【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种低温泵。
技术介绍
1、低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉到被冷却至超低温的低温板上从而进行排气的真空泵。通常，低温泵用于实现半导体电路制造工艺等中所要求的清洁的真空环境。
2、以往技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2016-75218号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术课题
2、已知有一种将具有多个小孔等开口部的入口低温板配置于低温泵进气口的低温泵。例如，氩气等对象气体从低温泵的外部通过入口低温板的开口部进入低温泵内，并被配置于低温泵内的比入口低温板更低温的低温板捕捉。被捕捉的对象气体在该低温低温板上形成冰块。
3、但是，进入到低温泵内的并不只限于对象气体。原本应被入口低温板阻断的水蒸气等低蒸气压气体和辐射热多少也会从入口低温板的开口部进入低温泵内。因此，低温低温板上的冰块并非仅由对象气体形成，而是由混合气体(例如，氩气和水蒸气)形成。由于不同的气体种类彼此之间的物理性质(例如，热传导、晶格常数)的差异，与仅由对象气体形成的冰块相比，混合气体的冰块更脆而存在更容易破裂的倾向。若辐射热入射到冰块上则会导致温度上升，这可能会促进冰块的破裂。若冰块破裂导致冰碎片掉落而与辐射屏蔽件等更高温的部位接触，则冰碎片会气化从而会产生突发性的压力上升(又称为微爆流(microburst))。
4、本专利技术的一种实施方式的示例性目的之一为降低在低温泵内产生微爆流的风险。
6、根据本专利技术的一种实施方式，低温泵具备：低温泵容器，具有低温泵进气口；辐射屏蔽件，被冷却至第1冷却温度，并从低温泵进气口朝向低温泵容器内延伸；低温板单元，被冷却至低于第1冷却温度的第2冷却温度，并且配置成在低温泵容器内被辐射屏蔽件包围；及进气口屏蔽件，被冷却至第1冷却温度，并以从低温泵的外部无法用肉眼观察到低温板单元的方式配置于低温泵进气口。辐射屏蔽件具有形成在进气口屏蔽件与低温板单元之间的高度处的第1气体进入口。
7、专利技术效果
8、根据本专利技术，能够降低在低温泵内产生微爆流的风险。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种低温泵，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，
4.根据权利要求2或3所述的低温泵，其特征在于，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的低温泵，其特征在于，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的低温泵，其特征在于，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的低温泵，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的低温泵，其特征在于，
9.根据权利要求7或8所述的低温泵，其特征在于，
10.根据权利要求1至9中任一项所述的低温泵，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种低温泵，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，
4.根据权利要求2或3所述的低温泵，其特征在于，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的低温泵，其特征在于，
6.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：望月健生，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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