【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵，具体为一种对称双级并串联高速透平真空泵及其使用方法。
技术介绍
1、对称双级并串联高速透平真空泵的
技术介绍
涉及真空泵技术的创新和优化，可以提高抽气速率、真空度和自动化程度方面，高速透平真空泵在许多领域都有应用，包括半导体制造、真空炉、化学反应实验室和医疗领域等，通过双级并串联的方式提高了抽气速率和真空度，同时具有较高的自动化程度，能够满足多个行业对高质量真空环境的需求，但是现有的对称双级并串联高速透平真空泵无法快速降温降低工作效率。
2、现有的对称双级并串联高速透平真空泵存在的缺陷是：
3、1、专利文件cn109915377b公开了一种双级旋片式真空泵，“用于解决现有旋片式真空泵噪音较高、油压不稳定和转子同心度差的问题。本专利技术包括泵体，所述泵体内设有与泵芯连通的气镇进气通道，所述气镇进气通道内开有连通泵芯与外界的进气通槽，所述泵芯内安装有转子，所述转子包括一级转子、二级转子和连接轴，所述一级转子、二级转子和连接轴依次成型为一个整体，所述泵芯上设有恒压机构，所述气镇进气通道上设有降噪机构。本专利技术通过在气镇进气通道上设有降噪机构，可以极大的降低旋片式真空泵的噪音；通过在泵芯上设有恒压机构，从而可以使旋片式真空泵润滑压力油的油压稳定；通过通过将转子设成一体，可以提高转子的同心度”，但是现有的对称双级并串联高速透平真空泵无法快速降温降低工作效率；
4、2、专利文件cn103410735b公开了一种旋片式真空泵，“提供了一种改造简单，可明显提高双级旋片式真空泵的抽气速率，兼
5、3、专利文件cn108443142b公开了一种双侧双级涡旋干式真空泵，“所述双侧双级涡旋干式真空泵包括电动机、曲拐轴、涡旋动盘、左涡旋定盘和右涡旋定盘，左涡旋定盘和右涡旋定盘与涡旋动盘之间分别形成的配合腔为涡旋工作腔，涡旋动盘左侧从外圈至内圈均设有涡旋齿，位于内圈的涡旋齿的齿高高于位于外圈的涡旋齿的齿高，所述涡旋动盘右侧只有外圈设有涡旋齿，所述涡旋工作腔包括第一级涡旋工作腔和第二级涡旋工作腔，所述涡旋动盘内设置气流通道使所述第一级涡旋工作腔和所述第二级涡旋工作腔相通。所述双侧双级涡旋干式真空泵可以在完全清洁、无油的基础上具有抽速大、压缩比和极限真空度高的特点，且泵体产热量少、散热好，有利于长期稳定运行”，但是现有的对称双级并串联高速透平真空泵无法将空气中的杂质进行过滤容易使真空泵损坏；
6、4、专利文件cn109667759b公开了一种双级液环真空泵及其装配方法，“其具备两级压缩腔，中间壁上不再设置气体通道，直接通过外部的联通管实现两级压缩腔的连通，因此，在装配过程中，只需要控制间隙l1、l4的数值，间隙l2、l3由加工尺寸自然形成，无需控制，从而易于保证装配间隙，在保证抽气量、真空度不受影响的前提下，能够简化装配工艺，提高装配效率，并提升使用性能以及安全稳定性，同时相比传统双级泵，能够大大降低生产噪音，减少噪音污染。通过本专利技术所述双级液环真空泵的装配方法，能够将l1、l4两间隙完全控制好，确保了整个泵体的装配精度，进一步简化了装配工艺，提高了装配效率”，但是现有的对称双级并串联高速透平真空泵使用时震动力无法减少噪音较大。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种对称双级并串联高速透平真空泵及其使用方法，以解决上述
技术介绍
中提出的对称双级并串联高速透平真空泵无法快速降温降低工作效率的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种对称双级并串联高速透平真空泵，包括底板、真空泵本体、降温组件、出风口和进风过滤组件，所述底板的顶部安装有真空泵本体，所述底板的顶部安装有降温组件，所述真空泵本体的顶部贯穿安装有出风口，所述真空泵本体的外壁贯穿安装有进风过滤组件，降温组件用于真空泵本体的快速降温，进风过滤组件用于真空泵本体进气空气的过滤，所述真空泵本体的内壁安装有温度控制组件，温度控制组件用于控制真空泵本体内的温度，所述真空泵本体的内壁安装有处理模块；
3、所述降温组件包括一号盒、收集盒、贯穿口、进液头、风机、鳍形铜管、半导体降温块，一号盒位于底板的顶部，收集盒位于一号盒的内壁，贯穿口开设于一号盒的外壁，进液头贯穿于一号盒的顶部，且进液头的一端延伸至收集盒的内壁，所述一号盒的内壁安装有一号板，风机位于一号板的外壁，半导体降温块位于收集盒的内壁，收集盒的底部贯穿安装有水泵，鳍形铜管连接与水泵的输出端，所述鳍形铜管的一端安装有水管，且水管的一端延伸至收集盒的内壁，所述水管的外壁安装有喷头。
4、优选的，所述喷头位于半导体降温块上方，风机位于鳍形铜管的一侧。
5、优选的，所述温度控制组件包括温度检测头，温度检测头位于真空泵本体的内壁，处理模块与温度检测头电性连接，降温组件与处理模块电性连接，温度检测头用于检测真空泵本体内的实时温度数据，处理模块内置真空泵本体内的合适温度数据。
6、优选的，所述真空泵本体内的实时温度数据传输至处理模块内，由处理模块将真空泵本体内的实时温度数据与真空泵本体内的合适温度数据通过数据对比技术进行对比，处理模块检测到真空泵本体内的实时温度数据大于真空泵本体内的合适温度数据时设为温度高状态，处理模块检测到真空泵本体内的实时温度数据小于真空泵本体内的合适温度数据时设为温度低状态，处理模块检测到真空泵本体内的实时温度数据处于真空泵本体内的合适温度数据内时设为合适温度状态。
7、优选的，所述进风过滤组件包括进气盒、拉板、三号口、滤网、卡柱、贯穿槽、密封环、四号口，进气盒贯穿于真空泵本体的外壁，三号口开设于进气盒的顶部，拉板贯穿与三号口的内壁，滤网位于进气盒的内壁，且滤网的一端与拉板的底部连接，贯穿槽开设于拉板的外壁，四号口开设于拉板的底部，拉板的内壁安装有滑道，滑道的内壁安装有滑轮，滑轮的外壁安装有l形支架，密封环位于l形支架的一端，且密封环延伸出四号口，l形支架的外壁安装有一号弹簧，且一号弹簧的一端与拉板的内壁连接，进气盒的顶部开设有l形槽，l形槽的内壁安装有伸缩杆，伸缩杆的输出端安装有卡柱，且卡柱的一端延伸至贯穿槽的内壁。
8、优选的，所述卡柱可移出贯穿槽，滑轮可通过滑道的支撑进行移动，密封环可通过四号口进行密封移动。
9、优选的，所述底板的内壁贯穿安装有减噪组件，减噪组件用于本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种对称双级并串联高速透平真空泵，包括底板（1）、真空泵本体（2）、降温组件、出风口（3）和进风过滤组件，其特征在于：所述底板（1）的顶部安装有真空泵本体（2），所述底板（1）的顶部安装有降温组件，所述真空泵本体（2）的顶部贯穿安装有出风口（3），所述真空泵本体（2）的外壁贯穿安装有进风过滤组件，降温组件用于真空泵本体（2）的快速降温，进风过滤组件用于真空泵本体（2）进气空气的过滤，所述真空泵本体（2）的内壁安装有温度控制组件，温度控制组件用于控制真空泵本体（2）内的温度，所述真空泵本体（2）的内壁安装有处理模块；
2.根据权利要求1所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述喷头（14）位于半导体降温块（8）上方，风机（13）位于鳍形铜管（10）的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述温度控制组件包括温度检测头（15），温度检测头（15）位于真空泵本体（2）的内壁，处理模块与温度检测头（15）电性连接，降温组件与处理模块电性连接，温度检测头（15）用于检测真空泵本体（2）内的实时温度数据，处理模
4.根据权利要求3所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述真空泵本体（2）内的实时温度数据传输至处理模块内，由处理模块将真空泵本体（2）内的实时温度数据与真空泵本体（2）内的合适温度数据通过数据对比技术进行对比，处理模块检测到真空泵本体（2）内的实时温度数据大于真空泵本体（2）内的合适温度数据时设为温度高状态，处理模块检测到真空泵本体（2）内的实时温度数据小于真空泵本体（2）内的合适温度数据时设为温度低状态，处理模块检测到真空泵本体（2）内的实时温度数据处于真空泵本体（2）内的合适温度数据内时设为合适温度状态。
5.根据权利要求1所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述进风过滤组件包括进气盒（16）、拉板（17）、三号口（24）、滤网（31）、卡柱（22）、贯穿槽（23）、密封环（29）、四号口（30），进气盒（16）贯穿于真空泵本体（2）的外壁，三号口（24）开设于进气盒（16）的顶部，拉板（17）贯穿与三号口（24）的内壁，滤网（31）位于进气盒（16）的内壁，且滤网（31）的一端与拉板（17）的底部连接，贯穿槽（23）开设于拉板（17）的外壁，四号口（30）开设于拉板（17）的底部，拉板（17）的内壁安装有滑道（25），滑道（25）的内壁安装有滑轮（26），滑轮（26）的外壁安装有L形支架（27），密封环（29）位于L形支架（27）的一端，且密封环（29）延伸出四号口（30），L形支架（27）的外壁安装有一号弹簧（28），且一号弹簧（28）的一端与拉板（17）的内壁连接，进气盒（16）的顶部开设有L形槽（18），L形槽（18）的内壁安装有伸缩杆（20），伸缩杆（20）的输出端安装有卡柱（22），且卡柱（22）的一端延伸至贯穿槽（23）的内壁。
6.根据权利要求5所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述卡柱（22）可移出贯穿槽（23），滑轮（26）可通过滑道（25）的支撑进行移动，密封环（29）可通过四号口（30）进行密封移动。
7.根据权利要求1所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述底板（1）的内壁贯穿安装有减噪组件，减噪组件用于真空泵本体（2）工作时噪音的减少，真空泵本体（2）与减噪组件的顶部卡接固定。
8.根据权利要求7所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述减噪组件包括五号口（36）、山形架（35）、环板（33）、五号弹簧（34）、阻尼块（43）、L形卡头（42），五号口（36）开设与底板（1）的顶部，山形架（35）贯穿于五号口（36）的内壁，环板（33）位于底板（1）的内壁，并将山形架（35）包围，阻尼块（43）位于山形架（35）的下方，且阻尼块（43）的外壁与底板（1）的内壁连接，环板（33）的外壁环绕安装有若干五号弹簧（34），山形架（35）的外壁为圆柱形，且五号弹簧（34）的外壁与山形架（35）的外壁连接，真空泵本体（2）的底部安装有磁块（38），山形架（35）的一端安装有放置板（37），放置板（37）的顶部开设有强磁凹槽（39）。
9.根据权利要求8所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述山形架（35）可通过五号口（36）进行移动，磁块（38）可卡入强磁凹槽（39）内。
10.一种对称双级并串联高速透平真空泵的使用方法，适用于权利要求1-9任意一项所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于，该真空...
【技术特征摘要】
1.一种对称双级并串联高速透平真空泵，包括底板（1）、真空泵本体（2）、降温组件、出风口（3）和进风过滤组件，其特征在于：所述底板（1）的顶部安装有真空泵本体（2），所述底板（1）的顶部安装有降温组件，所述真空泵本体（2）的顶部贯穿安装有出风口（3），所述真空泵本体（2）的外壁贯穿安装有进风过滤组件，降温组件用于真空泵本体（2）的快速降温，进风过滤组件用于真空泵本体（2）进气空气的过滤，所述真空泵本体（2）的内壁安装有温度控制组件，温度控制组件用于控制真空泵本体（2）内的温度，所述真空泵本体（2）的内壁安装有处理模块；
2.根据权利要求1所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述喷头（14）位于半导体降温块（8）上方，风机（13）位于鳍形铜管（10）的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述温度控制组件包括温度检测头（15），温度检测头（15）位于真空泵本体（2）的内壁，处理模块与温度检测头（15）电性连接，降温组件与处理模块电性连接，温度检测头（15）用于检测真空泵本体（2）内的实时温度数据，处理模块内置真空泵本体（2）内的合适温度数据。
4.根据权利要求3所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述真空泵本体（2）内的实时温度数据传输至处理模块内，由处理模块将真空泵本体（2）内的实时温度数据与真空泵本体（2）内的合适温度数据通过数据对比技术进行对比，处理模块检测到真空泵本体（2）内的实时温度数据大于真空泵本体（2）内的合适温度数据时设为温度高状态，处理模块检测到真空泵本体（2）内的实时温度数据小于真空泵本体（2）内的合适温度数据时设为温度低状态，处理模块检测到真空泵本体（2）内的实时温度数据处于真空泵本体（2）内的合适温度数据内时设为合适温度状态。
5.根据权利要求1所述的一种对称双级并串联高速透平真空泵，其特征在于：所述进风过滤组件包括进气盒（16）、拉板（17）、三号口（24）、滤网（31）、卡柱（22）、贯穿槽（23）、密封环（29）、四号口（30），进气盒（16）贯穿于真空泵本体（2）的外壁，三号口（24）开设于进气盒（16）的顶部，拉板（17）贯穿与三号口（24）的内壁，滤网（31）位于进气盒（16）的内壁，且滤网（31）的一端与拉板（17）的底部...
【专利技术属性】
技术研发人员：仲伟方，王秀华，
申请(专利权)人：江苏简风智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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