System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置制造方法及图纸_技高网
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一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置制造方法及图纸

技术编号:42377125 阅读:3 留言:0更新日期:2024-08-16 15:02
本公开涉及一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置,包括:基于目标编码掩膜成像系统,确定目标对象对应的编码图案;对编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像;针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果;根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定目标对象对应的测距结果;根据目标对象对应的测距结果和编码图案,确定目标对象对应的目标重建图像。通过本公开实施例,可以在无需标定和多次测量的情况下,仅根据单张编码图案,灵活地确定目标对象对应的测距结果,并根据测距结果实现自动聚焦,进行高分辨率图像重建,提高了目标编码掩膜成像系统的实用性和实时性。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及编码掩膜成像,尤其涉及一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置


技术介绍

1、编码掩膜成像技术,可以利用特殊设计的编码掩膜板替代传统的透镜组进行成像,能够减小成像系统的体积和结构复杂度,降低了成像系统的制造成本和装配难度。现有技术中,常用的编码掩膜成像系统重建图像的质量较差、分辨率较低,成像系统的实用性较差。


技术实现思路

1、有鉴于此,本公开提出了一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置的技术方案。

2、根据本公开的一方面,提供了一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法,包括:基于目标编码掩膜成像系统,确定目标对象对应的编码图案;对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像;针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果;根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果;根据所述目标对象对应的测距结果和所述编码图案,确定所述目标对象对应的目标重建图像。

3、在一种可能的实现方式中,所述对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像,包括:对所述编码图案进行数字聚焦,确定不同模拟聚焦距离对应的粗解码图像;针对任意一个模拟聚焦距离,对该模拟聚焦距离对应的粗解码图像进行低通滤波处理,确定该模拟聚焦距离对应的初始重建图像。

4、在一种可能的实现方式中,所述针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果,包括:针对任意一个初始重建图像,确定该初始重建图像对应的目标图像参数,其中,任意一个初始重建图像对应的目标图像参数,用于确定该初始重建图像对应的图像锐度信息;针对任意一个初始重建图像,根据所述图像锐度信息评价函数,以及该初始重建图像对应的目标图像参数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果。

5、在一种可能的实现方式中,所述根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果,包括:根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的锐度评价曲线,其中,所述锐度评价曲线用于表示所述锐度评价结果与所述模拟聚焦距离之间的映射关系;根据所述锐度评价曲线,确定所述目标对象对应的测距结果。

6、在一种可能的实现方式中,所述根据所述目标对象对应的测距结果和所述编码图案,确定所述目标对象对应的目标重建图像,包括:根据所述目标对象对应的测距结果,确定目标点扩散函数;根据所述目标点扩散函数和所述编码图案,确定所述目标对象对应的目标重建图像。

7、在一种可能的实现方式中,所述根据所述目标对象对应的测距结果,确定目标点扩散函数,包括:根据所述目标对象对应的测距结果,确定所述目标编码掩膜成像系统对应的衍射光强;根据所述衍射光强,确定所述目标点扩散函数。

8、在一种可能的实现方式中,所述方法还包括:根据目标设计参数,确定目标掩膜板;根据所述目标掩膜板和图像传感器,确定所述目标编码掩膜成像系统。

9、根据本公开的另一方面,提供了一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像装置,包括:编码图案确定模块,用于基于目标编码掩膜成像系统,确定目标对象对应的编码图案;初始重建模块,用于对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像;锐度信息评价模块,用于针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果;测距模块,用于根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果;目标重建模块,用于根据所述目标对象对应的测距结果和所述编码图案,确定所述目标对象对应的目标重建图像。

10、根据本公开的另一方面,提供了一种电子设备,包括:处理器;用于存储处理器可执行指令的存储器;其中,所述处理器被配置为在执行所述存储器存储的指令时,实现上述方法。

11、根据本公开的另一方面,提供了一种非易失性计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序指令,其中,所述计算机程序指令被处理器执行时实现上述方法。

12、在本公开实施例中,基于目标编码掩膜成像系统,可以确定目标对象对应的编码图案;对编码图案进行数字聚焦,可以确定多个初始重建图像;针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,可以确定该初始重建图像对应的锐度评价结果;根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,可以确定目标对象对应的测距结果,不需要进行复杂的预先标定和多次不同点位的图像采集;根据目标对象对应的测距结果和编码图案,可以确定目标对象对应的目标重建图像,从而实现仅根据单张编码图案,完成自动聚焦及高分辨率图像重建,使目标编码掩膜系统能够灵活适应各种应用场景,提高了目标编码掩膜成像系统的实用性和实时性。

13、根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明,本公开的其它特征及方面将变得清楚。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,所述对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像,包括:

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果,包括:

4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果,包括:

5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述根据所述目标对象对应的测距结果和所述编码图案,确定所述目标对象对应的目标重建图像,包括:

6.根据所述权利要求5所述的方法,其特征在于,所述根据所述目标对象对应的测距结果,确定目标点扩散函数,包括:

7.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

8.一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像装置,其特征在于,包括:

9.一种电子设备,其特征在于,包括:

10.一种非易失性计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序指令,其特征在于,所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1至7中任意一项所述的方法。

...

【技术特征摘要】

1.一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,所述对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像,包括:

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果,包括:

4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果,包括:

5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述根据所述目标对象对应的...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹良才刘方宇吴佳琛
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:

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