【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学系统，特别是涉及一种用于柔性屏幕剥离的激光生成系统。
技术介绍
1、由于柔性屏幕终端基底材料在经历沉积、蒸镀等高温工艺环节后极易发生损伤变形，需要在制造前期以玻璃、蓝宝石、硅片等刚性材料作为搭载基底，再通过剥离工艺完成器件向终端柔性基底的转移，因此激光剥离逐渐成为生产柔性屏幕的关键工艺之一。
2、然而，现有的激光剥离工艺会对柔性屏幕的薄膜层造成破坏，影响柔性屏幕的剥离稳定性，降低了柔性屏幕的工艺品质和加工效率。因此，存在待改进之处。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，改善了柔性屏幕进行激光剥离时由于激光能量不均匀导致的剥离稳定性较差的问题。
2、为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
3、本技术提供一种用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，包括：
4、激光发射模块，设于光学箱的一侧；
5、光束处理模块，设于所述光学箱内，且所述光束处理模块位于所述激光发射模块发出入射光束的一侧；
6、光束转换模块，设于所述光束处理模块的一侧，且所述光束转换模块位于所述光束处理模块射出的中间衰减光束所在的光路方向上；
7、匀化处理模块，设于所述光束转换模块的一侧，且所述匀化处理模块位于所述光束转换模块射出的初始短轴出射光束所在的光路方向上；以及
8、聚焦反射模块，设于所述匀化处理模块的一侧，且所述聚焦反射模块位于所述匀
9、在本技术一实施例中，所述激光生成系统还包括：
10、光学箱，设于固定工作台上，所述光学箱包括箱体前段和箱体后段，所述箱体前段与所述箱体后段相连通，且所述箱体前段与所述箱体后段互相垂直；
11、移动工作台，设于所述固定工作台内，且所述移动工作台位于所述光学箱的底侧；
12、光束分析模块，设于所述移动工作台上；以及
13、处理器，通信连接于所述光束分析模块和所述匀化处理模块。
14、在本技术一实施例中，所述光束处理模块包括：
15、第一衰减反射组件，设于箱体前段内，且所述第一衰减反射组件位于所述激光发射模块的一侧；
16、第一聚焦透镜组件，设于所述第一衰减反射组件的一侧，且所述第一聚焦透镜组件位于所述第一衰减反射组件的出射光路方向上；以及
17、第二衰减反射组件，设于所述第一聚焦透镜组件的一侧，且所述第二衰减反射组件位于所述第一聚焦透镜组件的出射光路方向上。
18、在本技术一实施例中，所述第二衰减反射组件包括：
19、多个第二初始反射元件，设于所述第一聚焦透镜组件的出射光路方向上；
20、可调衰减器，设于所述第二初始反射元件的出射光路方向上；以及
21、多个第二中间反射元件，设于所述可调衰减器的一侧。
22、在本技术一实施例中，所述光束转换模块包括：
23、第二透镜组件，设于箱体后段的顶端，且所述第二透镜组件位于所述第二中间反射元件的出射光路方向上；
24、棱镜组件，设于所述第二透镜组件的一侧，且所述棱镜组件位于所述第二透镜组件的出射光路方向上；
25、第三反射组件，设于所述初始长轴出射光束所在的光路方向上；以及光束转换组件，设于所述第三反射组件的一侧。
26、在本技术一实施例中，所述匀化处理模块包括：
27、匀化拉伸组件，设于光束转换组件的一侧；
28、第四反射组件，设于所述匀化拉伸组件的一侧；以及
29、准直透镜元件，设于箱体后段的底端，且所述准直透镜元件位于所述第四长轴反射光束所在的光路上。
30、在本技术一实施例中，所述第四反射组件包括第四反射元件和第五反射元件，且所述第四反射元件设于箱体后段的顶端，第五反射元件设于箱体后段的底端。
31、在本技术一实施例中，所述聚焦反射模块包括：
32、聚焦物镜组件，设于所述准直透镜元件的一侧；以及
33、目标反射元件，设于所述聚焦物镜组件的一侧。
34、在本技术一实施例中，所述聚焦物镜组件包括多个物镜元件，且多个所述物镜元件相互平行设置。
35、在本技术一实施例中，所述目标反射元件与固定工作台所在平面之间的倾斜角大于或等于30°，且小于或等于60°。
36、如上所述，本技术提供一种用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，能够降低生成的目标出射光束的能量不均匀性，从而提高目标出射光束对柔性屏幕进行激光剥离时的稳定性，进而提高生成的柔性屏幕的工艺品质以及加工效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述激光生成系统还包括：
3.根据权利要求1所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述光束处理模块包括：
4.根据权利要求3所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述第二衰减反射组件包括：
5.根据权利要求4所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述光束转换模块包括：
6.根据权利要求1所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述匀化处理模块包括：
7.根据权利要求6所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述第四反射组件包括第四反射元件和第五反射元件，且所述第四反射元件设于箱体后段的顶端，第五反射元件设于箱体后段的底端。
8.根据权利要求6所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述聚焦反射模块包括：
9.根据权利要求8所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述聚焦物镜组件包括多个
10.根据权利要求8所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述目标反射元件与固定工作台所在平面之间的倾斜角大于或等于30°，且小于或等于60°。
...【技术特征摘要】
1.一种用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述激光生成系统还包括：
3.根据权利要求1所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述光束处理模块包括：
4.根据权利要求3所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述第二衰减反射组件包括：
5.根据权利要求4所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述光束转换模块包括：
6.根据权利要求1所述的用于柔性屏幕剥离的激光生成系统，其特征在于，所述匀化处理模块包括：
7.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：凌步军，朱鹏程，冷志斌，刘停梧，全成国，李忠宪，
申请(专利权)人：江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。