【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空蒸镀机，具体为一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构。
技术介绍
1、真空蒸镀机是通过底部的蒸镀源，将镀层镀覆在蒸镀源上方伞状承载架中被镀件上的设备，而在实际蒸镀时，由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的承载架的中间层圈的待镀基材上的膜层较厚，而位于靠近承载架中心的被镀件与位于靠近承载架边缘的被镀件上的膜层较薄，因此蒸镀机为了让被镀件上的膜层厚度均匀，通常都会在承载架与蒸镀源之间安装镀膜修正板，从而用于遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正对的被镀件上的膜层的厚度，从而修正承载架上位于不同层圈的被镀件上的膜层厚度的差异。
2、如公开号为cn214271022u的一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，由于第一支架和第二支架与真空腔体的内壁可拆卸连接、第一修正板和第二修正板可拆卸的连接在支杆的上端，第一支架远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆，第二支架远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆，连接方式均为可拆卸连接，方便更换第一修正板和第二修正板，修正板机构不使用时可以拆除，结构简单，操作方便。
3、其中上述现有技术中存在以下技术问题：现有的修正板机构在使用时其自身的形状大小固定，在进行镀膜厚度修正时，仅仅只能适应单一膜料，然而在实际蒸镀时，往往需要在镀膜上蒸镀不同的膜料，因此在蒸镀时需要对修正结构进行更换，进而降低了整体的工作效率，同时部分修正结构虽然能够调节自身的尺寸而改变覆盖面积，但无法在蒸镀时根据实际需要改变自身的形状。
4、所以我们提出了一种真空蒸镀机用可调式膜层厚
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上现有的修正板机构在使用时其自身的形状大小固定，在进行镀膜厚度修正时，仅仅只能适应单一膜料，然而在实际蒸镀时，往往需要在镀膜上蒸镀不同的膜料，因此在蒸镀时需要对修正结构进行更换，进而降低了整体的工作效率，同时部分修正结构虽然能够调节自身的尺寸而改变覆盖面积，但无法在蒸镀时根据实际需要改变自身的形状的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，包括修正板，所述修正板的外端固定连接有传动杆，且传动杆的上端通过轴承安装在衔接柱上，所述修正板位于真空蒸镀机本体内部蒸发坩埚和镀锅之间，所述传动杆上方的衔接柱贯穿安装在真空蒸镀机本体上，且衔接柱的顶部与直线推动部件相互连接，所述衔接柱的内部固定连接有伺服电机，且伺服电机的输出端与传动杆的上端相互连接；
3、还包括：
4、所述修正板的中部开设有引导槽以及位于引导槽内部的延伸板，所述延伸板通过伸出引导槽的距离而改变修正板的遮挡面积，且延伸板的底部固定连接有限制活动方向的限位块，限位块位于提供滑动轨道的容置槽内部，所述容置槽开设在修正板上，所述限位块和容置槽之间通过弹性元件相互连接；
5、所述延伸板的内部固定连接有调控电机，且调控电机输出端连接有导向部件，当所述调控电机控制导向部件转动时，改变导向部件与施压部件之间的接触位置，所述施压部件位于导向部件的上方，且施压部件固定在提供支撑力的承载板上，承载板右端固定连接在传动杆上。
6、优选的，所述引导槽的内部沿着前后直线方向阵列均布有多个延伸板，且引导槽内部的延伸板外端均设置为弧形结构。
7、通过采用上述技术方案，通过延伸板弧形端部向引导槽外部伸出距离的多少，而决定修正板的遮挡面积。
8、优选的，所述引导槽内部均布的多个延伸板相邻之间相互贴合，且延伸板关于修正板的横向中轴线对称分布。
9、通过采用上述技术方案，通过多个延伸板相邻之间的相互贴合，从而能够避免延伸板之间存在较大缝隙。
10、优选的，所述延伸板下端限位块的外壁和容置槽的内壁相互贴合，且限位块和容置槽之间连接的弹性元件为内置弹簧，并且限位块通过内置弹簧和容置槽构成弹性伸缩结构。
11、通过采用上述技术方案，通过内置弹簧作为限位块和容置槽之间连接的媒介，从而能够方便在容置槽内部移动后的限位块复位回弹。
12、优选的，所述导向部件包括四个沿着调控电机输出轴周向等角度均匀分布的导向臂，四个导向臂分别为第一导向杆、第二导向杆、第三导向杆和第四导向杆。
13、通过采用上述技术方案，通过调控电机控制四个导向臂旋转，从而改变导向臂的朝向位置，使其每个延伸板被挤压推动的距离发生变化。
14、优选的，所述第一导向杆、第二导向杆、第三导向杆和第四导向杆均为直线设置的杆状部件，且第一导向杆、第二导向杆、第三导向杆和第四导向杆远离调控电机输出轴的一端为头部，第一导向杆、第二导向杆、第三导向杆和第四导向杆的头部均为球形结构，并且第一导向杆、第二导向杆、第三导向杆和第四导向杆的长度各不相等。
15、通过采用上述技术方案，通过第一导向杆、第二导向杆、第三导向杆和第四导向杆的球形头部，从而能够方便利用施压部件上的斜边对其进行挤压。
16、优选的，所述施压部件包括对导向臂球形头部挤压的压迫块以及固定在压迫块上端的限制架，所述限制架的中部安装有移动控制部件，所述移动控制部件为带螺纹的中心杆，且中心杆的上端固定在驱动电机的输出端上。
17、通过采用上述技术方案，通过驱动电机能够控制中心杆进行同步旋转，从而控制限制架进行活动。
18、优选的，所述压迫块的纵截面设置为等腰梯形结构，且压迫块与导向臂球形头部的接触面设置为斜边。
19、通过采用上述技术方案，通过压迫块的向下移动，从而能够利用其侧边的斜面对导向臂的球形头部进行挤压推动。
20、优选的，所述限制架的中部设置有与移动控制部件相互配合的螺孔，且限制架的中部和中心杆为螺纹连接，限制架设置为“u”形结构，限制架能够在修正板的中部沿着竖直方向移动。
21、通过采用上述技术方案，通过限制架在修正板上的移动，从而能够避免其压迫块跟随中心杆进行同步转动。
22、优先的，所述延伸板包括母板，母板的下端固定安装有限位块，所述母板的前端转动连接有子板，且子板的转轴上固定连接有传动齿轮，所述传动齿轮的侧边啮合连接有齿条，且齿条的右端固定连接有引向杆，所述引向杆的上端插入在调节柱的内部，且调节柱的内部通过助力弹簧和引向杆相互连接，并且调节柱固定在母板的内部，所述调节柱通过输气部件与限制架相互连接，输气部件包括输气管，所述输气管上安装有控制进气量的阀门，且输气管用于连接调节柱和分流块，所述分流块的内部滑动安装有活塞板，且活塞板的上端固定连接有竖杆，所述竖杆的上端与限制架的侧边相互固定，且限制架通过辅助弹簧和分流块相互连接。
23、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，能够在对不同产品进行镀膜时，需要根据产品的形状来更改修正结构的覆盖面积，进而以此来保证镀膜均匀，同时可以改变本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，包括修正板（1），所述修正板（1）的外端固定连接有传动杆（2），且传动杆（2）的上端通过轴承安装在衔接柱（3）上，所述修正板（1）位于真空蒸镀机本体（4）内部蒸发坩埚和镀锅之间，所述传动杆（2）上方的衔接柱（3）贯穿安装在真空蒸镀机本体（4）上，且衔接柱（3）的顶部与直线推动部件相互连接，所述衔接柱（3）的内部固定连接有伺服电机（5），且伺服电机（5）的输出端与传动杆（2）的上端相互连接
2.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述引导槽（6）的内部沿着前后直线方向阵列均布有多个延伸板（7），且引导槽（6）内部的延伸板（7）外端均设置为弧形结构。
3.根据权利要求2所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述引导槽（6）内部均布的多个延伸板（7）相邻之间相互贴合，且延伸板（7）关于修正板（1）的横向中轴线对称分布。
4.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述延伸板（7）下端限位块（8）的外壁和容置槽（9）的内壁
5.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述导向部件（12）包括四个沿着调控电机（11）输出轴周向等角度均匀分布的导向臂，四个导向臂分别为第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）。
6.根据权利要求5所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）均为直线设置的杆状部件，且第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）远离调控电机（11）输出轴的一端为头部，第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）的头部均为球形结构，并且第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）的长度各不相等。
7.根据权利要求6所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述施压部件（13）包括对导向臂球形头部挤压的压迫块（131）以及滑动安装在压迫块（131）上的活动块（135），活动块（135）的上端固定连接有限制架（132），所述限制架（132）的中部安装有移动控制部件，所述移动控制部件为带螺纹的中心杆（133），且中心杆（133）的上端固定在驱动电机（134）的输出端上。
8.根据权利要求7所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述压迫块（131）的纵截面设置为等腰梯形结构，且压迫块（131）与导向臂球形头部的接触面设置为斜边。
9.根据权利要求7所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述限制架（132）的中部设置有与移动控制部件相互配合的螺孔，且限制架（132）的中部和中心杆（133）为螺纹连接，限制架（132）设置为“U”形结构，限制架（132）能够在修正板（1）的中部沿着竖直方向移动。
10.根据权利要求7所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述延伸板（7）包括母板（701），母板（701）的下端固定安装有限位块（8），所述母板（701）的前端转动连接有子板（702），且子板（702）的转轴上固定连接有传动齿轮（703），所述传动齿轮（703）的侧边啮合连接有齿条（704），且齿条（704）的右端固定连接有引向杆（705），所述引向杆（705）的上端插入在调节柱（706）的内部，且调节柱（706）的内部通过助力弹簧（707）和引向杆（705）相互连接，并且调节柱（706）固定在母板（701）的内部，所述调节柱（706）通过输气部件与限制架（132）相互连接，输气部件包括输气管（151），所述输气管（151）上安装有控制进气量的阀门，且输气管（151）用于连接调节柱（706）和分流块（152），所述分流块（152）的内部滑动安装有活塞板（153），且活塞板（153）的上端固定连接有竖杆（154），所述竖杆（154）的上端与限制架（132）的侧边相互固定，且限制架（132）通过辅助弹簧（155）和分流块（152）相互连接。
...【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，包括修正板（1），所述修正板（1）的外端固定连接有传动杆（2），且传动杆（2）的上端通过轴承安装在衔接柱（3）上，所述修正板（1）位于真空蒸镀机本体（4）内部蒸发坩埚和镀锅之间，所述传动杆（2）上方的衔接柱（3）贯穿安装在真空蒸镀机本体（4）上，且衔接柱（3）的顶部与直线推动部件相互连接，所述衔接柱（3）的内部固定连接有伺服电机（5），且伺服电机（5）的输出端与传动杆（2）的上端相互连接
2.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述引导槽（6）的内部沿着前后直线方向阵列均布有多个延伸板（7），且引导槽（6）内部的延伸板（7）外端均设置为弧形结构。
3.根据权利要求2所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述引导槽（6）内部均布的多个延伸板（7）相邻之间相互贴合，且延伸板（7）关于修正板（1）的横向中轴线对称分布。
4.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述延伸板（7）下端限位块（8）的外壁和容置槽（9）的内壁相互贴合，且限位块（8）和容置槽（9）之间连接的弹性元件为内置弹簧（10），并且限位块（8）通过内置弹簧（10）和容置槽（9）构成弹性伸缩结构。
5.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述导向部件（12）包括四个沿着调控电机（11）输出轴周向等角度均匀分布的导向臂，四个导向臂分别为第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）。
6.根据权利要求5所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）均为直线设置的杆状部件，且第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）远离调控电机（11）输出轴的一端为头部，第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）的头部均为球形结构，并且第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝胜，薛蒙晓，叶思宇，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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