【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻机，尤其是指一种光刻机掩模台。
技术介绍
1、光刻机是半导体工业中常用的设备，用于将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上，是ic制造的核心环节。光刻机的工作原理是利用光学原理将图案投射到硅片上，然后使用光敏材料制作出电路图案。光刻机的主要组成部分包括光源、光学投影系统、控制系统，以及光刻胶涂覆和显影系统。
2、公开号cn116256950b的专利公开了一种光刻机工作台，通过设置的电机主轴、柱形斜孔、气泵和引风机，通过引风机配合气泵使电机主轴内部有气体流动的同时可以产生负压，进而可以将工作台和电机之间的空气不间断的引入到电机主轴内部后并排出，从而利用工作台和电机之间空气引入到电机主轴形成气流使工作台和电机之间的空气隔绝，进而可以防止电机在长时间工作后对工作台附近的温度造成影响的问题发生，可以有效的提高光刻机加工的质量。
3、目前现有技术中，普遍都是将硅片平放，随后光刻机将掩模版上的图案转移到硅片，在对硅片放置时若是放置不得当或者在转移时硅片发生晃动，掩模版上的图案便不会完美的转移到硅片上，则会造成硅片的报废，耗费资源。
技术实现思路
1、为此，本专利技术所要解决的技术问题在于克服在掩模版上的图案转移到硅片上时，硅片放置不得当或者在转移时硅片发生晃动，造成转移不完美，使硅片报废的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种光刻机掩模台，包括固定安装于固机板顶部的光刻机，所述固机板的底部下方设置有底板，所述固机板与底板之间设置有掩
3、通过三个推盒内的推块呈三角形式从三个不同的方位对硅片进行推动，当三个软胶夹臂完全接触到硅片的边沿时，此时，通过软胶夹臂的三方向接触和置放板本身对硅片的一侧固位，两者形成一个完整的固片状态，当硅片被固定完成后，光刻机进行作业，将掩模版上的图案精准完美的转移到硅片，通过三个软胶夹臂对硅片边沿进行推动固定可适配于不同尺径的硅片。
4、在本专利技术的一个实施例中，所述推块与软胶夹臂之间设置有按钮，所述按钮处于推块的正中间；
5、当三个推块一侧的软胶夹臂同时接触到硅片时，硅片的边沿挤压软胶夹臂内的按钮，从而控制压块停止下压移动，起到控制的作用。
6、在本专利技术的一个实施例中，所述置放板包括：滚轮，所述滚轮的数量有两组，两组所述滚轮对称设置于置放板的底部，导轨，所述导轨数量有两个，两个所述导轨对称设置于固片箱的内部，两组所述滚轮分别与两个导轨的内壁滑动连接，螺杆，所述螺杆与置放板的内壁螺纹连接，所述螺杆的一端置于矩形套环的外侧，旋转气缸，所述旋转气缸固定安装于矩形套环的外侧，所述螺杆的一端与旋转气缸的输出端固定连接，丝杆，所述置放板的内壁与丝杆的外壁滑动连接，所述丝杆的一端与固片箱的内壁固定连接；
7、将硅片放置于置放板上时，旋转气缸带动螺杆进行转动，在螺杆进行转动的同时带动置放板移动，置放板移动时，置放板底部的滚轮在导轨内滚动，滚动的同时，置放板便会从固片箱外部带动硅片进入到固片箱的内部，当置放板的内侧边沿接触到最内侧的推盒时，旋转气缸停止转动，置放板便会停止移动，此时，置放板上的硅片处于光刻机作业端的正下方，丝杆为置放板的移动提供了一定的稳定性。
8、在本专利技术的一个实施例中，所述置放板的顶部固定安装有限位挡块，所述限位挡块置于置放板顶部的一侧；
9、当硅片放置于置放板上时，将硅片的一侧边沿贴合于置放板一侧的限位挡块内，通过将硅片的一侧置于限位挡块内，使硅片的一侧进行限位，随后通过软胶夹臂的三方向接触，两者可形成一个完整的固片状态。
10、在本专利技术的一个实施例中，所述掩模箱的内壁滑动连接有矩形套环，所述光刻机的作业端置于矩形套环的内部，三个所述压块的顶部与矩形套环的底部固定连接，所述固机板和底板之间设置有纳机箱，所述纳机箱置于掩模箱的内部且和固片箱的一侧固定连接；
11、纳机箱带动矩形套环在光刻机的作业端上滑行，滑行的同时带动压块下压移动，从而使软胶夹臂对硅片的边沿继续移动靠近，当软胶夹臂接触到硅片边沿时，矩形套环停止滑行，此时矩形套环将光刻机的作业端罩起，通过矩形套环将光刻机的作业端罩起，一方面可使光刻机作业端发出的作业光进行聚集，利于图案转移作业，另一方面可避免光刻机作业端裸露于外面，在作业时，因外界因素影响到作业质量和效果。
12、在本专利技术的一个实施例中，所述矩形套环的一端固定连接有条板，所述纳机箱的内部设置有伸缩气缸，所述条板的一端底部与伸缩气缸的输出端固定连接，所述条板的外壁与纳机箱的内壁滑动连接；
13、矩形套环在移动时，纳机箱内的伸缩气缸通过条板带动矩形套环移动，当软胶夹臂接触到硅片的边沿时，硅片的边沿挤压按钮从而控制伸缩气缸停止移动。
14、在本专利技术的一个实施例中，所述固片箱包括：吸风头，所述吸风头数量有两组，两组所述吸风头分别置于固片箱内的一角，过风管，所述过风管数量有两个，两个所述过风管的一端分别与两组吸风头的底部固定连接，渡风管，所述渡风管数量有两个，两个所述渡风管分别于两个过风管固定连接，两个所述渡风管的一端均与纳机箱的内壁固定连接，抽风管，所述抽风管的数量有两个，两个所述抽风管的一端与纳机箱的底侧内壁固定连接；
15、位于固片箱内四角的四个吸风头对固片箱内进行抽风作业，从吸风头内抽出的风顺流过风管通过渡风管进入到纳机箱内，随后通过抽风管传出，通过四个吸风头对固片箱内进行抽气，可将固片箱内空中的灰尘进行抽出，一方面可防止硅片上落到灰尘，影响转移效果，另一方面可防止光刻机的作业端散光时受到空气中灰尘的影响，不利于转移效果，通过抽出的气流风经过纳机箱内散出，可对旋转气缸和伸缩气缸进行一个降热处理，防止温度过高影响到光刻机的作业。
16、在本专利技术的一个实施例中，两个所述抽风管的一端固定安装有抽风机；
17、抽风机通过抽风管抽取风力，从而通过四个吸风头对固片箱内的气流进行抽动。
18、在本专利技术的一个实施例中，所述固机板的内壁与光刻机的内壁均开设有螺丝固孔，两个所述螺丝固孔相对应；
19、固定光刻机时，通过将光刻机上的螺丝固孔和固机板上的螺丝固孔相对本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光刻机掩模台，包括固定安装于固机板（3）顶部的光刻机（1），其特征在于：所述固机板（3）的底部下方设置有底板（9），所述固机板（3）与底板（9）之间设置有掩模箱（4）；
2.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述推块（28）与软胶夹臂（29）之间设置有按钮（30），所述按钮（30）处于推块（28）的正中间。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述置放板（18）包括：
4.根据权利要求3所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述置放板（18）的顶部固定安装有限位挡块（19），所述限位挡块（19）置于置放板（18）顶部的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述掩模箱（4）的内壁滑动连接有矩形套环（7），所述光刻机（1）的作业端置于矩形套环（7）的内部，三个所述压块（15）的顶部与矩形套环（7）的底部固定连接，所述固机板（3）和底板（9）之间设置有纳机箱（10），所述纳机箱（10）置于掩模箱（4）的内部且和固片箱（8）的一侧固定连接。
6.根据权利要求5所述的
7.根据权利要求5所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述固片箱（8）包括：
8.根据权利要求7所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：两个所述抽风管（12）的一端固定安装有抽风机（11）。
9.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述固机板（3）的内壁与光刻机（1）的内壁均开设有螺丝固孔（6），两个所述螺丝固孔（6）相对应。
10.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述固机板（3）的顶部对称固定安装有置模架（2），所述固机板（3）与底板（9）之间对称设置有稳衡柱（5）。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻机掩模台，包括固定安装于固机板（3）顶部的光刻机（1），其特征在于：所述固机板（3）的底部下方设置有底板（9），所述固机板（3）与底板（9）之间设置有掩模箱（4）；
2.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述推块（28）与软胶夹臂（29）之间设置有按钮（30），所述按钮（30）处于推块（28）的正中间。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述置放板（18）包括：
4.根据权利要求3所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述置放板（18）的顶部固定安装有限位挡块（19），所述限位挡块（19）置于置放板（18）顶部的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模台，其特征在于：所述掩模箱（4）的内壁滑动连接有矩形套环（7），所述光刻机（1）的作业端置于矩形套环（7）的内部，三个所述压块（15）的顶部与矩形套环（7）的底部固定连接，所述固机板（3）和底板（9）之间设置有纳机箱（10），所述纳机箱...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭军，庞超群，朱晓春，朱凯，
申请(专利权)人：张家港奇点光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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