环形齿轮下表面两侧固定安装有两个轮轴,所述轮轴外表面活动安装有滑轮,所述滑轮活动安装于环形滑槽内表面。
9、优选的,所述外壁自动喷涂研磨液机构包括转动丝杆、丝杆套柱、活动套环、推头、存液管、固定套环、管盖、导液管、喷头,两个所述主动齿轮上表面固定安装有转动丝杆,所述转动丝杆通过表面螺纹啮合安装有丝杆套柱,所述丝杆套柱下方外壁通过活动套环活动连接于侧柱,所述丝杆套柱上端固定安装有推头。
10、优选的,所述推头密封活动安装于存液管内部,所述存液管外表面通过固定套环固定安装于侧柱外表面,所述存液管上端设置有管盖,所述存液管外壁设置有导液管,所述导液管另一端固定连接有喷头。
11、(三)有益效果:与现有技术相比,本专利技术提供了一种粗管石英件用双面研磨机,具备以下有益效果:1、该粗管石英件用双面研磨机,通过磁力驱动内壁移动研磨机构和转向内外壁同步研磨机构之间的配合,从而达到了电流先从左侧正极电流进入换向器再从右侧换向器连通负极电流,换向器通过电枢将电流传入转子内,电枢传入的电流与石英件两侧的磁块同极相斥使转子进行转动,转子转动时带动换向器进行转动,换向器转动时若干换向片与电刷的刷头接触点不停的切换,这意味着电磁铁的极性也不断的进行切换,通过极性的不断切换从而使转子不停的进行转动,在转动的同时通过转子内表面的螺纹从而使转子在主丝杆外表面进行旋转上升,在转动上升的同时内研磨块对石英件内壁不断地进行旋转研磨的作用,并且通过电机带动外侧两个磁块的转动改变主磁极的极性可以改变磁场的方向,从而改变了电流和磁场之间的相互作用实现转子的转向,使研磨块反向旋转再次对石英件内壁进行研磨,在外壁的磁块转动的同时外研磨块对石英件外壁同步进行研磨,反复循环至内外壁都研磨完成,实现了内外壁同步研磨的作用大幅度节省了研磨时间提高效率。
12、2、该粗管石英件用双面研磨机,通过转向内外壁同步研磨机构和外壁自动喷涂研磨液机构之间的配合,从而达到了当主动齿轮带动两个磁块进行转动时,同时也带动转动丝杆一起转动,丝杆套柱本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种粗管石英件用双面研磨机,包括底柱(1)、环形夹持组件(2)、磁力驱动内壁移动研磨机构(3)、转向内外壁同步研磨机构(4)、外壁自动喷涂研磨液机构(5),所述底柱(1)上方设置有工作台(11),所述工作台(11)上表面固定安装有环形若干的侧柱(12),若干所述侧柱(12)上方固定连接有环形滑轨(13),所述工作台(11)上表面设有环形滑槽(14),所述工作台(11)上表面设有限位孔(15)其特征在于:所述磁力驱动内壁移动研磨机构(3)设置于工作台(11)内,所述磁力驱动内壁移动研磨机构(3)包括环形齿轮(31)、支架(32)、滑块(33)、连接杆(34)、气缸(35)、顶杆(36)、磁块(37)、外研磨块(38)、主丝杆(39)、换向器(310)、电刷(311)、伸缩杆(312)、电枢(313)、转子(314)、弹簧套杆(315)、顶出弹簧(316)、套柱(317)、内研磨块(318)、环状研磨液盒(319)、加液盖(320)、喷嘴(321);所述环形齿轮(31)设置于工作台(11)上表面,所述环形齿轮(31)上表面两侧固定安装有两个支架(32),所述支架(32)上方与下方
2.根据权利要求1所述的一种粗管石英件用双面研磨机,其特征在于:所述工作台(11)内部固定安装有主丝杆(39),所述主丝杆(39)活动设置于限位孔(15)内,所述主丝杆(39)通过表面螺纹啮合安装有换向器(310),所述换向器(310)两侧活动连接有电刷(311),所述电刷(311)包括电刷盒(3111)、弹簧(3112)、刷头(3113),所述电刷盒(3111)内表面固定连接有弹簧(3112),所述弹簧(3112)另一端固定连接有刷头(3113),所述电刷盒(3111)下表面固定安装有伸缩杆(312),所述伸缩杆(312)底部固定安装于工作台(11)内表面。
3.根据权利要求2所述的一种粗管石英件用双面研磨机,其特征在于:所述换向器(310)由若干换向金属片组成,所述换向器(310)每个换向片都固定连接有电枢(313),所述电枢(313)另一端固定连接于转子(314)外壁,所述转子(314)通过内侧螺纹啮合安装于主丝杆(39)外表面,所述转子(314)外壁两侧都固定安装有两个弹簧套杆(315),所述弹簧套杆(315)外表面套设安装有顶出弹簧(316),所述顶出弹簧(316)另一端固定连接于套柱(317)内部,所述套柱(317)外表面固定暗账有内研磨块(318),两侧所述内研磨块(318)分别为精研磨块和粗研磨块。
4.根据权利要求3所述的一种粗管石英件用双面研磨机,其特征在于:所述转子(314)上方固定安装有环状研磨液盒(319),所述环状研磨液盒(319)通过内表面螺纹啮合安装于主丝杆(39)外表面,所述环状研磨液盒(319)上表面设置有加液盖(320),所述环状研磨液盒(319)上方两侧固定安装有两个喷嘴(321)。
5.根据权利要求1所述的一种粗管石英件用双面研磨机,其特征在于:所述环形夹持组件(2)包括环形卡槽(21)、小型滑轨(22)、支撑弹簧(23)、小型滑块(24)、柔性夹块(25),所述环形卡槽(21)固定安装于工作台(11)上表面,所述环形卡槽(21)上表面环形固定安装有四个小型滑轨(22),所述小型滑轨(22)内表面活动安装有小型滑块(24),所述小型滑块(24)和小型滑轨(22)外表面固定连接有支撑弹簧(23),所述小型滑块(24)内侧固定安装有柔性夹块(25)。
6.根据权利要求1所述的一种粗管石英件用双面研磨机,其特征在于:所述转向内外壁同步研磨机构(4)包括电机(41)、传动轴(42)、主动链轮(43)、链条(44)、联动链轮(45)、限位杆(46)、主动齿轮(47)、轮轴(48)、滑轮(49),所述电机(41)固定安装于工作台(11)内表面,所述电机(41)通过中心轴固定连接有传动轴(42),所述传动轴(42)外表面固定安装有主动链轮...
【技术特征摘要】
1.一种粗管石英件用双面研磨机,包括底柱(1)、环形夹持组件(2)、磁力驱动内壁移动研磨机构(3)、转向内外壁同步研磨机构(4)、外壁自动喷涂研磨液机构(5),所述底柱(1)上方设置有工作台(11),所述工作台(11)上表面固定安装有环形若干的侧柱(12),若干所述侧柱(12)上方固定连接有环形滑轨(13),所述工作台(11)上表面设有环形滑槽(14),所述工作台(11)上表面设有限位孔(15)其特征在于:所述磁力驱动内壁移动研磨机构(3)设置于工作台(11)内,所述磁力驱动内壁移动研磨机构(3)包括环形齿轮(31)、支架(32)、滑块(33)、连接杆(34)、气缸(35)、顶杆(36)、磁块(37)、外研磨块(38)、主丝杆(39)、换向器(310)、电刷(311)、伸缩杆(312)、电枢(313)、转子(314)、弹簧套杆(315)、顶出弹簧(316)、套柱(317)、内研磨块(318)、环状研磨液盒(319)、加液盖(320)、喷嘴(321);所述环形齿轮(31)设置于工作台(11)上表面,所述环形齿轮(31)上表面两侧固定安装有两个支架(32),所述支架(32)上方与下方突出部分两侧均设有滑槽,所述滑块(33)活动安装于支架(32)所设置的滑槽内,所述滑块(33)外表面固定安装有连接杆(34),所述连接杆(34)外表面固定连接与磁块(37)上下两侧,所述支架(32)中间固定安装有气缸(35),所述气缸(35)外表面固定安装有转轴(322),所述转轴(322)外表面活动安装有滚轮(323),所述滚轮(323)活动安装于环形滑轨(13)内表面,所述气缸(35)中心轴外表面设有顶杆(36),所述顶杆(36)外固定连接于磁块(37)外表面中部;两侧所述磁块(37)内表面分别固定安装有两个外研磨块(38),两个所述外研磨块(38)一个为精研磨块一个为粗研磨块;两侧所述磁块(37)左侧为正极右侧为负极。
2.根据权利要求1所述的一种粗管石英件用双面研磨机,其特征在于:所述工作台(11)内部固定安装有主丝杆(39),所述主丝杆(39)活动设置于限位孔(15)内,所述主丝杆(39)通过表面螺纹啮合安装有换向器(310),所述换向器(310)两侧活动连接有电刷(311),所述电刷(311)包括电刷盒(3111)、弹簧(3112)、刷头(3113),所述电刷盒(3111)内表面固定连接有弹簧(3112),所述弹簧(3112)另一端固定连接有刷头(3113),所述电刷盒(3111)下表面固定安装有伸缩杆(312),所述伸缩杆(312)底部固定安装于工作台(11)内表面。
3.根据权利要求2所述的一种粗管石英件用双面研磨机,其特征在于:所述换向器(310)由若干换向金属片组成,所述换向器(310)每个换向片都固定连接有电枢(313),所述电枢(313)另一端固定连接于转子(314)外壁,所述转子(314)通过内侧螺纹啮合安装于主丝杆(39)外表面,所述转子(314)外壁两侧都固定安装有两个弹簧套杆(315),所述弹簧套杆(315)外表面套设安装有顶出弹簧(316),所述顶出弹簧(316)另一端固定连接于套柱(317)内部,所述套柱(3...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑涛,李建斌,陈洋洋,许冬华,
申请(专利权)人:浙江泓芯半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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