【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及一种多探针的排布方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、目前，smd led(surface mounted device light emitting diode，表面贴装的发光二极管)晶圆中单颗晶粒的尺寸逐渐小型化，具体地，尺寸已经达到长度为0.08英寸，宽度为0.04英寸(规格为0804)；由于led(light emitting diode，发光二极管)封装工艺对探针接触被测单元的晶粒电极(pad，焊点)范围有一定的要求，即使探针在密集阵列排布下仍需要准确扎针在晶粒电极范围内。
2、然而，探针一般由针头、针尾、弹簧、外管四个基本部件经精密仪器制造而成，如图1所示，其外管直径l2为28mm，直径范围d2为0.5mm，针头直径d1为1微米；由此可见，若采用常规排布的探针测试0804以下规格的smd led晶圆，则会存在撞针的风险。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种多探针的排布方法、装置、设备及存储介质，旨在解决晶圆测试过程中的撞针问题。
2、为实现上述目的，本申请提供一种多探针的排布方法，所述多探针的排布方法包括以下步骤：
3、将对针基准点与相机的视场中心对齐，得到基准探针的坐标位置，其中，所述基准探针为多个探针中的其中一个探针，所述对针基准点为所述基准探针所在位置；
4、基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的其他第一探针的坐标位置
5、可选地，所述基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的其他第一探针的坐标位置的步骤，包括：
6、基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，以及所述第一探针与所述基准探针之间的第一相对方向，确定所述第一探针的坐标位置。
7、可选地，所述基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的第一探针的坐标位置的步骤之后，还包括：
8、基于晶圆的预设标记点所在行列值以及所述预设主针在所述预设标记点的目标相对方向，确定预设主针在所述晶圆中对应的第一行列值，其中，所述预设主针为多个探针中的其中一个探针；
9、基于所述第一行列值，确定除所述预设主针之外的其他第二探针在所述晶圆中对应的第二行列值；
10、基于所述目标相对方向、所述第一行列值和所述第二行列值，对晶圆进行探针测试。
11、可选地，所述基于所述目标相对方向、所述第一行列值和所述第二行列值，对晶圆进行探针测试的步骤，包括：
12、基于所述目标相对方向、所述第一行列值和所述第二行列值，确定待测晶粒；
13、通过探针台将所述待测晶粒移动至所述多个探针下方，将所述待测晶粒与所述多个探针对齐，并通过所述多个探针对所述待测晶粒进行测试。
14、可选地，所述基于所述目标相对方向、所述第一行列值和所述第二行列值，确定待测晶粒的步骤，包括：
15、基于所述目标相对方向、所述第一行列值、所述第二行列值，以及所述多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定待测晶粒。
16、可选地，所述基于所述第一行列值，确定除所述预设主针之外的其他第二探针在所述晶圆中对应的第二行列值的步骤，包括：
17、基于所述第一行列值、所述预设探针在多个探针中的预设排列顺序、所述第二探针与所述预设探针之间的第二相对方向，以及所述多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除所述预设主针之外的其他第二探针在所述晶圆中对应的第二行列值。
18、此外，为实现上述目的，本申请还提供一种多探针的排布装置，所述多探针的排布装置包括：
19、位置确定模块，用于将对针基准点与相机的视场中心对齐，得到基准探针的坐标位置，其中，所述基准探针为多个探针中的其中一个探针，所述对针基准点为所述基准探针所在位置；
20、探针排布模块，用于基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的其他第一探针的坐标位置，以供操作人员基于多个探针的坐标位置进行探针排布。
21、此外，为实现上述目的，本申请还提供一种设备，所述设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的多探针的排布程序，所述多探针的排布程序配置为实现如上所述的多探针的排布方法的步骤。
22、此外，为实现上述目的，本申请还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有多探针的排布程序，所述多探针的排布程序被处理器执行时实现如上所述的多探针的排布方法的步骤。
23、此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括多探针的排布程序，所述多探针的排布程序被处理器执行时实现如上文所述的多探针的排布方法的步骤。
24、本申请通过将对针基准点与相机的视场中心对齐，得到基准探针的坐标位置，其中，所述基准探针为多个探针中的其中一个探针，所述对针基准点为所述基准探针所在位置；基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的其他第一探针的坐标位置，可以理解，第一探针与该基准探针之间存在预设纵向步距和预设行间隔，操作人员基于该多个探针的坐标位置进行探针排布，即可避免在晶圆测试过程中出现撞针的情况。
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1.一种多探针的排布方法，其特征在于，所述多探针的排布方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的其他第一探针的坐标位置的步骤，包括：
3.如权利要求1所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的第一探针的坐标位置的步骤之后，还包括：
4.如权利要求3所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于所述目标相对方向、所述第一行列值和所述第二行列值，对晶圆进行探针测试的步骤，包括：
5.如权利要求4所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于所述目标相对方向、所述第一行列值和所述第二行列值，确定待测晶粒的步骤，包括：
6.如权利要求3所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于所述第一行列值，确定除所述预设主针之外的其他第二探针在所述晶圆中对应的第二行列值的步骤，包括：
7.一种多探针的排布装置，其特征
8.一种设备，其特征在于，所述设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的多探针的排布程序，所述多探针的排布程序配置为实现如权利要求1至6中任一项所述的多探针的排布方法的步骤。
9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有多探针的排布程序，所述多探针的排布程序被处理器执行时实现如权利要求1至6中任一项所述的多探针的排布方法的步骤。
10.一种计算机程序产品，其特征在于，所述计算机程序产品包括多探针的排布程序，所述多探针的排布程序被处理器执行时实现如权利要求1至6中任一项所述的多探针的排布方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种多探针的排布方法，其特征在于，所述多探针的排布方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的其他第一探针的坐标位置的步骤，包括：
3.如权利要求1所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于晶粒在晶圆中的预设行列值，以及多个探针之间的预设纵向步距和预设行间隔，确定除基准探针以外的第一探针的坐标位置的步骤之后，还包括：
4.如权利要求3所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于所述目标相对方向、所述第一行列值和所述第二行列值，对晶圆进行探针测试的步骤，包括：
5.如权利要求4所述的多探针的排布方法，其特征在于，所述基于所述目标相对方向、所述第一行列值和所述第二行列值，确定待测晶粒的步骤，包括：
6.如权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员：林荣威，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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