【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，尤其涉及扩散炉装置。
技术介绍
1、扩散炉是光伏生产线的重要工艺设备，用于对太阳能电池片进行表面处理。扩散炉包括外炉体和设置于外炉体内的石英管，石英管具有反应腔以容纳承载太阳能电池片的石墨舟。反应腔内的工作温度较高，石英管和外炉体之间需要保持较好的同轴度，以保证炉门关闭后的密封性。由于扩散炉的长度较长，组装困难，将石英管安装在外炉体内时，行业内通常为石英管配置安装工装，由安装工装对石英管的位置进行调整，使石英管的轴向和外炉体的轴线重合，从而保证石英管和外炉体的同轴度。但是这种安装工装结构复杂，使用不便；而且，扩散炉在长时间使用后，由于结构变形等原因，石英管和外炉体之间的相对位置会发生微变而难以保持同轴，进而影响扩散炉的密封性能。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供扩散炉装置，能够解决现有的用于石英管和外炉体同轴度调整的安装工装结构复杂、使用不便，且无法对长时间使用后的石英管进行位置调整，进而影响扩散炉密封性的问题。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、提供扩散炉装置，包括炉体和内管体，所述炉体具有空腔，所述内管体设置于所述空腔内，沿所述炉体的轴向，所述内管体的至少一端设置有调节组件，所述调节组件能够沿第一方向和第二方向调节所述内管体相对于所述炉体的位置，以使所述内管体和所述炉体同轴设置，所述第一方向和所述第二方向所在平面垂直于所述炉体的轴向。
4、在其中一个实施例中，所述调节组件包括分别设置于所述炉
5、在其中一个实施例中，所述扩散炉装置还包括机架，所述炉体固定连接于所述机架，所述扩散炉装置还包括炉口法兰组件和炉尾支撑组件，所述炉口法兰组件可拆卸连接于所述管口部，所述炉尾支撑组件可拆卸连接于所述管尾部；
6、所述第一调节机构包括第一调节螺钉和第二调节螺钉，所述第一调节螺钉和所述第二调节螺钉螺纹连接于所述机架，所述第一调节螺钉沿所述第一方向调节所述炉口法兰组件，所述第二调节螺钉沿所述第二方向调节所述炉口法兰组件，和/或，所述第二调节机构包括第三调节螺钉和第四调节螺钉，所述第三调节螺钉和所述第四调节螺钉螺纹连接于所述机架，所述第三调节螺钉沿所述第一方向调节所述炉尾支撑组件，所述第四调节螺钉沿所述第二方向调节所述炉尾支撑组件。
7、在其中一个实施例中，所述第一调节机构设置有至少两组，至少两组所述第一调节机构沿所述内管体的周向间隔设置；和/或，所述第二调节机构设置有至少两组，至少两组所述第二调节机构沿所述内管体的周向间隔设置。
8、在其中一个实施例中，所述炉口法兰组件包括可拆卸连接的第一冷却法兰和第二冷却法兰，所述管口部包括沿所述内管体的径向朝向外侧延伸的环形凸起，所述第一冷却法兰和所述第二冷却法兰夹持设置于所述环形凸起的两端，所述第一冷却法兰和所述环形凸起之间设置有第一密封件，所述第二冷却法兰和所述环形凸起之间设置有第二密封件。
9、在其中一个实施例中，所述第一冷却法兰内具有第一冷却通道，所述第二冷却法兰内具有第二冷却通道，所述第一冷却通道连通所述第二冷却通道，所述第一冷却通道和所述第二冷却通道两者中的其中一个设置有进水口，另一个设置有出水口，所述进水口连通提供冷却液的外部冷却水源；和/或，
10、所述第一冷却法兰开设有环状的第一燕尾槽，所述第一密封件嵌设于所述第一燕尾槽内；和/或，
11、所述第二冷却法兰开设有环状的第二燕尾槽，所述第二密封件嵌设于所述第二燕尾槽内；和/或，
12、所述炉口法兰组件还包括法兰固定板，所述第一冷却法兰和所述第二冷却法兰可拆卸连接于所述法兰固定板，所述第一调节螺钉和所述第二调节螺钉的端部抵接所述法兰固定板的侧面。
13、在其中一个实施例中，所述管口部的内侧壁设置有沿所述内管体的径向朝向远离轴线方向凹陷设置的阶梯槽，所述扩散炉装置还包括炉门组件，所述炉门组件包括可拆卸连接的外门体和内门体，所述外门体封堵所述内管体的端口，所述内门体嵌设于所述阶梯槽内，所述内门体的直径大于所述内管体的内径，所述内门体的外周壁和所述阶梯槽之间形成隔离腔。
14、在其中一个实施例中，所述阶梯槽具有垂直于所述内管体的轴向的圆环面，所述内门体的端面和所述圆环面之间具有缓冲间隙；和/或，
15、所述炉口法兰组件上开设有贯穿的氮气注入孔，沿所述内管体的轴向，所述炉口法兰组件凸出于所述内管体的端面，所述外门体抵接所述炉口法兰组件的端面，所述外门体和所述内管体的端面之间具有流通间隙，所述隔离腔经由所述流通间隙连通所述氮气注入孔。
16、在其中一个实施例中，所述炉尾支撑组件包括相互可拆卸连接的支撑框和支撑板，所述支撑框开设有开口朝上的固定槽，所述管尾部嵌设于所述固定槽内，所述第三调节螺钉沿所述第一方向抵接所述支撑板的底侧面，所述第四调节螺钉沿所述第二方向抵接所述支撑框的侧面，所述支撑板可拆卸连接于所述机架。
17、在其中一个实施例中，所述内管体的长度大于所述炉体的长度，以使所述管口部和所述管尾部伸出所述炉体，所述扩散炉装置还包括保温组件，所述保温组件包括保温棉圈、固定套筒和盖板，所述保温棉圈套装于所述管口部和所述管尾部的外侧，所述固定套筒套装于所述保温棉圈的外侧，所述盖板盖装于所述管尾部的所述保温棉圈的端部；和/或，
18、所述调节组件还包括多个支撑片，所述支撑片夹设于所述炉体和所述内管体之间，多个所述支撑片沿所述内管体的轴向间隔设置。
19、本专利技术的有益效果：
20、本专利技术所提供的扩散炉装置，沿炉体的轴向，内管体的至少一端设置有调节组件，调节组件能够沿第一方向和第二方向调节内管体相对于炉体的位置，以使内管体和炉体同轴设置。第一方向和第二方向所在平面垂直于炉体的轴向，这样，通过对内管体的至少一端进行两个方向的调节，即可使内管体的轴线和炉体的轴线重合，实现内管体和炉体的同轴设置，一方面保证扩散炉装置的密封性，另一方面保证太阳能电池片相对于内管体的位置精度，利于提高太阳能电池片的加工质量。扩散炉装置在长时间使用之后，当炉体和内管体之间的相对位置发生变化而难以保持同轴时，通过调节组件沿第一方向和第二方向调节，可再次对内管体相对于炉体的位置进行调节，保证内管体和炉体始终是同轴设置，提升扩散炉装置的可靠性。调节组件作为扩散炉装置的一部分，不需要额外为内管体设置用于同轴度调整的工装夹具，简化结构，使用方便。
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1.扩散炉装置，包括炉体(1)和内管体(2)，所述炉体(1)具有空腔，所述内管体(2)设置于所述空腔内，其特征在于，沿所述炉体(1)的轴向，所述内管体(2)的至少一端设置有调节组件(3)，所述调节组件(3)能够沿第一方向和第二方向调节所述内管体(2)相对于所述炉体(1)的位置，以使所述内管体(2)和所述炉体(1)同轴设置，所述第一方向和所述第二方向所在平面垂直于所述炉体(1)的轴向。
2.根据权利要求1所述的扩散炉装置，其特征在于，所述调节组件(3)包括分别设置于所述炉体(1)的两端的第一调节机构(31)和第二调节机构(32)，所述第一调节机构(31)用于调节所述内管体(2)的管口部(21)相对于所述炉体(1)的位置，所述第二调节机构(32)用于调节所述内管体(2)的管尾部(22)相对于所述炉体(1)的位置。
3.根据权利要求2所述的扩散炉装置，其特征在于，所述扩散炉装置还包括机架(100)，所述炉体(1)固定连接于所述机架(100)，所述扩散炉装置还包括炉口法兰组件(4)和炉尾支撑组件(5)，所述炉口法兰组件(4)可拆卸连接于所述管口部(21)，所述炉尾
4.根据权利要求3所述的扩散炉装置，其特征在于，所述第一调节机构(31)设置有至少两组，至少两组所述第一调节机构(31)沿所述内管体(2)的周向间隔设置；和/或，所述第二调节机构(32)设置有至少两组，至少两组所述第二调节机构(32)沿所述内管体(2)的周向间隔设置。
5.根据权利要求3所述的扩散炉装置，其特征在于，所述炉口法兰组件(4)包括可拆卸连接的第一冷却法兰(41)和第二冷却法兰(42)，所述管口部(21)包括沿所述内管体(2)的径向朝向外侧延伸的环形凸起(211)，所述第一冷却法兰(41)和所述第二冷却法兰(42)夹持设置于所述环形凸起(211)的两端，所述第一冷却法兰(41)和所述环形凸起(211)之间设置有第一密封件(43)，所述第二冷却法兰(42)和所述环形凸起(211)之间设置有第二密封件(44)。
6.根据权利要求5所述的扩散炉装置，其特征在于，所述第一冷却法兰(41)内具有第一冷却通道(411)，所述第二冷却法兰(42)内具有第二冷却通道(421)，所述第一冷却通道(411)连通所述第二冷却通道(421)，所述第一冷却通道(411)和所述第二冷却通道(421)两者中的其中一个设置有进水口(45)，另一个设置有出水口(46)，所述进水口(45)连通提供冷却液的外部冷却水源；和/或，
7.根据权利要求3所述的扩散炉装置，其特征在于，所述管口部(21)的内侧壁设置有沿所述内管体(2)的径向朝向远离轴线方向凹陷设置的阶梯槽(212)，所述扩散炉装置还包括炉门组件(6)，所述炉门组件(6)包括可拆卸连接的外门体(61)和内门体(62)，所述外门体(61)封堵所述内管体(2)的端口，所述内门体(62)嵌设于所述阶梯槽(212)内，所述内门体(62)的直径大于所述内管体(2)的内径，所述内门体(62)的外周壁和所述阶梯槽(212)之间形成隔离腔(213)。
8.根据权利要求7所述的扩散炉装置，其特征在于，所述阶梯槽(212)具有垂直于所述内管体(2)的轴向的圆环面(2121)，所述内门体(62)的端面和所述圆环面(2121)之间具有缓冲间隙(214)；和/或，
9.根据权利要求3所述的扩散炉装置，其特征在于，所述炉尾支撑组件(5)包括相互可拆卸连接的支撑框(51)和支撑板(52)，所述支撑框(51)开设有开口朝上的固定槽，所述管尾部(22)嵌设于所述固定槽内，所述第三调节螺钉(321)沿所述第一方向抵接所述支撑板(52)的底侧面，所述第四调节螺钉(322)沿所述第二方向抵接所述支撑框(51)的侧面，所述支撑板(52)可拆卸连接于所述机架(100)。
10.根据权利要求2所述的扩散炉装置，其特征在于，所述内管体(2)的长度大于所述炉体(1)的长度，以使所述管口部(21)和所述管尾部(22)伸出所述炉体(1)，所述扩散炉装置还包括保温组件(7)，所述保温组件(7)包括保温棉圈(71)、固定套筒(72)和盖板(73)，所述保温棉圈(71)套装于所述管口部(21)和所述管尾部(22)的外侧，所述固定套筒(72)套装于所述保温棉圈(71)的外侧，所述盖板(73)盖装于所述管尾部(22)的所述保温棉圈(71)的端部；和/或，
...【技术特征摘要】
1.扩散炉装置，包括炉体(1)和内管体(2)，所述炉体(1)具有空腔，所述内管体(2)设置于所述空腔内，其特征在于，沿所述炉体(1)的轴向，所述内管体(2)的至少一端设置有调节组件(3)，所述调节组件(3)能够沿第一方向和第二方向调节所述内管体(2)相对于所述炉体(1)的位置，以使所述内管体(2)和所述炉体(1)同轴设置，所述第一方向和所述第二方向所在平面垂直于所述炉体(1)的轴向。
2.根据权利要求1所述的扩散炉装置，其特征在于，所述调节组件(3)包括分别设置于所述炉体(1)的两端的第一调节机构(31)和第二调节机构(32)，所述第一调节机构(31)用于调节所述内管体(2)的管口部(21)相对于所述炉体(1)的位置，所述第二调节机构(32)用于调节所述内管体(2)的管尾部(22)相对于所述炉体(1)的位置。
3.根据权利要求2所述的扩散炉装置，其特征在于，所述扩散炉装置还包括机架(100)，所述炉体(1)固定连接于所述机架(100)，所述扩散炉装置还包括炉口法兰组件(4)和炉尾支撑组件(5)，所述炉口法兰组件(4)可拆卸连接于所述管口部(21)，所述炉尾支撑组件(5)可拆卸连接于所述管尾部(22)；
4.根据权利要求3所述的扩散炉装置，其特征在于，所述第一调节机构(31)设置有至少两组，至少两组所述第一调节机构(31)沿所述内管体(2)的周向间隔设置；和/或，所述第二调节机构(32)设置有至少两组，至少两组所述第二调节机构(32)沿所述内管体(2)的周向间隔设置。
5.根据权利要求3所述的扩散炉装置，其特征在于，所述炉口法兰组件(4)包括可拆卸连接的第一冷却法兰(41)和第二冷却法兰(42)，所述管口部(21)包括沿所述内管体(2)的径向朝向外侧延伸的环形凸起(211)，所述第一冷却法兰(41)和所述第二冷却法兰(42)夹持设置于所述环形凸起(211)的两端，所述第一冷却法兰(41)和所述环形凸起(211)之间设置有第一密封件(43)，所述第二冷却法兰(42)和所述环形凸起(211)之间设置有第二密封件(44)。
6.根据权利要求5所述的扩散炉装置，其特征在于，所述第一冷却法兰(41)内具有第一冷却通道(...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，李鹏飞，张才琪，李国栋，
申请(专利权)人：浙江晶盛光子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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